【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种面向纳米微加工嵌段共聚物模板自组装形态调控方法,其特征在于将嵌段共聚物溶解在二甲苯溶剂中配制成0.1~1wt%浓度的溶液,室温条件下浇铸在原子水平级平整的基片表面上,自然挥发成膜,将此浇铸膜与附着的基片放置于密闭容器内,密闭容器内垫有具有吸附溶剂蒸汽能力的材料,然后在室温下向密闭容器底部的具有吸附溶剂蒸汽能力的材料上滴加嵌段共聚物材料的良溶剂或选择性溶剂后迅速盖好盖子密封,有机溶剂的滴加量为足以使溶剂蒸汽压达到饱和,1小时~7天后取出即为面向纳米微加工嵌段共聚物模板。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。