用于MEMS传感器的针对基于时间的光学敏感元件的系统和方法技术方案
【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求2015年6月26日提交的编号为62/185,256的标题为“TIME-BASEDOPTICALPICKOFFFORMEMSSENSORS”的美国临时申请的优先权及其权益，该文献通过引用以其整体的方式结合于本文中。本申请与2015年4月29日提交的编号为62/154,197的标题为“HIGHLYINTEGRATEDOPTICALREADOUTMEMSSENSORS”美国临时申请和2015年5月26日提交的编号为14/721,914的标题为“SYSTEMSANDMETHODSFORHIGHLYINTEGRATEDOPTICALREADOUTMEMSSENSORS”的美国专利申请相关，这两篇文献均通过引用以其整体的方式结合于本文中。
技术介绍
在微机电系统(MEMS)传感器中使用电容读出器容易受到各种误差机制的影响，例如电馈通(feed-through)、传感器机械模式的电阻尼、玻璃充电(glasscharging)、金属电容板的功函数改变等。另外，传感器的比例因子(SF)、或除以输入信号得出的信号量直接与读出器机制的敏感性相关。这两个因素限制了...
【技术保护点】
一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件(120)传感器的方法，该方法包括：将由光源(126)生成的光束发射到在第一基板(110)中单片制造的集成波导光学敏感元件(120)中，集成波导光学敏感元件(120)包括光学输入端(121)、耦合端(123)和光学输出端(125)；以及，通过在光学输出端(125)处测量光束的衰减，来探测耦合端(123)和与耦合端(123)隔开一间隙的移动传感器部件(116)之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件(116)关于包括耦合端(123)的第一基板(110)的表面做平面内移动，且耦合端(123)被定位为探测移动传感器部件(116)的边沿(2...
【技术特征摘要】
2015.06.26 US 62/185256;2015.09.21 US 14/8604431.一种用于集成波导的基于时间的光学敏感元件(120)传感器的方法，该方法包括：将由光源(126)生成的光束发射到在第一基板(110)中单片制造的集成波导光学敏感元件(120)中，集成波导光学敏感元件(120)包括光学输入端(121)、耦合端(123)和光学输出端(125)；以及，通过在光学输出端(125)处测量光束的衰减，来探测耦合端(123)和与耦合端(123)隔开一间隙的移动传感器部件(116)之间的重叠面积的改变，其中，移动传感器部件(116)关于包括耦合端(123)的第一基板(110)的表面做平面内移动，且耦合端(123)被定位为探测移动传感器部件(116)的边沿(201)的移动；以及测量来自光学输出端(125)的振荡光学输出的定时。2.一种集成光学读出传感器，该传感器包括：至少第一玻璃基板(110)；在第一玻璃基板(110)中单片制造的且包括光学输入端(121)、耦合端(...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·D·霍尔宁，G·罗登，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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