光敏特性的二氧化锗基有机－无机复合材料的制备方法技术

光敏特性的二氧化锗基有机－无机复合材料的制备方法，以二氧化锗作为无机基质和有机改性硅酸盐（含光敏基团）为有机基质的低温有机－无机复合光敏材料，通过基于其有机光敏功能基团以实现具有光敏特性同时集光波导特性于一身的有机－无机复合光电子材料。采用改进溶胶－凝胶技术结合低温有机－无机合成技术制备具有合成温度低、工艺要求简单、而且重复性好等优点。本发明专利技术同时通过该类低温复合材料的紫外光敏特性结合掩模技术或其它激光技术可进行低成本的光波导器件或其它微光器件的制作。特别是基于在低温下具有数微米厚、折射率可调和紫外光敏特性的单层光学质量波导薄膜，所以非常利于实现微纳光电子器件的集成化和批量制作。

Two preparation methods of germanium oxide based organic-inorganic composite material of photosensitive properties

Two preparation methods of germanium oxide based inorganic organic composite materials photosensitive, with two GeO2 as inorganic matrix and organic modified silicate (containing photosensitive group) for low temperature organic-inorganic composite photosensitive material of the organic matrix, based on the organic photosensitive functional groups in order to realize the organic inorganic composite optoelectronic materials are photosensitive at the same time set optical waveguide properties in a body. The improved sol-gel technique combined with low temperature organic inorganic synthesis technology has the advantages of low synthesis temperature, simple process and good repeatability. At the same time, the low cost optical waveguide device or other micro optical device can be produced by the ultraviolet photosensitive property of the low-temperature composite material, the mask technique or other laser technology. In particular, a single layer optical quality waveguide film with a thickness of several micrometers, a refractive index, and an ultraviolet photosensitive property at low temperature is beneficial to the integration and batch fabrication of micro nano optoelectronic devices.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种二氧化锗基有机-无机复合材料的制备方法，具体涉及一 种。
技术介绍
近年来基于有机改性硅酸盐基复合材料在集成光电子学方面的应用，在 国际上引起了科学家们极大的关注。特别是基于有机改性硅酸盐的溶胶一凝 胶集成光学正显示出潜在的光电子学应用前景。和无机玻璃基质材料相比， 有机-无机复合材料随着有机基团的加入不但可以改进材料的物理、化学和机 械特性，而且还可以改进无机基质的结构，使得对有机光敏分子基团异构化 具有更大的空间。例如含有可聚合的包括未饱含的碳氢化合物或环氧物替代 等有机基团的有机-无机复合材料己被广泛的研究和开发，因为这类复合材料 可根据其紫外光的光敏特性结合掩模技术、激光写入技术、激光全息术或电 子束曝光技术等，然后直接进行显影冲洗掉未被光照(未聚合)区域而实现 光波导器件和微光器件的制作。由此可见，基于该类光敏复合材料的光器件 制作过程，可以省去无机材料中必须的刻蚀过程，从而可大大降低器件制作 成本和进行简单和批量制作。所以到目前为止，基于溶胶-凝胶技术的低温有 机-无机复合光敏材料己被广泛的应用于波导和微光器件，包括二氧化硅、二 氧化锆、二氧化钛基有本文档来自技高网...

【技术保护点】
光敏特性的二氧化锗基有机－无机复合材料的制备方法，其特征在于：１）首先按１∶４的摩尔比将异丙醇锗和２－甲氧基乙醇混合并搅拌均匀作为溶液Ａ；按１∶３∶３的摩尔比将３－（三甲氧基硅烷基）丙基甲基丙烯酸酯、异丙醇和去离子水混合搅拌均匀水解后作为溶液Ｂ；按１∶４∶４的摩尔比将甲基三乙氧基硅烷、乙醇和去离子水混合，然后在混合液中按甲基三乙氧基硅烷∶盐酸为１００∶１的摩尔加入盐酸作为催化剂搅拌均匀后作为溶液Ｃ；２）然后将２０－４０摩尔份数的溶液Ａ、３０－６０摩尔份数的溶液Ｂ和０－４０摩尔份数的溶液Ｃ混合在室温下搅拌，得到均匀含硅锗的低温有机－无机复合基质母液；３）将有机－无机复合基质母液总重量３．０－４．...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：阙文修，贾春颖，姚熹，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：87[中国|西安]