一种半原位XPS样品转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆形卡槽与所述环形定位凸台之间设置有密封圈，在所述样品罩上设置有抽真空管，在所述抽真空管中设置有真空旋塞阀。本实用新型专利技术能够使样品从制备完成到进入能谱仪器的整个过程不予空气环境进行接触，从而保证测量数据的有效性和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半原位XPS样品转移装置，属于X射线光电子能谱(XPS)

技术介绍
光电子能谱仪常规的进样方式是先将样品制备在标准样品托上，然后转移至仪器的进样室进行预抽真空，在这一过程中样品都是暴露在大气环境下的，对于一些表面比较敏感(如易氧化、易潮解)或者要求比较苛刻的特殊样品(如UPS样品)的XPS测试结果影响很大，这类样品即使短暂暴露在大气环境中，其表面也会很快与空气(氧气、水等)发生反应，产生新的化学物质，增加了谱图解析的复杂性和不确定性。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的目的是提供一种使样品从制备完成到进入能谱仪器的过程中避免与空气进行接触的半原位XPS样品转移装置。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆形卡槽与所述环形定位凸台之间设置有密封圈，在所述样品罩上设置有抽真空管，在所述抽真空管中设置有真空旋塞阀。在所述样品罩的顶部设置有带有通孔的提拉部。本技术由于采取以上技术方案，其具有以下优点：本技术能够使样品从制备完成到进入能谱仪器的整个过程不予空气环境进行接触，从而保证测量数据的有效性和准确性。附图说明图1是本技术的外部结构示意图；图2是本技术的剖切结构示意图；图3是Li电池样品中Li1s的XPS谱图；图4是Li电池样品中O1s的XPS谱图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进行详细的描述。如图1、图2所示，本技术提出了一种半原位XPS样品转移装置，包括样品托1和样品罩2，在样品托1的顶部设置有环形定位凸台3，在样品罩2的底部设置有圆形卡槽，样品罩2扣置在样品托1上且圆形卡槽与环形定位凸台3卡合。在圆形卡槽与环形定位凸台3之间设置有密封圈4。在样品罩2上设置有抽真空管5，在抽真空管5中设置有真空旋塞阀(图中未示出)。在一个优选的实施例中，在样品罩2的顶部设置有提拉部6，在提拉部6上设置有通孔7。本技术的使用过程如下：1)在手套箱(手套箱中为惰性气体环境)中将样品8制备到样品托1上，具体将样品8置于环形定位凸台3内。2)在手套箱中将样品罩2扣置在样品托1上，并且使样品罩2底部的圆形卡槽与环形定位凸台3卡合。3)采用固定架对样品罩2与样品托1进行固定，以保证样品罩2与样品托1之间的密封。4)将抽真空管5与真空配气系统的管路连接，将样品罩2内的腔室抽为真空状态(压强约为5Pa)，之后关闭真空旋塞阀。5)取下固定架，然后将本技术装置送入光电子能谱仪的进样室预抽真空，待样品罩2内外压强达到平衡后样品罩2将自动脱离样品托1，利用进样室的样品停放台摘除样品罩2(可以通过提起提拉部6进行摘除)。6)将样品8送入分析室。整个过程实现了样品在转移过程中不接触大气环境。下面举例说明本技术的技术效果：图3和图4是Li电池样品采用本技术装置和常规的标准样品托两种方式进样测得的XPS谱图对比，具体步骤为准备两个同样的样品，分别采用本技术装置和常规的标准样品托进样并进行XPS测试。图中的a代表本技术装置进样，b代表采用常规的标准样品托进样。从测试结果来看，采用常规的标准样品托进样的样品，由于样品在转移过程不可避免接触大气环境，即使暴露时间极短，其表面也会很快与空气(氧气、水等)发生反应，产生新的化学物质，增加了谱图解析的复杂性和不确定性。而采用半原位XPS样品转移装置保护进样后，样品在整个转移过程中未接触大气环境，因此测得的表面元素信息反映的是更真实的接近原位的样品表面状态。本技术仅以上述实施例进行说明，各部件的结构、设置位置及其连接都是可以有所变化的。在本技术技术方案的基础上，凡根据本技术的技术原理对个别部件进行的改进或等同变换，均不应排除在本技术的保护范围之外。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆形卡槽与所述环形定位凸台之间设置有密封圈，在所述样品罩上设置有抽真空管，在所述抽真空管中设置有真空旋塞阀。

【技术特征摘要】
1.一种半原位XPS样品转移装置，其特征在于：包括样品托和样品罩，在所述样品托的顶部设置有环形定位凸台，在所述样品罩的底部设置有圆形卡槽，所述样品罩扣置在所述样品托上且所述圆形卡槽与所述环形定位凸台卡合，在所述圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：章小余，赵志娟，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11