自动微调点胶路径的水平点胶装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种自动微调点胶路径水平点胶的方法包括下列步骤：获取一加工件的待胶合处之位置资讯；沿着垂直于该加工件方向，量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量；提供一喷射点胶头，沿水平方向朝向加工件的该多个待胶合处喷射多个胶滴；依据该多个待胶合处的位置资讯以及上述垂直变化量，移动该喷射点胶头，将该多个胶滴喷射至加工件的该多个待胶合处。本发明专利技术还提供一自动微调点胶路径的水平点胶装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术乃是关于一种自动微调点胶路径的水平点胶装置及其方法，特别是指一种点胶系统将点胶头以水平方式置放并以水平方式喷射胶滴以胶合一具有位于侧面的待胶合处的加工件。
技术介绍
利用立体堆叠技术来制造三维晶片(3DIC)，具有封装体积小、高电气效能与成本因素等三种优势，愈来愈多的电子产品以三维晶片制程来制作以减小体积。在三维晶片的构装技术中，晶片之间的堆叠(Stacking)技术是重要的关键。在三维晶片的构装技术中，晶片之间的接合技术是重要的关键。通过特定的接连方式与晶片薄化的技术，能有效增加空间与密集度，并缩短传输距离，提高电路系统的效能与减少能耗。晶圆接合有晶片到晶圆(ChiptoWafer；C2W)、晶片到晶片(ChiptoChip；C2C)、晶圆到晶圆(WafertoWafer；W2W)等三种型式；目前较热门的晶片接合技术为C2W及W2W。二片晶圆接合的方法简要的说，包括氧化物熔融接合(OxideFusionBonding)、金属对金属接合(Metal-MetalBonding)、以及聚合物黏着接合(PolymerAdhesiveBonding)等技术。之后，利用点胶机将二片晶圆的周围缝隙封住以进行下一步的制程。接合后的二片晶圆的待胶合处位于二片晶圆之间，缝隙小，取将晶圆水平置放，待胶合处呈水平向外的状态，需要以正向朝向晶圆的侧面点胶。先前控制点胶头移动的升降装置只从竖直方向调整点胶头的位置，传统的点胶方式已无法适用，难以应付三维晶片的需求。不仅垂直方式点胶无法适用，倾斜状的点胶装置也难以应付。倾斜状点胶只能斜向喷出胶滴，稍有偏差就可能使胶合剂落在晶圆上，而影响点胶品质，甚至损坏晶圆组合件。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题，在于提供一种水平点胶方法，通过提供的点胶系统，特别针对位于侧面之待胶合处的加工件，不论待胶合处是否位于同一水平线上，或者是否有凹陷或突出的状况，仍可确保点胶品质。此外，本专利技术要解决的技术问题，更在于适合以立体整合构装的晶圆接合技术的晶圆(基板)组合件，其待胶合处完全是水平状，包括凹槽或平边，仍可保持其胶合品质；并且针对晶圆周边的些微翘曲状况，可以自动微调点胶路径。为解决上述技术问题，根据本专利技术的其中一种方案，提供一种自动微调点胶路径的水平点胶装置，包括一承载平台、一摄像模组、一测距模组、一喷射点胶头、及一移动模组。上述承载平台用以承载一具有多个朝水平方向的待胶合处的加工件。上述摄像模组包括一设于该加工件上方并获取该多个待胶合处水平位置资讯的俯视镜头、及一置于该加工件的侧面且邻近该喷射点胶头的侧视镜头，该侧视镜头获取该多个该待胶合处垂直位置资讯。上述测距模组沿着垂直方向面向该加工件，发出并接收测距光线以量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量。上述喷射点胶头朝向该加工件的该多个待胶合处沿水平方向喷射多个胶滴。上述移动模组依据上述待胶合处的该多个位置资讯并依据上述垂直变化量，移动该喷射点胶头以微调点胶路径，将该多个胶滴喷射至该加工件的该多个待胶合处。在一可选实施例中，该测距模组包括一设于该加工件上方的测距仪，以量测该加工件顶面的垂直变化量。在一可选实施例中，该测距模组还包括一设于该加工件下方的测距仪，以量测该加工件底面的垂直变化量，其中该垂直变化量包括上述二个垂直变化量的平均值。