波长扫描外腔半导体激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于激光光谱学研究应用的波长扫描外腔半导体激光器。所述激光器包括：增益芯片、输出端准直透镜、反馈端准直透镜、扫描振镜、闪耀光栅、驱动及控制电路。由驱动及控制电路激励增益芯片发光，增益芯片反馈端发射光经反馈端准直透镜准直后，再由扫描振镜反射后，以一定的入射角照射到闪耀光栅上，闪耀光栅将特定波长的光反馈，按原光路返回增益芯片，从而形成谐振，产生激光，经输出端准直透镜准直后输出；扫描振镜在一定角度范围内来回转动，则照射到闪耀光栅的光的入射角在一定范围内来回扫描，反馈波长随之扫描，从而使输出激光波长在一定范围内扫描。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体光电器件
，尤其涉及一种波长扫描外腔半导体激光器。
技术介绍
激光光谱学研究对于现代物理学、材料科学、生物学、医学等诸多领域的发展具有重要意义。得益于激光光源的专利技术和不断进步，激光光谱学研究的应用领域日趋丰富，同时也对激光光源本身提出了更多、更高的要求。激光光谱学研究往往要求激光光源具有一定的波长调谐范围，这样可以在调谐波长范围内测得目标吸收峰，通过对吸收峰位置、强度和宽度的分析，从而得到所需信息。分布反馈(DFB)半导体激光器具有体积小、功率稳定、波长调谐性能稳定的优点，因而较多的被应用于激光光谱学研究，尤其是气体分子检测与气体浓度测定。然而，DFB半导体激光器调谐范围十分有限，而许多的激光光谱学研究中需要大范围波长调谐。外腔半导体激光器具有宽调谐范围的特点，但是外腔激光器的波长选择往往涉及精密的机械运动控制，所以很难实现快速调谐和周期性波长扫描。以往研究人员通过旋转多面棱镜的方法，获取较高频率的波长扫描外腔半导体激光器，但是激光输出的占空比很小，而且波长扫描仅限于线性扫描模式。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题针对
技术介绍
中的问题，本专利技术提出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长扫描外腔半导体激光器，包括：增益芯片(1)；闪耀光栅(5)；以及扫描振镜(4)，其中：所述增益芯片(1)的发射光经所述扫描振镜(4)反射到所述闪耀光栅(5)；所述闪耀光栅(5)的反馈光经所述扫描振镜(4)返回至所述增益芯片(1)，形成谐振，产生激光。

【技术特征摘要】
1.一种波长扫描外腔半导体激光器，包括：增益芯片(1)；闪耀光栅(5)；以及扫描振镜(4)，其中：所述增益芯片(1)的发射光经所述扫描振镜(4)反射到所述闪耀光栅(5)；所述闪耀光栅(5)的反馈光经所述扫描振镜(4)返回至所述增益芯片(1)，形成谐振，产生激光。2.根据权利要求1所述的波长扫描外腔半导体激光器，其特征在于，所述扫描振镜(4)在一定偏转角度范围内来回转动。3.根据权利要求2所述的波长扫描外腔半导体激光器，其特征在于，所述扫描振镜(4)在一定偏转角度范围内来回转动的频率最高为1200Hz。4.根据权利要求1所述的波长扫描外腔半导体激光器，其特征在于，所述扫描振镜(4)包括驱动线圈(41)、光束反射镜(42)、扫描转子(44)、磁铁(45)，其中：驱动线圈(41)在磁铁(45)产生的磁场中产生电磁力矩，驱动扫描转子(44)带动光束反射镜(42)旋转；扫描转子(44)上通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩，大小与扫描转子(44)偏离平衡位置的角度成正比；当驱动线圈(41)通以一定的驱动电流而扫描转子(44)发生偏转到一定的角度时，电磁力矩与复位力矩大小相等，偏转角与电流成正比；通过扫描驱动电流，使光束反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾志伟，王利军，张锦川，赵越，刘峰奇，王占国，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11