基板移送系统技术方案

本发明专利技术公开一种基板移送系统，根据本发明专利技术的一实施例的基板移送系统包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元可以抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将基板以直立的状态进行移送。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板移送系统。
技术介绍
半导体或者平板显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序，其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此，在利用基板制造半导体或者显示装置的情况下，基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序，此时，需要一种用于移动基板的移送装置。在移送基板时，需要利用专门的基板搬运用盒，将基板和基板搬运用盒移动至各个单位工序。据此，基板移送装置需要一起移送基板和搬运用盒，从而存在以下缺点：基板移送装置所移送的重量大幅增加，从而移送速度降低，且电力消耗增加。
技术实现思路
基于上述技术背景，本专利技术的目的在于提供一种在移送基板时，不使用专门的基板搬运用盒的基板移送系统。根据本专利技术的一实施例的基板移送系统包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元可以抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将基板以直立的状态移送。所述基板移送单元可以包括：主体；辊子部，结合于所述主体的一侧，能够沿着所述第一移送轨道移动；以及夹紧部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板移送系统，包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将所述基板以直立的状态移送。

【技术特征摘要】
2015.08.19 KR 10-2015-01167381.一种基板移送系统，包括：第一移送轨道，形成闭环；多个工序单元，连接于所述第一移送轨道；以及基板移送单元，沿着所述第一移送轨道移动，将基板移送至所述多个工序单元中的各个工序单元，其中，所述基板移送单元抓持形成于所述基板一侧的抓持用虚拟区域而将所述基板以直立的状态移送。2.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，所述基板移送单元包括：主体；辊子部，结合于所述主体的一侧，能够沿着所述第一移送轨道移动；以及夹紧部，结合于所述主体的另一侧，抓持所述基板的所述抓持用虚拟区域。3.如权利要求2所述的基板移送系统，其中，所述夹紧部包括：第一紧固板，固定结合于所述主体；第二紧固板，与所述第一紧固板相向；贯通销，贯穿所述第一紧固板，并固定结合于所述第二紧固板；弹性部件，与所述贯通销结合，使所述第一紧固板和所述第二紧固板彼此紧贴；以及汽缸，结合于所述第一紧固板或者第二紧固板，以调节所述第一紧固板和第二紧固板之间的间距；其中，所述抓持用虚拟区域被抓持在所述第一紧固板和第二紧固板之间。4.如权利要求2所述的基板移送系统，其中，所述基板移送单元还包括：电源供应部，从沿着第一移送轨道布置的电源电缆得到电源供应。5.如权利要求1所述的基板移送系统，其中，还包括：第一保管单元，连接于所述第一移送轨道，能够保管被所述基板移送单元移送的所述基板。6.如权利要求5所述的基板移送系统，其中，所述第一保管单元包括：多个盒，将所述基板以直立的状态保管；以及第一装载机，使所述基板从所述基板移送单元移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔凤洙，金炳铉，文廷太，崔昶赫，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR