【技术实现步骤摘要】
本专利技术的净化剂用于净化惰性气体，它既可脱除氢，又可脱除氧，可广泛用于电子工业，半导体材料和器件生产，冶金、仪表、化工和原子能等工业所需N2、Ar、He气的纯化工艺。惰性气体的净化常涉及脱氢或脱氧，有时也有氢和氧需同时脱除。如果只涉及H2或O2而且总气量不大时，通常可用吸收型的净化剂，如用CuO去H2，用锰型脱氧剂去O2;也可用消耗性的材料，如用碳脱氧剂使O2转化成CO2后除去。但对于H2或O2杂质含量高且总气量大的惰性气体流，则采用H2-O2反应的工艺有好处，向含有一种杂质气（通常为O2）的原料气中加入相应量的另一种气体（通常为H2），使H2∶O2接近化学计量2∶1，用催化H2-O2反应的方法除去，可采用Pd类或Pt类的催化剂。但原料气中的H2和O2往往不能保持精确稳定的计量比，于是出口气中便有残H2或残O2，且往往交替波动出现。为净化H2，O2并存的惰性气体流，日本特许公报（昭53-33312）曾用一种氧化铜粉末和钯黑粉末混合的脱H2脱O2净化剂可在150-250℃使用。公报实例说明利用氧化铜粉末和钯黑粉末混合净化剂，惰性原料气含H2228ppm或含O223...
【技术保护点】
用于惰性气体脱氢脱氧净化的钯氧化铜净化剂，其特征在于以二氧化钛为担体，载以钯、氧化铜。其组分重量配比以ＴｉＯ↓［２］为１００，钯为０．３－３，氧化铜为５－２０。
【技术特征摘要】
1、用于惰性气体脱氢脱氧净化的钯氧化铜净化剂，其特征在于以二氧化钛为担体，载以钯、氧化铜。其组分重量配比以TiO2为100，钯为0.3-3，氧化铜为5-20。2、权项1中所述净化剂的制法，其特征是用如下步骤：（1）将TiO2粉末加入到计算量的硝酸铜水溶液中（0.1-1.0gCu（NO3）2·3H2O/ml），再用适量的水调成糊状，烘干成团块。（2）将（1）中的烘干团块粉碎后于N2或空气流中加热至170-250℃，恒温...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈怡萱，唐学渊，刘蕙菁，李文钏，张俊香，洪祖培，于丰云，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：21[中国|辽宁]
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