激光加工机以及激光加工方法技术

在现有的激光加工机以及激光加工方法中，在将工件从加工台取下时，设置于加工台与工件之间的多孔质片可能剥离或偏离。本公开的激光加工机具备：具有多个第1贯通孔(4)和多个第2贯通孔(5)的加工台(1)、第1流路(6)、第2流路(7)、第1泵(8)、第2泵(9)、和激光照射单元(10)。多个第2贯通孔与多个第1贯通孔独立。第1流路与多个第1贯通孔连接。第2流路与第1流路独立，与多个第2贯通孔连接。第1泵与第1流路连接，具有吸气功能。第2泵与第2流路连接，具有排气功能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开是激光加工机以及激光加工方法，特别涉及经由多孔质片来使工件吸附于加工台的激光加工机以及激光加工方法。
技术介绍
使用图12来对现有的激光加工机以及激光加工方法进行说明。如图12所示，现有的激光加工机具有：二氧化碳激光振荡器101、外部光学系统102、加工台103、真空泵104、自动控制装置105、多孔质板106、基板107。现有的激光加工方法是从二氧化碳激光振荡器101输出的激光经由外部光学系统102而照射到基板107，进行基板107的加工。此时，加工台103以及外部光学系统102被自动控制装置105在X轴、Y轴以及Z轴的方向驱动，基板107被加工。基板107经由多孔质板106而被搭载于加工台103上。由于加工台103被真空泵104吸引，因此基板107经由多孔质板106而被吸附于加工台103。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4046913号公报
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-但是，在现有的激光加工机以及激光加工方法中，在将基板107从加工台103取下时，设置于加工台103与基板107之间的多孔质板106可能剥离或偏离。若多孔质板106剥离或偏离，则在将下一个基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工机，具有：加工台，其具有多个第1贯通孔、和与所述多个第1贯通孔独立的多个第2贯通孔；第1流路，其与所述多个第1贯通孔连接；第2流路，其与所述多个第2贯通孔连接，并与所述第1流路独立；第1泵，其与所述第1流路连接，具有吸气功能；第2泵，其与所述第2流路连接，具有排气功能；和激光照射单元，其被设置于所述加工台的上方，照射激光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.04.01 JP 2014-0751331.一种激光加工机，具有：加工台，其具有多个第1贯通孔、和与所述多个第1贯通孔独立的多个第2贯通孔；第1流路，其与所述多个第1贯通孔连接；第2流路，其与所述多个第2贯通孔连接，并与所述第1流路独立；第1泵，其与所述第1流路连接，具有吸气功能；第2泵，其与所述第2流路连接，具有排气功能；和激光照射单元，其被设置于所述加工台的上方，照射激光。2.根据权利要求1所述的激光加工机，其中，所述第2泵还具有吸气功能。3.根据权利要求1或者2所述的激光加工机，其中，所述第1泵还具有排气功能。4.根据权利要求1～3的任意一项所述的激光加工机，其中，所述第2泵在与所述第2流路相反的一侧，具有对通过的气体的流量进行调节的阀。5.根据权利要求1～4的任意一项所述的激光加工机，其中，所述多个第1贯通孔之中的任意一个与所述多个第2贯通孔之中的至少一个相邻。6.根据权利要求5所述的激光加工机，其中，所述多个第2贯通孔之中的任意一个与所述多个第1贯通孔之中的至少一个相邻。7.根据权利要求5或者6所述的激光加工机，其中，所述多个第1贯通孔被配置为构成在所述加工台在第1方向延伸的多个第1列，所述多个第2贯通孔被配置为构...

【专利技术属性】
技术研发人员：西原学，村越利一，佐佐木义典，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP