一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法技术

一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法，其步骤为：ａ．铌－柠檬酸乙二醇溶液制备：将氧化铌置于氢氟酸中，于７０℃～８５℃下形成氧化铌溶液，滴加氨水并陈化４～６小时；过滤后取沉淀物用稀氨水洗涤，干燥后在６０～８０℃下溶解于柠檬酸的乙二醇溶液中。ｂ．前驱液的制备：按摩尔比Ｓｒ↑［２＋］∶Ｔｉ↑［４＋］∶Ｎｂ↑［５＋］＝１∶１－ｘ∶ｘ，ｘ＝０．１～０．００５，量取乙酸锶、钛酸丁酯以及ａ步中的铌－柠檬酸乙二醇溶液；乙酸锶溶于乙酸中得溶液Ａ；向钛酸丁酯中先滴加乙酰丙酮，再加入乙二醇甲醚溶剂得溶液Ｂ；溶液Ａ、Ｂ混合后向其中加入铌－柠檬酸乙二醇溶液再加入１～４∶１的乙二醇和丙三醇，使溶液浓度至Ｓｒ↑［２＋］离子０．１５～０．４０摩尔／升；ｃ．热分解与烧结。该方法所用原料价格低廉，制作工艺简单，制作成本低，利于商业应用。

A method of niobium doped strontium titanate thin film preparation

A method of niobium doped strontium titanate thin film preparation, which comprises the following steps: A. NB citric acid ethylene glycol solution preparation: niobium oxide in hydrofluoric acid, the formation of niobium oxide solution at 70 to 85 DEG C, adding ammonia and aging for 4 to 6 hours; after filtering from precipitate with dilute ammonia after washing, drying at 60 to 80 DEG C dissolved in ethylene glycol solution of citric acid. B. precursor solution preparation: mol ratio Sr = 2, Ti = 4 + O +: = 5 +: Nb = 1: 1: X: X, x = 0.1 ~ 0.005, amount of strontium acetate and tetrabutyl titanate and a in step NB citric acid ethylene glycol solution; strontium acetate in acetic acid solution to A; butyl titanate first adding acetyl acetone, adding ethylene glycol ether solvent to obtain a solution of B; A, B mixed solution is added to the Nb citric acid ethylene glycol solution add 1 to 4: 1 of ethylene glycol and glycerol, the concentration of the solution to Sr = 2 + 0.15 +: ~ 0.40 mol / L; C. thermal decomposition and sintering. The method has the advantages of low material cost, simple manufacturing process and low production cost, and is favorable for commercial application.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种无机材料的制备方法，尤其涉及一种掺铌钛酸锶薄膜的制备 方法。技术背景钛酸锶(SrTi03)材料具有典型的钓钛矿型结构，完全化学计量比的SrTi03 为绝缘体，随着掺杂物质、掺杂量以及烧结工艺的改变，其性能会发生很大变 化，如掺铌钛酸锶材料，具有超导性、半导性、铁电性、压敏性、热敏性及光 敏性，介电损耗低、色散频率高，热稳定性好。它可用来制造晶界层电容器、压 敏电阻、氧敏元件、PTC热敏电阻，在作为电极、传感器方面也有广泛应用， 还可作为超导材料、铁电材料的緩冲层，是电子工业中应用较广的一种多功能 电子材料，具有广泛的用途和开发前景。现有制备掺铌钛酸锶薄膜材料的方法有化学气相沉积(MOCVD)、射频 溅射、脉冲激光沉积(PLD)、溶胶-凝胶(Sol-Gel)法等。相比于其他方法而言， 溶胶-凝胶法的优点是1、易于精确控制物质化学计量比，易于进行微量掺杂； 2、薄膜均匀性好，可以达到原子级分布；3、易于在各种不同形状的基底上成 膜、大面积成膜，制备工艺筒单，易于工业化。但是，现有的溶胶-凝胶法存在 着以下的不足1、所用原料均为金属醇盐，如乙醇铌、丁醇铌、乙醇锶，这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备掺铌钛酸锶薄膜的方法，其具体步骤为：　ａ、铌－柠檬酸乙二醇溶液制备：将氧化铌置于氢氟酸中，于７０℃～８５℃下搅拌使其充分溶解形成氧化铌溶液，向溶液中滴加氨水形成白色氢氧化铌沉淀物，陈化４～６小时；过滤后，取沉淀物用２～５％的稀氨水洗涤，于真空中脱水干燥；将干燥后的沉淀物于６０～８０℃下溶解于柠檬酸的乙二醇溶液中并充分搅拌，得铌－柠檬酸乙二醇溶液；　ｂ、掺铌钛酸锶前驱液的制备：按摩尔比Ｓｒ↑［２＋］∶Ｔｉ↑［４＋］∶Ｎｂ↑［５＋］＝１∶１－ｘ∶ｘ，ｘ＝０．１～０．００５，分别量取乙酸锶、钛酸丁酯以及ａ步中制备的铌－柠檬酸乙二醇溶液；将乙酸锶溶于乙酸中形成溶液Ａ；向钛酸丁酯中先滴加Ｔｉ↑［...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵立峰，黄正银，赵勇，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]