激光器镜片拆装工具制造技术

本实用新型专利技术提出了一种激光器镜片拆装工具，包括工具架体、光学扳手固定装置、镜片固定装置、升降装置、旋转装置及紧固装置；光学扳手固定装置通过弹性部件安装在工具架体底部，旋转装置与光学扳手固定装置通过齿轮连接；镜片固定装置通过升降装置安装在工具架体顶部，紧固装置与镜片固定装置通过齿轮连接；光学扳手固定在光学扳手固定装置上，激光器镜片固定在镜片固定装置上，旋转装置带动光学扳手固定装置和光学扳手旋转，进行激光器镜片的安装和拆卸。由于镜片和光学扳手均固定在激光器镜片拆装工具中，避免人工操作出现失误，造成镜片的损伤，并且能够通过旋转装置提供较为均匀的拧合力，确保安装的准确度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光设备领域，尤其涉及一种激光器镜片拆装工具。
技术介绍
准分子激光退火是低温多晶硅技术(LTPS)工艺中不可或缺的一道工序，准分子激光退火设备在维护过程中，需要对准分子激光退火设备中激光器中的镜片进行保养更换的时候，经常会出现以下几点问题：一、镜片擦拭完成后，在固定镜片过程中，通常采用扳手进行人工旋转安装镜片，然而，由于扳手设计简单，人工旋拧很容易将镜片划伤，导致镜片永久报废，造成经济损失；二、在镜片拧紧固定的过程中，由于人员力度差异，拧紧的力度不一，很容易使得镜片未拧紧而发生泄漏，导致维护失败，需要重新检查后再进行维护保养，导致激光器中的特殊气体被大量浪费。因此，需要提出一种激光器镜片拆装工具，以避免上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种激光器镜片拆装工具，能够避免造成镜片被划伤，并且提高镜片安装的准确度。为了实现上述目的，本技术提出了一种激光器镜片拆装工具，包括：工具架体、光学扳手固定装置、镜片固定装置、升降装置、旋转装置及紧固装置；其中，所述光学扳手固定装置安装在所述工具架体底部，所述旋转装置与所述光学扳手固定装置连接；所述镜片固定装置通过所述升降装置安装在所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光器镜片拆装工具，其特征在于，包括：工具架体、光学扳手固定装置、镜片固定装置、升降装置、旋转装置及紧固装置；其中，所述光学扳手固定装置安装在所述工具架体底部，所述旋转装置与所述光学扳手固定装置连接；所述镜片固定装置通过所述升降装置安装在所述工具架体顶部，所述紧固装置与所述镜片固定装置连接；光学扳手固定在所述光学扳手固定装置上，通过升降装置和紧固装置将激光器镜片固定在所述镜片固定装置上，旋转所述旋转装置带动所述光学扳手固定装置和光学扳手转动，进行激光器镜片的安装和拆卸。

【技术特征摘要】
1.一种激光器镜片拆装工具，其特征在于，包括：工具架体、光学扳手固定装置、镜片固定装置、升降装置、旋转装置及紧固装置；其中，所述光学扳手固定装置安装在所述工具架体底部，所述旋转装置与所述光学扳手固定装置连接；所述镜片固定装置通过所述升降装置安装在所述工具架体顶部，所述紧固装置与所述镜片固定装置连接；光学扳手固定在所述光学扳手固定装置上，通过升降装置和紧固装置将激光器镜片固定在所述镜片固定装置上，旋转所述旋转装置带动所述光学扳手固定装置和光学扳手转动，进行激光器镜片的安装和拆卸。2.如权利要求1所述的激光器镜片拆装工具，其特征在于，所述工具架体包括顶盘、第一金属圆盘、第二金属圆盘、第三金属圆盘、底座及金属支撑轴，所述金属支撑轴固定在所述底座上，并支撑所述顶盘、第一金属圆盘、第二金属圆盘及第三金属圆盘组成架状，所述第二金属圆盘通过滑珠安装在所述第三金属圆盘上。3.如权利要求2所述的激光器镜片拆装工具，其特征在于，所述光学扳手固定装置安装在所述第二金属圆盘上，所述镜片固定装置安装在所述第一金属圆盘上。4.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱声建，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32