基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器及其制作方法技术

一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器的制作方法，包括以下步骤：取单模光纤，用剥纤钳剥除光纤涂覆层，用切割刀切出一个整洁的光纤端面；采用飞秒激光微加工，激光波长为800nm，重复频率1KHz，脉宽120fs，最高输出功率100mW，经过快门和衰减片调整到1mW左右，然后经过20倍物镜聚焦到光纤端面上，光纤固定在精度0.1μm的三维平移台上；在光纤端面上烧蚀出一个矩形，宽度28μm长度32μm，深度40-50μm，矩形中心与光纤中心轴线的距离为18μm；将经过烧蚀的光纤端面用酒精清洗1分钟后，与另一端无处理的光纤端面进行熔接，熔接后即可在光纤中形成空气泡，从而获得一个光纤马赫泽德传感器。该发明专利技术的有益效果为：不需要氢氟酸腐蚀处理，也不需要拉锥，在光纤端面上进行微加工，具有加工制作安全、快捷，容易控制，体积小巧，牢固性好等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光纤传感器领域，具体涉及一种光纤马赫泽德传感器及其制作方法。
技术介绍
光纤传感器是目前可实用化的小尺寸传感头之一，它具有抗电磁干扰、抗辐射、灵敏度高、重量轻、绝缘防爆、耐腐蚀等优异的性能，特别的是光纤的尺寸微小、且具有良好的光传输特性，将成为制备网络化微型传感器的重要选择，因此，受到国内外研究者的青睐和重视。光纤传感器的发展趋势是微型化和高性能，因此具有小尺寸、高灵敏度、快响应速度和微量检测等优势的新型光纤传感器成为近年来研究的热点。近年来，随着各种微加工技术不断成熟，基于光纤端面和光纤内部而进行的微结构制备得到了迅速发展，飞秒激光微加工技术成为制作微型光纤传感器的一种重要方法。现有的光纤传感器大多采用马赫-泽德干涉仪结构，例如公开号为CN104215270A的专利技术专利“飞秒激光脉冲序列加工的全光纤传感器及其制作方法”，采用飞秒激光脉冲序列微加工和氢氟酸腐蚀的方法，加工制作过程很复杂，不便于批量化生产，在实际使用中受到限制。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器及其制作方法，具有制作简单、尺寸小巧、牢固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器，包括纤芯(1)、包层(2)、空气泡(3)；其特征在于，所述的空气泡(3)位于光纤内，为椭圆形，长轴为50μm，短轴为40μm，空气泡的中心与光纤纤芯中心的距离为8‑10μm。

【技术特征摘要】
1.一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器，包括纤芯(1)、包层(2)、空气泡(3)；其特征在于，所述的空气泡(3)位于光纤内，为椭圆形，长轴为50μm，短轴为40μm，空气泡的中心与光纤纤芯中心的距离为8-10μm。2.一种基于飞秒激光微加工的光纤马赫泽德传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)取单模光纤，用剥纤钳剥除光纤涂覆层，用切割刀切出一个整洁的光纤端面；(2)采用飞秒激光微加工，激光波长为800nm，重复频率1KHz，脉宽120fs，最高输出功率100mW，经过快门和衰减片调整到1mW左右，然后经过2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王东宁，龚华平，徐贲，倪凯，刘红林，
申请(专利权)人：中国计量学院，
类型：发明
国别省市：浙江;33