一种新型蓝膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型蓝膜机，包括机箱、弹性支撑机构、贴膜盘、贴膜盘保护盖、切割机构、胶膜辊机构及硅胶辊轮机构，其特征在于：所述贴膜盘由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，该真空排气孔通过管路外接真空泵；不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。本新型蓝膜机，其贴膜盘采用不锈钢基盘及不锈钢吸盘，吸力大且均匀，易于加工，耐高温，耐腐蚀，使用寿命长，保证贴膜平整度，提高设备使用性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅晶片生产设备领域，特别是一种新型蓝膜机。
技术介绍
晶片表面的光洁度要求高，但受限于晶片的材质和晶片表面涂层较薄，晶片的表面易被划伤；而且，晶片加工中，需要将晶片划片，机械加工时容易产生硅片弹出，造成损坏影响电性能。因此，在加工处理完毕的晶片在流通过程中，晶片的表面需要覆盖一层起保护作用的蓝膜。一般是采用全人工方法对晶片表面进行贴蓝膜处理。效率低，且蓝膜贴合平整度欠佳。目前，也有采用手动的蓝膜机进行晶片贴蓝膜，其包括吸盘系统、切割系统、胶膜辊及硅胶辊轮等构成。现有的贴蓝膜机的吸盘系统大多采用弹性支撑垫片及上部的陶瓷吸盘构成。其陶瓷吸盘存在制造难度大、成本高、易碎的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种新型蓝膜机，采用不锈钢吸盘，具有吸附力均匀，保证贴膜平整度的优点。本技术解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：一种新型蓝膜机，包括机箱、弹性支撑机构、贴膜盘、贴膜盘保护盖、切割机构、胶膜辊机构及硅胶辊轮机构，在机箱内安装所述弹性支撑机构，在该弹性支撑机构上安装贴膜盘，在机箱上安装贴膜盘保护盖，在贴膜盘保护盖上安装切割机构，在机箱的一端安装胶膜辊机构，在机箱上安装在贴膜盘上表面水平移动的硅胶辊轮机构，其特征在于：所述贴膜盘由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，该真空排气孔通过管路外接真空泵；不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。而且，所述的不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段构成。而且，所述的吸孔的粗孔段直径为1.2mm，细孔段直径为0.4mm。而且，所述的不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个。而且，所述的不锈钢基盘的上表面刻制有多道平行排布的凹槽，该凹槽与所述不锈钢吸盘的背面之间形成真空气体通道。而且，所述的不锈钢基盘的四周制有安装孔。而且，所述的不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环。而且，所述的不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁。而且，所述的切割机构包括位于贴膜盘保护盖上靠近胶膜辊机构一侧的直线切刀，以及对应所述贴膜盘的圆形切刀。本技术的优点和有益效果为：1、本新型蓝膜机，其贴膜盘采用不锈钢基盘及不锈钢吸盘，吸力大且均匀，易于加工，耐高温，耐腐蚀，使用寿命长，保证贴膜平整度，提高设备使用性能。2、本新型蓝膜机，采用不锈钢钢基盘与不锈钢吸盘进行嵌装，不锈钢材质具有易于加工的优点，在不锈钢吸盘上采用激光打孔加工出吸孔，使其具有高密度，高精度，吸附效果可靠。3、本新型蓝膜机，不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个，直径大可适用于大面积的硅晶片加工检测，吸孔数量多，吸附力度均匀。4、本新型蓝膜机，不锈钢基盘内表面制有平行排布的凹槽，该凹槽与所述不锈钢吸盘的下表面之间形成真空气体通道，有利于气体的均匀排布，提高吸附力的均匀性。5、本新型蓝膜机，不锈钢基盘的四周制有安装孔，不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环，不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁，有利于不锈钢基盘与弹性支撑机构的金属垫片进行固定安装。附图说明图1为本技术的结构示意图(俯视)；图2为本技术的结构示意图(打开贴膜盘保护盖)；图3为本技术的贴膜盘的不锈钢基盘的结构示意图；图4为图3的后视图；图5为图3的A-A向视图；图6为本技术的不锈钢吸盘的主视图；图7为图6的B-B向视图；图8为图7的C部放大图。附图标注说明：1-机箱、2-贴膜盘保护盖、3-圆形切刀、4-直线切刀、5-胶膜导杆、6-胶膜辊安装箱、7-胶膜辊机构、8-胶膜保护盖、9-滑动座、10-硅胶辊轮机构、11-贴膜撑紧杆、12-不锈钢基盘、13-不锈钢吸盘、14-浅槽、15-凹槽、16-真空排气孔、17-定位销孔、18-安装孔、19-磁铁、20-吸孔、21-粗孔段、22-细孔段、23-密封环。