激光加工机以及激光加工方法技术

在现有的激光加工机以及激光加工方法中，在将工件从加工台取下时，设置于加工台与工件之间的多孔质片可能剥离或偏离。本公开的激光加工机具备：具有多个第1贯通孔(4)和多个第2贯通孔(5)的加工台(1)、第1流路(6)、第2流路(7)、第1泵(8)、第2泵(9)、和激光照射单元(10)。多个第2贯通孔与多个第1贯通孔独立。第1流路与多个第1贯通孔连接。第2流路与第1流路独立，与多个第2贯通孔连接。第1泵与第1流路连接，具有吸气功能。第2泵与第2流路连接，具有排气功能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开是激光加工机以及激光加工方法，特别涉及经由多孔质片来使工件吸附于加工台的激光加工机以及激光加工方法。
技术介绍
使用图12来对现有的激光加工机以及激光加工方法进行说明。如图12所示，现有的激光加工机具有：二氧化碳激光振荡器101、外部光学系统102、加工台103、真空泵104、自动控制装置105、多孔质板106、基板107。现有的激光加工方法是从二氧化碳激光振荡器101输出的激光经由外部光学系统102而照射到基板107，进行基板107的加工。此时，加工台103以及外部光学系统102被自动控制装置105在X轴、Y轴以及Z轴的方向驱动，基板107被加工。基板107经由多孔质板106而被搭载于加工台103上。由于加工台103被真空泵104吸引，因此基板107经由多孔质板106而被吸附于加工台103。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4046913号公报
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-但是，在现有的激光加工机以及激光加工方法中，在将基板107从加工台103取下时，设置于加工台103与基板107之间的多孔质板106可能剥离或偏离。若多孔质板106剥离或偏离，则在将下一个基板107放置于多孔质板106上之前，需要将多孔质板106再次返回到适当的状态，作业效率降低。为了解决上述课题，本公开的激光加工机具备：具有多个第1贯通孔和多个第2贯通孔的加工台、第1流路、第2流路、第1泵、第2泵、和激光照射单元。多个第2贯通孔与多个第1贯通孔独立。第1流路与多个第1贯通孔连接。第2流路与第1流路独立，并与多个第2贯通孔连接。第1泵与第1流路连接，具有吸气功能。第2泵与第2流路连接，具有排气功能。激光照射单元被设置于加工台的上方，照射激光。此外，本公开的激光加工方法具有：第1设置工序、第2设置工序、激光加工工序、第1除去工序、和第2除去工序。在第1设置工序中，在具有多个第1贯通孔、和与多个第1贯通孔独立的多个第2贯通孔的加工台上，设置多孔质片。在第2设置工序中，在多孔质片上设置工件。在激光加工工序中，从多个第1贯通孔进行吸气，对工件进行激光加工。在第1除去工序中，将工件从多孔质片除去。在第1除去工序中，从多个第1贯通孔进行吸气，从多个第2贯通孔进行排气。本公开的激光加工机以及激光加工方法在将工件从加工台取下时，没有设置于加工台与工件之间的多孔质片剥离或偏离的情况。由此，在将下一个工件放置于多孔质片上之前不需要将多孔质片再次返回到适当的状态，作业效率提高。附图说明图1是实施方式所涉及的激光加工机的立体图。图2是实施方式所涉及的激光加工机的俯视图。图3A是对实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图3B是对实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图3C是对实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图4A是对实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图4B是对实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图5是对实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图6是实施方式的激光加工方法的流程图。图7是对实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图8A是对实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图8B是对实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图8C是对实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图9是实施方式的另一激光加工机的俯视图。图10A是实施方式的另一激光加工机的俯视图。图10B是实施方式的另一激光加工机的俯视图。图11A是实施方式的另一激光加工机的俯视图。图11B是实施方式的另一激光加工机的俯视图。图12是现有的激光加工机的构成图。具体实施方式以下，参照附图来对具体实施方式进行说明。(实施方式)首先，使用图1～图6，来对本实施方式的激光加工机以及激光加工方法进行说明。图1是本实施方式的激光加工机的立体图。