在一可选实施例中，进一步包括一连接于该移动模组的架设基座、以及一连接臂设置于该俯视镜头的侧边，该侧视镜头以及该喷射点胶头水平地设置于该架设基座上，该测距模组固定于该连接臂。在一可选实施例中，该移动模组包括一轨道、一可动地设于该轨道上的滑动座、一固定于该滑动座上的第一马达、一连接于该第一马达的转接座、及一连接该转接座以及该架设基座的第二马达，其中该第一马达驱动该转接座沿着水平方向且垂直于该轨道移动，其中该第二马达驱动该架设基座沿着竖直方向移动。在一可选实施例中，进一步包括一清洁模组，该清洁模组包括一试喷板，该试喷板邻近该承载平台且位于该喷射点胶头的移动路径上，供该喷射点胶头喷射该多个胶滴于该试喷板上并显示该多个胶滴的路径。在一可选实施例中，该承载平台为一预对准器，该加工件为一含有二片接合晶圆的晶圆组合件，该预对准器校对并定位该晶圆组合件于正确的加工位置。为了解决上述技术问题，根据本专利技术的其中一种方案，提供一种可自动微调点胶路径的水平点胶方法，包括下列步骤：获取一加工件的待胶合处的位置资讯；沿着垂直于该加工件方向，量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量；提供一喷射点胶头，沿水平方向朝向该加工件的该多个待胶合处喷射多个胶滴；以及依据该多个待胶合处的该位置资讯以及上述垂直变化量，移动该喷射点胶头，将该多个胶滴喷射至该加工件的该多个待胶合处；其中针对相距于该喷射点胶头相同的第一距离的该多个待胶合处，保持上述喷射点胶头与该多个待胶合处于上述第一距离并等速喷射该多个胶滴；其中针对相距于该喷射点胶头大于上述第一距离的该多个待胶合处，移动该喷射点胶头以使该多个胶滴落于较远的位置。在一可选实施例中，该获取位置资讯的步骤包括旋转该加工件360度，并将上述位置资讯传输至一记录暨控制装置。在一可选实施例中，该获取位置资讯的步骤包括提供一设于该加工件上方的俯视镜头以获取一水平位置资讯，以及提供一设于该加工件的侧面的侧视镜头以获取一垂直位置资讯。在一可选实施例中，在量测上述垂直变化量的步骤还包括设置一测距模组于该加工件上方，以量测该加工件顶面的垂直变化量。在一可选实施例中，在量测上述垂直变化量的步骤还包括设置一测距模组于该加工件下方，以量测该加工件底面的垂直变化量。在一可选实施例中，喷射该多个胶滴的步骤，进一步包括下列步骤：依据上述位置资讯设定该加工件一起始点；使该起始点对准上述喷射点胶头；旋转该加工件并起动上述喷射点胶头；判断是否该加工件已旋转360度，若否，则继续旋转该加工件并喷射该多个胶滴；若是，则停止上述喷射点胶头。在一可选实施例中，升高该喷射点胶头的步骤，进一步包括下列步骤：提高喷射该多个胶滴的频率，以弥补该多个胶滴于单位长度内的密度。在一可选实施例中，升高该喷射点胶头的步骤，进一步包括下列步骤：维持喷射该多个胶滴的频率而降低该加工件的转速，以弥补该多个胶滴于单位长度内的密度。在一可选实施例中，针对相距于该喷射点胶头小于上述第一距离的该多个胶合处，保持上述喷射点胶头与该多个待胶合处于上述第一距离并提高喷射该多个胶滴的频率。在一可选实施例中，在载入该加工件之前，进一步包括一胶滴拋物线校正的程序，包括下列步骤：移动该喷射点胶头至一校正第一位置；沿着X轴及Y轴移动该喷射点胶头；启动该喷射点胶头喷胶以喷射胶滴于一试喷板；记录上述喷射的速度及该胶滴的数量；视觉扫描以获取该多个胶滴在该试喷板上的情况；移动该喷射点胶头至一校正第二位置；沿着Z轴线性校正；依上述Z轴的补偿值，沿着X、Y、Z轴移动该喷射点胶头；启动该喷射点胶头喷胶以喷射胶滴于上述试喷板；以及视觉扫描以获取该多个胶滴在该试喷板上的路径。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术的水平点胶方法可以针对位于侧面的待胶合处的加工件，不论待胶合处是否位于同一水平线上，或者是否有凹陷或突出的状况，仍可确保点胶品质。