具体实施方式下面通过具体实施例对本技术作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本技术的保护范围。一种新型蓝膜机，包括机箱1、弹性支撑机构、贴膜盘、贴膜盘保护盖2、切割机构、胶膜辊机构7及硅胶辊轮机构10，在机箱内安装弹性支撑机构，在该弹性支撑机构上安装贴膜盘，在机箱上安装贴膜盘保护盖，在贴膜盘保护盖上安装切割机构，在机箱的一端的胶膜辊安装箱6内安装胶膜辊机构，胶膜辊安装箱上安装有胶膜保护盖8。胶膜辊安装箱靠近贴膜盘的一侧安装有与胶膜辊机构平行的胶膜导杆5。在机箱上安装在贴膜盘上表面水平移动的硅胶辊轮机构，硅胶辊轮机构通过其两端的滑动座9安装于机箱两侧的滑轨上。在贴膜盘两侧的机箱平台上设置有贴膜撑紧杆11。其创新之处在于：其由不锈钢基盘12和不锈钢吸盘13构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔16，该真空排气孔通过管路外接真空泵；不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽14，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔20，不锈钢吸盘上制有定位销孔17。不锈钢吸盘嵌装于浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段21及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段22构成。吸孔的粗孔段直径为1.2mm，细孔段直径为0.4mm。不锈钢吸盘直径为150-160mm，吸孔数量为1390-1400个。不锈钢基盘的上表面刻制有多道平行排布的凹槽15，该凹槽与所述不锈钢吸盘的背面之间形成真空气体通道。不锈钢基盘的四周制有安装孔18。不锈钢基盘的下表面制有1-3道密封环23。不锈钢基盘的外周间隔嵌装有磁铁19。有利于与弹性支撑机构的金属垫片进行固定安装。采用不锈钢钢基盘与不锈钢吸盘进行嵌装，不锈钢材质具有易于加工的优点，在不锈钢吸盘上采用激光打孔加工出吸孔，使其具有高密度，高精度，吸附效果可靠。切割机构包括位于贴膜盘保护盖上靠近胶膜辊机构一侧的直线切刀4，以及对应贴膜盘的圆形切刀3。本新型蓝膜机的工作原理为：1.首先轻轻抬起贴膜盘保护盖，然后将贴膜盘放于操作平台(内部有吸附强力磁铁)上并且用定位销卡住。2.将晶圆/基板正面朝下放于贴膜盘上并且使其定位边与贴膜盘定位线重合，然后开启机台前面板上的真空阀将晶圆/基板吸住。3.双手均匀拉动贴装胶膜并使其平行覆盖于撑紧杆上，然后平行推动贴膜辊轮轻轻压过贴膜撑紧杆和晶圆/基板后返回到原始位置并放牢。4.合上贴膜盘保护盖，按下直线切刀手柄露出刀锋切断贴装胶膜后将直线切刀复位。5.按下圆形切刀手柄露出圆形切刀整齐的切掉多余的贴装胶膜后复位(注意不要过多的旋转圆形切刀，否则会有胶膜碎丝产生并贴附于胶膜框架上，从而影响后道晶圆操作工序的顺利进行)。6.再次轻轻抬起贴膜盘保护盖并使其背部紧靠主体限位柱，取下多余的胶膜，关掉真空开关后轻轻拿起贴膜完成的胶膜框架(含晶圆/基板)，完成晶圆片贴膜操作。尽管为说明目的公开了本技术的实施例和附图，但是本领域的技术人员可以理解：在不脱离本技术及所附权利要求的精神和范围内，各种替换、变化和修改都是可能的，因此，本技术的范围不局限于实施例和附图所公开的内容本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型蓝膜机，包括机箱、弹性支撑机构、贴膜盘、贴膜盘保护盖、切割机构、胶膜辊机构及硅胶辊轮机构，在机箱内安装所述弹性支撑机构，在该弹性支撑机构上安装贴膜盘，在机箱上安装贴膜盘保护盖，在贴膜盘保护盖上安装切割机构，在机箱的一端安装胶膜辊机构，在机箱上安装在贴膜盘上表面水平移动的硅胶辊轮机构，其特征在于：所述贴膜盘由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，该真空排气孔通过管路外接真空泵；不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。

【技术特征摘要】
1.一种新型蓝膜机，包括机箱、弹性支撑机构、贴膜盘、贴膜盘保护盖、切割机构、胶膜辊机构及硅胶辊轮机构，在机箱内安装所述弹性支撑机构，在该弹性支撑机构上安装贴膜盘，在机箱上安装贴膜盘保护盖，在贴膜盘保护盖上安装切割机构，在机箱的一端安装胶膜辊机构，在机箱上安装在贴膜盘上表面水平移动的硅胶辊轮机构，其特征在于：所述贴膜盘由不锈钢基盘和不锈钢吸盘构成，不锈钢基盘中心制有真空排气孔，该真空排气孔通过管路外接真空泵；不锈钢基盘的上表面制有嵌装不锈钢吸盘的浅槽，不锈钢吸盘上均匀制有吸孔，不锈钢吸盘嵌装于所述浅槽内并与不锈钢基盘采用圆周间隔布置的定位销固定安装。2.根据权利要求1所述的一种新型蓝膜机，其特征在于：所述的不锈钢吸盘上所制的吸孔为激光打孔，每个吸孔由靠近不锈钢吸盘正面的粗孔段及靠近不锈钢吸盘背面的细孔段构成。3.根据权利要求2所述的一种新型蓝膜机，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：周万群，程艳，周雪峰，
申请(专利权)人：旭丰天津电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12