一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法技术

本发明专利技术公开了一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，采用标准加入法，以柠檬酸作基体改进剂，利用氘灯自动扣背景，采用石墨炉原子吸收光谱法直接测定电子级二乙二醇甲醚中的铜含量。结果表明：检出限为0.276μg/L，方法相对标准偏差<3.64％，加标回收率在97.20％～103.3％之间。本发明专利技术有机样品不经前处理，大大缩短了分析时间，检测方法简便快速，适用于批量二乙二醇甲醚样品中铜的快速测定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化学分析
，具体涉及电子级二乙二醇甲醚中微量元素铜含量的测定方法。
技术介绍
二乙二醇甲醚(DGME)分子结构中既有醚键，又有羟基，被誉为万能溶剂，在电子工业中主要作为清洗剂。电子级醇醚作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于集成电路、分立器件、印刷电路板、液晶显示器等加工过程中各种芯片的清洗、干燥等方面。若重金属杂质(Pb、Cu、Cd等)附着在硅晶片的表面上，会使P-N结耐电压降低，影响IC电性能。因此对Cu等重金属杂质含量的要求越来越高，质量指标从原来的10-6级，发展到超大规模集成电路控制的10-9级。对Cu等重金属杂质的测定和质量控制成为业内关注的热点问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，按照下述步骤进行：1、分析条件的确定1.1分析线的选择：采用最佳仪器工作条件，分别以324.8nm、327.4nm、249.2nm作为分析线对加标量为0、2、4、6、8、10μg/L的DGME溶液进行测定。数据表明324.8nm处线性关系更好，背景吸收更低，数据稳定性与重现性更好；1.2石墨管类型的选择:吸取待测样品50mL四份于四个100mL容量瓶中，分别准确移取镉标准使用液0.20mL、0.40mL、0.60mL、0.8mL、1.0mL于容量瓶中，超纯水定容至刻度，摇匀。配制成加标量为2.0、4.0、6.0、8.0、10.0μg/L的待测溶液，分别使用高密、热解涂覆、热解涂覆平台石墨管进行测定，数据表明使用热解涂覆石墨管吸光度至更大，线性关系更好。1.3升温程序的确定：以20g/L柠檬酸作基体改进剂，确定仪器最佳升温程序；2、标准加入法标准曲线的绘制2.1铜的标准使用液的配制：准确移取浓度为1.0g/L铜标准溶液1mL于1000mL容量瓶中，用超纯水定容至刻度线，得浓度为1.0mg/L铜的标准使用液；2.2标准曲线的绘制：吸取待测样品50.00mL六份于六个100mL容量瓶中，分别准确移取铜的标准使用液0.10mL、0.20mL、0.40mL、0.60mL、0.80mL、1.00mL，以20g/L柠檬酸作基体改进剂，超纯水定容至刻度，配成加标量为1、2、4、6、8、10μg/L的待测样品。在1.1仪器条件下进样10μL，以浓度为横坐标，以峰高为纵坐标作标准曲线，计算回归方程及相关系数。2.3样品测定：在1.2仪器条件下，以20g/L柠檬酸为基体改进剂，进行测定。3、其中步骤1.2所述原子吸收最佳分析条件为：检测波长324.8nm；狭缝0.7nm；灯电流6mA；干燥阶段载气流量100mL/min；灰化及净化阶段载气流量1000mL/min；原子化阶段停气；进样量10μL；峰高测量方式。本专利技术的优点本专利技术选择了柠檬酸作基体改进剂，因为柠檬酸受热分解产生H2、CO和新生碳等还原性物质，降低待测元素原子化温度，降低背景吸收信号。本专利技术采用标准加入法，以20g/L柠檬酸为基体改进剂，利用氘灯自动扣除背景，采用石墨炉原子吸收光谱法测定电子级二乙二醇甲醚中铜的含量，与现有技术相比，大大缩短了分析时间，检测方法简便快速，适用于批量二乙二醇甲醚样品中铜的快速测定，具有很好的技术推广价值。具体实施方式下面结合具体实例来进一步详细说明本专利技术。