此外，本专利技术更可适合以立本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，包括：一承载平台，以承载一具有多个朝水平方向的待胶合处的加工件；一摄像模组，包括一设于该加工件上方并获取该多个待胶合处水平位置资讯的俯视镜头、及一置于该加工件的侧面且邻近该喷射点胶头的侧视镜头，该侧视镜头获取该多个该待胶合处垂直位置资讯；一测距模组，沿着垂直方向面向该加工件，发出并接收测距光线以量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量；一喷射点胶头，朝向该加工件的该多个待胶合处沿水平方向喷射多个胶滴；及一移动模组，依据上述待胶合处的该多个位置资讯并依据上述垂直变化量，移动该喷射点胶头以微调点胶路径，将该多个胶滴喷射至该加工件的该多个待胶合处。

【技术特征摘要】
1.一种自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，包括：一承载平台，以承载一具有多个朝水平方向的待胶合处的加工件；一摄像模组，包括一设于该加工件上方并获取该多个待胶合处水平位置资讯的俯视镜头、及一置于该加工件的侧面且邻近该喷射点胶头的侧视镜头，该侧视镜头获取该多个该待胶合处垂直位置资讯；一测距模组，沿着垂直方向面向该加工件，发出并接收测距光线以量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量；一喷射点胶头，朝向该加工件的该多个待胶合处沿水平方向喷射多个胶滴；及一移动模组，依据上述待胶合处的该多个位置资讯并依据上述垂直变化量，移动该喷射点胶头以微调点胶路径，将该多个胶滴喷射至该加工件的该多个待胶合处。2.如权利要求1所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，该测距模组包括一设于该加工件上方的测距仪，以量测该加工件顶面的垂直变化量。3.如权利要求2所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，该测距模组还包括一设于该加工件下方的测距仪，以量测该加工件底面的垂直变化量，其中该垂直变化量包括上述二个垂直变化量的平均值。4.如权利要求1所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，进一步包括一连接于该移动模组的架设基座、以及一连接臂设置于该俯视镜头的侧边，该侧视镜头以及该喷射
\t点胶头水平地设置于该架设基座上，该测距模组固定于该连接臂。5.如权利要求4所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，该移动模组包括一轨道、一可动地设于该轨道上的滑动座、一固定于该滑动座上的第一马达、一连接于该第一马达的转接座、及一连接该转接座以及该架设基座的第二马达，其中该第一马达驱动该转接座沿着水平方向且垂直于该轨道移动，其中该第二马达驱动该架设基座沿着竖直方向移动。6.如权利要求1所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，进一步包括一清洁模组，该清洁模组包括一试喷板，该试喷板邻近该承载平台且位于该喷射点胶头的移动路径上，供该喷射点胶头喷射该多个胶滴于该试喷板上并显示该多个胶滴的路径。7.如权利要求1所述的自动微调点胶路径的水平点胶装置，其特征在于，该承载平台为一预对准器，该加工件为一含有二片接合晶圆的晶圆组合件，该预对准器校对并定位该晶圆组合件于正确的加工位置。8.一种可自动微调点胶路径的水平点胶方法，其特征在于，包括下列步骤：获取一加工件的待胶合处的位置资讯；沿着垂直于该加工件方向，量测该多个待胶合处相对于一水平基准的垂直变化量；提供一喷射点胶头，沿水平方向朝向该加工件的该多个待胶合处喷射多个胶滴；以及依据该多个待胶合处的该位置资讯以及上述垂直变化量，移动该喷射点胶头，将该多个胶滴喷射至该加工件的该多个待胶合处；其中针对相距于该喷射点胶头相同的第一距离的该多...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈基盟，陈毅均，胡源文，许庆丰，
申请(专利权)人：鸿骐新技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71