图2是本实施方式的激光加工机的俯视图。图3A～图4B是对本实施方式的激光加工方法的工序进行说明的剖视图。图5是对本实施方式的激光加工方法的效果进行说明的图。图6是本实施方式的激光加工方法的流程图。如图1所示，本实施方式的激光加工机具有：加工台1、贯通孔4(第1贯通孔)、贯通孔5(第2贯通孔)、配管6(第1流路的一部分)、配管7(第2流路的一部分)、泵8(第1泵)、泵9(第2泵)、和激光头10(激光照射单元)。此外，在激光加工时，在加工台1上，多孔质片2以及工件3被依次设置。泵8至少具有吸气功能，也可以还具有排气功能。此外，泵9至少具有排气功能，也可以还具有吸气功能。激光头10通过fθ透镜来对入射的激光进行聚光，并照射到工件3。另外，所谓本实施方式中的“吸气”，是指从加工台1的外部经由贯通孔而向加工台1内部产生空气的流动。所谓本实施方式的“排气”，是指从产生加工台1的内部经由贯通孔而向加工台1外部的空气的流动。也就是说，泵8、9从加工台1排出空气是“吸气”，泵8、9向加工台1送入空气是“排气”。此外，如图2所示，在加工台1的内部，设置有气体流路11(第1流路的一部分)和气体流路12(第2流路的一部分)。气体流路11将贯通孔4与配管6连接，是管状。气体流路12将贯通孔5与配管7连接，是管状。此外，贯通孔4、5被设置为矩阵状，气体流路11、12在列方向(图2的上下方向、第1方向)延伸，与贯通孔的行方向(图2的左右方向、第2方向)交替连接。也就是说，由多个贯通孔4构成的列(第1列)与由多个贯通孔5构成的列(第2列)交替配置。具体而言，气体流路11、12是梳型，位于相对的位置以使得气体流路11、12被交替配置。接下来，使用图3A～图6来对本实施方式的激光加工方法进行说明。首先，如图3A以及图6的步骤1所示，通过真空吸盘13来使多孔质片2吸附的同时进行输送，在加工台1上设置多孔质片(第1设置工序)。另外，此时，优选使泵8(未图示)进行动作以使得从加工台1吸入空气，经由配管6以及气体流路11(合起来为第1流路)来从贯通孔4向加工台1吸入空气。由此，多孔质片2能够更加被吸附于加工台1，多孔质片2能够更加稳定地被设置于加工台1上。另外，不是必须进行基于泵8的从贯通孔4的空气的吸入，也可以仅以多孔质片2的重量设置于加工台1上。接下来，如图3B以及图6的步骤2所示，通过真空吸盘13来使工件3吸附的同时进行输送，在多孔质片2上设置工件3(第2设置工序)。另外，此时，优选使泵8(未图示)进行动作以使得从加工台1吸入空气，经由配管6以及气体流路11来从贯通孔4向加工台1吸入空气。由此，工件3经由多孔质片2而被吸附于加工台1，工件3能够更加稳定地设置于多孔质片2上。另外，不是必须进行基于泵8的从贯通孔4的空气的吸入，也可以仅以工件3的重量设置于多孔质片2上。接下来，如图3C以及图6的步骤3所示，从位于加工台1的上方的激光头10向工件3照射激光，对工件3进行加工(激光加工工序)。此时，使泵8(未图示)进行动作以使得从加工台1吸入空气，经由配管6以及气体流路11来从贯通孔4向加工台1吸入空气。由此，工件3经由多孔质片2而被吸附于加工台1，工件3更加稳定，因此能够正确地进行工件3的加工。此外，此时，优选使泵9(未图示)进行动作以使得从加工台1吸入空气，经由配管7以及气体流路12(合起来为第2流路)来从贯通孔5向加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工机，具有：加工台，其具有多个第1贯通孔、和与所述多个第1贯通孔独立的多个第2贯通孔；第1流路，其与所述多个第1贯通孔连接；第2流路，其与所述多个第2贯通孔连接，并与所述第1流路独立；第1泵，其与所述第1流路连接，具有吸气功能；第2泵，其与所述第2流路连接，具有排气功能；和激光照射单元，其被设置于所述加工台的上方，照射激光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.04.01 JP 2014-0751331.一种激光加工机，具有：加工台，其具有多个第1贯通孔、和与所述多个第1贯通孔独立的多个第2贯通孔；第1流路，其与所述多个第1贯通孔连接；第2流路，其与所述多个第2贯通孔连接，并与所述第1流路独立；第1泵，其与所述第1流路连接，具有吸气功能；第2泵，其与所述第2流路连接，具有排气功能；和激光照射单元，其被设置于所述加工台的上方，照射激光。2.根据权利要求1所述的激光加工机，其中，所述第2泵还具有吸气功能。3.根据权利要求1或者2所述的激光加工机，其中，所述第1泵还具有排气功能。4.根据权利要求1～3的任意一项所述的激光加工机，其中，所述第2泵在与所述第2流路相反的一侧，具有对通过的气体的流量进行调节的阀。5.根据权利要求1～4的任意一项所述的激光加工机，其中，所述多个第1贯通孔之中的任意一个与所述多个第2贯通孔之中的至少一个相邻。6.根据权利要求5所述的激光加工机，其中，所述多个第2贯通孔之中的任意一个与所述多个第1贯通孔之中的至少一个相邻。7.根据权利要求5或者6所述的激光加工机，其中，所述多个第1贯通孔被配置为构成在所述加工台在第1方向延伸的多个第1列，所述多个第2贯通孔被配置为构...

【专利技术属性】
技术研发人员：西原学，村越利一，佐佐木义典，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP