具有双缓冲器和校准器的负载固定室制造技术

本发明专利技术公开一种用于平板显示器制造装置的负载固定室。该负载固定室包括一个在其上可同时支承两个基板的双缓冲装置，和一个用于校正支承在所述双缓冲装置上的基板的位置的校准器。

Fixed load chamber with double buffer and calibrator

The invention discloses a load fixing chamber used for a flat panel display manufacturing device. The loadlock chamber comprises a dual buffer device for supporting two substrates at the same time, and a correction for calibrator substrate supporting on the dual buffer device on location.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于平板显示器制造装置中的负载固定室，具体涉及这样一种平板显示器制造装置中的负载固定室，其包括用于支承基板的双缓冲装置以及用于校正支承在双缓冲上的基板的位置的校准器。
技术介绍
通常，平板显示器制造装置包括三个室，即，一个负载固定室、一个传送室以及一个处理室。这里，负载固定室用于接收外部的待处理基板，并且在处理完成后使基板从处理室返回外部。这样的负载固定室具有在其上放置基板的基板支承装置。传送室安装在负载固定室和处理室之间，作为中间区域用于负载固定室和处理室之间的基板交换。因此，传送室一般都配置有一个将基板传送到负载固定室和处理室的机械手。处理室是对基板进行预定处理的场所，其配置有各种进行预定处理所需的装置，包括用于升起基板的顶升杆。传统的负载固定室具有下述问题配置在其内部的基板支承装置结构复杂且不能同时在其上放置两个基板。另外，因为基板支承装置提供的支承范围较窄，所以其并不适于支承最新的大型基板。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种负载固定室，其包括一个用于在其上可同时支承两个基板的双缓冲装置。本专利技术的另一目的在于提供一种负载固定室，其包括一个适于支承大型基板并且在各个基板的边缘部分不会产生下垂现象的双缓冲装置。本专利技术的又一目的在于提供一种负载固定室，其包括用于校正支承在双缓冲装置上的基板的位置而获得正确的基板定位的校准器。根据本专利技术，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的负载固定室实现，所述负载固定室包括在其上可同时支承两个基板的双缓冲装置；及用于调整支承在所述双缓冲装置上的基板的位置的校准器。优选地，所述双缓冲装置可包括一个第一缓冲器和一个平行位于所述第一缓冲器下方的第二缓冲器。优选地，所述双缓冲装置还包括一个连接所述第一和第二缓冲器的连接件，所述连接件适用于连接所述第一和第二缓冲器两者单侧的边缘。优选地，所述双缓冲装置还包括多个从所述第一和第二缓冲器相对侧向外伸出的辅助支承栏。优选地，所述双缓冲装置还包括多个设置在第一和第二缓冲器上的支承销，所述支承销以一预定距离水平和竖直彼此间隔设置。优选地，所述多个辅助支承栏可形成有多个以一预定距离彼此间隔设置的支承销。优选地，所述双缓冲装置还包括安装在所述第二缓冲器上、用于竖直移动所述双缓冲装置的驱动单元。优选地，所述第二缓冲器的中央安装有一个单独的驱动单元。优选地，所述双缓冲装置还包括设置在所述第二缓冲器的各个角上的驱动导向元件。优选地，所述校准器设置为不会阻碍所述双缓冲装置和支承在所述双缓冲装置上的基板的移动。优选地，两个校准器可对称设置在所述负载固定室的斜向相对的角处。优选地，每个校准器包括一个基板接触件，所述基板接触件水平移动来改变所述基板的位置。优选地，所述校准器还包括竖直移动导向杆，使所述基板接触件可垂直移动。附图说明通过以下结合附图对具体实施方式进行的详细描述，本专利技术上述和其他优点将更为清楚。图1是说明本专利技术双缓冲装置结构的俯视立体图；图2是说明本专利技术双缓冲装置结构的截面图；图3是说明基板支承在本专利技术双缓冲装置上的截面图；图4是说明本专利技术双缓冲装置结构的仰视立体图；图5是说明本专利技术负载固定室内的校准器的安装位置的平面图；及图6是说明本专利技术校准器结构的立体图。具体实施例方式现在，参照附图，对设置在本专利技术平板显示器制造装置负载固定室内的各个组成构件的结构以及动作进行说明。根据本专利技术，一平板显示器制造装置的负载固定室包括一双缓冲装置100和校准器200。请参照图1对本专利技术双缓冲装置100结构的说明，所述双缓冲装置100配置为可以同时在其上支承两个基板。为此，该双缓冲装置100包括一个第一缓冲器110以及一个平行放置在第一缓冲器110下方的第二缓冲器120。本例中，第一和第二缓冲器110和120优选具有相同的板状。由于第一和第二缓冲器110和120用于支承相同尺寸的基板，因此，若第一和第二缓冲器110和120彼此具有相同的形状和尺寸，对于支承相同的基板130是有利的。图2是说明本专利技术双缓冲装置结构的截面图。如图2所示，第一和第二缓冲器110和120由一个单个的连接件140连接。单个的连接件140适于连接第一和第二缓冲器110和120两者单侧的相应边缘。因为基板130必须支承在位于第一缓冲器110下面的第二缓冲器120上，所以要安装在第一和第二缓冲器110和120之间的连接件的数量受到限制。为此，在第一和第二缓冲器110和120之间限定的空间的至少三侧必须开放，且只有缓冲器110和120单侧的边缘允许安装连接件140。如图1所示，第一和第二缓冲器110和120沿着其相对的侧面设置有许多辅助支承栏150。即，辅助支承栏150从第一和第二缓冲器110和120相对侧面向外突出，使得它们彼此间隔一预定的距离。通过这样配置，即使是将超过第一和第二缓冲器110和120尺寸的大型基板放置在第一和第二缓冲器110和120上，基板130的边缘部分也不会产生下垂现象。如图2所示，第一和第二缓冲器110和120还设置有多个支承销160，所述支承销160以一预定距离水平和竖直间隔设置。因此，如在图3中可以清楚看出的，支承销160优选具有充分的竖直长度，使得机械手(图未示出)可以通过第一和第二缓冲器110和120、以及支承在第一和第二缓冲器110和120上的基板130之间所限定的空间。如图1所示，更优选地，在辅助支承栏150上也设有多个支承销160，且彼此间隔一预定距离。再参照图2，第二缓冲器120在中央安装有一个单独的驱动单元170。驱动单元170可与一外部装置连接，并且其连接区域通过利用一个波纹管组件来进行保护。因此，尽管没有示出，该驱动单元170可与安装在负载固定室10外部的一个驱动马达连接。这样，在图未示出的驱动马达运转的情况下，该双缓冲装置100可以竖直移动。图4是说明本专利技术双缓冲装置100结构的仰视立体图。如图4所示，优选在第二缓冲器120的各个角处设置驱动导向元件180。可以想到，上述单独的驱动单元170可能不足以在没有波动的状态下沿精确的直线路径来竖直移动双缓冲装置100。因此，必须在第二缓冲器120的相应角上安装细长圆柱杆形式的驱动导向元件180，以促进双缓冲装置100的精确的竖直直线运动。除了双缓冲装置100外，图5中参考标号为10的本专利技术负载固定室还包括校准器200，以用于校正支承在双缓冲100上的基板130的位置。参照图5，校准器200优选按照下述方式设置在负载固定室10内，即，他们并不妨碍双缓冲装置100和支承在双缓冲装置100上的基板130的运动。该校准器200开始推基板130的角落区域，使得基板130被完全定位在双缓冲装置100上后，精确地校正基板130的位置。因此，校准器200不会阻碍基板130于双缓冲装置100上的放置，或者说不会阻碍双缓冲装置100的竖直移动过程中使用机械手进行的传送。如所示，更优选地，将两个校准器200优选彼此对称地设置在负载固定室10斜向相对的角落处。这样适合使负载固定室10的整体结构简化，并且仅通过一个校准器200的操作就可以实现基板130的对正，并能够实现基板130的准确快速的对正。图6是说明本专利技术的校准器200结构的立体图。如图6所示，校准器200具有基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板显示器制造装置的负载固定室，其包括：一个在其上同时支承两个基板的双缓冲装置；及一个校准器，所述校准器用于调整支承在所述双缓冲装置上的基板的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许光虎，崔浚泳，李哲源，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]