微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜，属于显示技术领域。所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。本发明专利技术解决了现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题，实现了丰富了微观缺陷检测装置的功能的效果，用于检测微观缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，特别涉及一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜。
技术介绍
在薄膜晶体管(英文：ThinFilmTransistor；简称：TFT)领域中，显微镜是使用非常普遍的设备。在分析被测对象(如显示面板)的不良时，可以使用显微镜观察被测对象的微观形貌，检测被测对象上存在微观缺陷(如显示面板的不良点)的区域，然后标记该区域中的微观缺陷，进行微观分析等。现有技术中有一种微观缺陷检测装置，在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，采用人工标记的方式标记该区域中的微观缺陷，具体的，工作人员用记号笔在被测对象的表面画圈，使该微观缺陷位于工作人员所画的圈内。由于显微镜的存在，工作人员每次都是斜视微观缺陷，完成微观缺陷的标记过程。由于在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，需要采用人工标记的方式对该微观缺陷进行标记，因此，微观缺陷检测装置的功能较单一。
技术实现思路
为了解决现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题，本专利技术提供了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜。所述技术方案如下：第一方面，提供了一种微观缺陷检测装置，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。可选的，所述标记组件还用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；所述标记组件还用于在检测到所述第二区域后，采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷。可选的，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，所述标记部件用于在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；所述压力感测部件用于在检测到所述标记组件受到的压力达到预设压力值时，向所述驱动部件发送提示信号，以便于所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。可选的，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件，所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，所述控制单元用于控制所述推动杆靠近或远离所述被测对象，带动所述标记组件靠近或远离所述被测对象。可选的，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件，所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，所述定位部件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。可选的，所述标记组件的长度方向与承载所述被测对象的承载台的台面垂直。可选的，所述第一标记印章和所述第二标记印章均包括第一印章，所述第一印章呈圆形，所述微观缺陷位于所述第一印章内，所述第一印章为人眼可识别的印章。可选的，所述第一标记印章和所述第二标记印章还包括第二印章，所述第二印章呈圆形，所述第二印章位于所述第一印章内，所述第二印章为人眼不可识别的印章。可选的，所述压力感测部件还用于在检测到所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值时，发出告警信号，所述告警信号用于指示所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值。可选的，所述检测组件为第一倍率的物镜；所述定位部件为第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。可选的，所述标记部件包括储油机构和印章机构，所述储油机构位于所述推动元件和所述印章机构之间，所述印章机构用于在受到压力后，挤压所述储油机构出油，以产生所述第一标记印章或所述第二标记印章。可选的，所述压力感测部件为压力传感器；所述弹性元件为弹簧；所述推动元件为活塞。可选的，所述储油机构为储油垫；所述印章机构为光敏垫。第二方面，提供了一种微观缺陷检测装置的控制方法，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述方法包括：采用所述检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。可选的，在所述采用所述检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域之后，所述方法还包括：采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；控制所述标记组件采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷。可选的，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，所述控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷，包括：控制所述驱动部件推动所述标记部件，以使所述标记部件在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；采用所述压力感测部件检测所述标记组件受到的压力；其中，当所述压力达到预设压力值时，所述压力感测部件能够向所述驱动部件发送提示信号，所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。可选的，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件，所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，所述控制所述驱动部件推动所述标记部件，包括：通过所述控制单元控制所述推动杆靠近所述被测对象，以推动所述标记部件；所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，包括：所述控制单元根据所述提示信号，操纵所述推动杆远离所述被测对象，以带动所述标记组件远离所述被测对象。可选的，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件，所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，所述采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，包括：采用所述定位部件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。第三方面，提供了一种显微镜，包括：第一方面所述的微观缺陷检测装置。本专利技术提供了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜，该微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，通过检测组件能够检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，通过标记组件能够在检测组件检测到第一区域后，采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微观缺陷检测装置，其特征在于，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上；所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。

【技术特征摘要】
1.一种微观缺陷检测装置，其特征在于，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上；所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。2.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述标记组件还用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；所述标记组件还用于在检测到所述第二区域后，采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷。3.根据权利要求2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，所述标记部件用于在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；所述压力感测部件用于在检测到所述标记组件受到的压力达到预设压力值时，向所述驱动部件发送提示信号，以便于所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。4.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件；所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，所述控制单元用于控制所述推动杆靠近或远离所述被测对象，带动所述标记组件靠近或远离所述被测对象。5.根据权利要求4所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件；所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，所述定位部件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。6.根据权利要求1或2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述标记组件的长度方向与承载所述被测对象的承载台的台面垂直。7.根据权利要求2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述第一标记印章和所述第二标记印章均包括第一印章，所述第一印章呈圆形，所述微观缺陷位于所述第一印章内，所述第一印章为人眼可识别的印章。8.根据权利要求7所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述第一标记印章和所述第二标记印章还包括第二印章，所述第二印章呈圆形，所述第二印章位于所述第一印章内，所述第二印章为人眼不可识别的印章。9.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述压力感测部件还用于在检测到所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值时，发出告警信号，所述告警信号用于指示所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值。10.根据权利要求2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述检测组件包括具有第一倍率的物镜；所述定位部件包括具有第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。11.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，刘勋，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11