实施实例1工作曲线及检出限的确定1、主要仪器与试剂GFA-7000石墨炉原子化器(岛津公司)；AA-7000原子分光光度计(岛津公司)；ASC-7000自动进样器(岛津公司)；Cu元素空心阴极灯；热解涂复石墨管。铜标准溶液(1.0g/L，上海市计量测试技术研究院)；硝酸：(国药集团化学试剂有限公司)。柠檬酸为分析纯；实验用水：超纯水，电阻大于18MΩ；准确移取浓度为1.0g/L铜标准溶液1mL于1000mL容量瓶中，用超纯水定容至刻度线，得浓度为1.0mg/L铜的标准使用液；吸取待测样品50.00mL六份于六个100mL容量瓶中，分别准确移取铜标准使用液0.10mL、0.20mL、0.40mL、0.60mL、0.80mL、10mL于容量瓶中，加入20g/L柠檬酸，超纯水定容至刻度，配成加标量为1、2、4、6、8、10μg/L的待测样。进样量为10μL，以浓度为横坐标，以吸光度为纵坐标作标准曲线，其回归方程为y＝0.02261x+0.02583，相关系数r＝0.9987。式中y—吸光度；x—铜浓度(μg/L)。根据国际纯粹与应用化学联合会(IUPAC)的光谱学检出限定义，连续测定20次空白值，按K＝3时计算出的检出限为0.276μg/L。实施例2电子级二乙二醇甲醚中铜含量的测定(1)基体改进剂与样品体积比为1：1(2)以20g/L柠檬酸为基体改进剂，升温程序表1，利用氘灯自动扣除背景，根据标准曲线计算样品中铜含量。仪器工作条件为：检测波长324.8nm；狭缝0.7nm；灯电流6mA；干燥阶段载气流量100mL/min；灰化及净化阶段载气流量1000mL/min；原子化阶段停气；进样量10μL；峰高测量方式。表1石墨炉升温程序实施例3回收率、相对标准偏差及精密度实验按照实施例2取3个平行样，加标量分别为1.0、2.0、3.0μg/L，分别测定其铜含量。并按照加标量、测定量(已减去原含量)计算回收率，结果见表2。本方法的回收率在97.2.0％～103.3之间，说明本方法具有较高的准确性。表2铜的回收率取3个不同批次的样品，采用本专利技术方法对其中铜含量进行测定，每个样品测定5次，所得RSD<3.64％。测得样品中铜含量分别为1.519、1.826、1.257μg/L。表3样品测定及精密度实验(n＝5)本专利技术方法简便、快速，精密度和准确度能满足电子级二乙二醇甲醚中铜含量测定的要求，从事相关工作的技术人员可用本专利技术方法进行检测。上述实例仅供说明本专利技术，而非对本专利技术限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：样品不经前处理以柠檬酸作基体改进剂直接进样，采用石墨炉原子吸收光谱法、标准加入法，利用氘灯自动扣除背景，根据校准曲线计算待测液的铜含量。

【技术特征摘要】
1.一种直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：样品不经前处理以柠檬酸作基体改进剂直接进样，采用石墨炉原子吸收光谱法、标准加入法，利用氘灯自动扣除背景，根据校准曲线计算待测液的铜含量。2.根据权利要求1所述直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：样品不经前处理，直接进样进行测定。3.根据权利要求1所述直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：测定所用的石墨管选用热解涂覆石墨管。4.根据权利要求1所述直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：所述基体改进剂用量为0～30g/L，与样品体积比为0～1：1。5.根据权利要求1所述直接测定电子级二乙二醇甲醚中铜含量的方法，其特征在于：测...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭登峰，王燕，刘准，宋文娟，高中飞，施婷婷，
申请(专利权)人：常州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32