用于有机材料的蒸发源制造技术

描述一种用于有机材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式涉及有机材料沉积、用于沉积材料(例如，有机材料)的系统、用于有机材料的源、以及用于有机材料的沉积设备。本专利技术的实施方式具体涉及用于有机材料的蒸发源(例如，用于蒸发装置和/或制造装置的制造系统，尤其其中包括有机材料的装置)、用于有机材料的蒸发源阵列(例如，蒸发设备和/或用于制造装置的制造系统，尤其其中包括有机材料的装置)、以及蒸发源阵列。
技术介绍
有机蒸发器是用于有机发光二极管(OLED)的生产的工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)在用于示出信息的电视屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等的制造中使用。OLED也能用于一般空间照明。由于OLED像素直接发光并且不需要背光源，OLED显示器可达成的颜色、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器的颜色、亮度和视角的范围。因此，OLED显示器的能耗大大低于传统LCD显示器的能耗。此外，OLED能够被制造至柔性基板上这一事实产生另外应用。例如，典型OLED显示器可以包含有机材料的层，这些有机材料的层位于两个电极之间，全都以形成具有可独立供能的像素的矩阵显示器面板的方式沉积在基板上。OLED一般放在两个玻璃面板之间，并且玻璃面板边缘密封以将OLED封装于玻璃面板中。在制造此类示出装置中遇到许多挑战。在一个实例里，大量劳动密集步骤是将OLED封装在两个玻璃面板之间以避免可能装置污染所必需的。在另一实例里，显示器屏幕、以及因此玻璃面板的不同尺寸可能需要对用于形成示出装置的工艺和工艺硬件的实质重构(reconfiguration)。一般来说，期望在大面积基板上制造OLED装置。带来各种挑战的大比例OLED显示器的制造中的一个步骤是基板的掩蔽(masking)，例如，用于实现图案化层沉积。另外，已知系统通常具有小的总材料利用率，例如，小于50％。OLED显示器或OLED照明应用包括若干有机材料堆叠(例如，在真空中蒸发)。有机材料通过阴影掩模以相继的方式沉积。为了高效率地制造OLED堆叠，需要以两种或更多种材料(例如，主体(host)和掺杂物)的共沉积或共蒸发，以便产生混合/掺杂的层。另外，必须要考虑到对极敏感的有机材料的蒸发存在要求。对于例如OLED显示器的生产，通过使有机材料穿过阴影掩模沉积以实现显示器像素化。为了避免经蒸发源的热负载诱发的掩模的热膨胀造成的像素对位不准(misalignment)，需要屏蔽和/或冷却有机源。因此，一直需要新颖且改进的用于形成装置(例如，OLED示出装置)的系统、设备和方法。
技术实现思路
鉴于上述内容，提供一种根据独立权利要求1的用于有机材料的蒸发源，并且提供一种蒸发源阵列。本专利技术的其他优点、特征和方面是由从属权利要求、说明书和附图呈现。根据一个实施方式，提供一种用于有机材料的蒸发源。蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中分配管道与蒸发坩锅流体连通，并且其中分配管道具有垂直于分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中横截面的出口侧的宽度是横截面的最大尺寸的30％或更小。根据另一实施方式，提供一种用于有机材料的蒸发源阵列。蒸发源阵列包括：第一蒸发源；以及至少第二蒸发源，其中第一蒸发源的一或多个出口和第二蒸发源的一或多个出口具有25mm或更小的距离。例如，每一个蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩埚被配置成蒸发有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中分配管道与蒸发坩锅流体连通，并且其中分配管道具有垂直于分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括：出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中横截面的出口侧的宽度是横截面的最大尺寸的30％或更小。附图简述因此，为了能够详细理解本专利技术的上述特征结构所用方式，上文所简要概述的本专利技术的更具体的描述可以参考各个实施方式进行。附图涉及本专利技术的实施方式，并且描述如下：图1示出根据本文中描述的实施方式的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积装置的示意性俯视图；图2A和图2B示出根据本文中描述的实施方式的蒸发源的多个部分的示意图；图2C示出根据本文中描述的实施方式的另一蒸发源的示意图；图3A至图3C示出分别根据本文中描述的实施方式的蒸发源或蒸发管的部分的示意横截面图；图4示出分别根据本文中描述的实施方式的蒸发源或蒸发管的部分的示意横截面图；图5A示出根据本文中描述的实施方式的蒸发管的部分的示意图；图5B和图5C示出根据本文中描述的实施方式的屏蔽件中的开口阵列的部分的示意图；图6示出根据本文中描述的实施方式的蒸发源的部分的示意图；图7A和图7B示出分别根据本文中描述的实施方式的蒸发源或蒸发管的部分的横截面图；图8A示出根据本文中描述的实施方式的另一蒸发源的示意图；图8B示出根据本文中描述的实施方式的又一蒸发源的示意图；图9A和图9B示出根据本文中描述的实施方式的用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积装置以及在真空腔室中的不同沉积位置的根据本文中描述的实施方式的用于有机材料蒸发的蒸发源；以及图10示出根据本文中描述的实施方式的具有群集系统部分、真空摇摆模块、传送腔室、另一传送腔室、另一真空摇摆模块和另一群集系统部分的制造系统。实施方式详述现将针对本专利技术的各种实施方式进行详细说明，本专利技术的一或多个实例示出于附图中。在以下对附图的描述中，使用相同元件符号指示相同元件。一般来说，只对各实施方式的不同之处进行描述。每个实例以解释本专利技术的方式来提供，而非意图来限制本专利技术。另外，作为一个实施方式的一部分而示出或叙述的特征，可用于或结合其他实施方式产生又一实施方式。预期的是，所述描述包括此类调整以及变化。图1示出处于真空腔室110中的某个位置处的蒸发源100。根据可与本文所述其他实施方式相结合的一些实施方式，蒸发源配置为平移运动并且围绕轴线旋转。蒸发源100具有一或多个蒸发坩锅104以及一或多个分配管道106。图1中示出两个蒸发坩锅以及两个分配管道。分配管道106通过支撑件102支撑。另外，根据一些实施方式，蒸发坩锅104亦可通过支撑件102支撑。两个基板121是提供于真空腔室110之中。通常，用于掩蔽基板上的层沉积的掩模132可提供于基板与蒸发源100之间。有机材料是从分配管道106蒸发。根据本文所述实施方式，在基本上竖直的位置以有机材料涂布基板。亦即图1所示包括蒸发源100的装置的俯视图。通常，分配管道是蒸气分配喷头，具体地是线性的蒸气分配喷头。因此，分配管道提供基本上竖直地延伸的线性源(line source)。根据可与本文所述其他实施方式相结合的实施方式，基本上竖直地被理解为特别是当表示基板方向时，允许与竖直方向的20°或小于20°的偏差，例如是10°或小于10°。这个偏差可能例如因为基板支撑件与竖直方向有一些偏差(这可产生更稳定的基板位置)造成。然而，在有机材料沉积的期间，基板方向视为基本上竖直的，这视为不同于水平基板方向。基板表面由此通过在对应于一个基板尺寸的方向延伸的线性源以及沿对应于另一基板尺寸的另一方向的平移运动进行涂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于有机材料的蒸发源，所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于有机材料的蒸发源，所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中所述蒸发坩锅被配置成蒸发所述有机材料；分配管道，所述分配管道具有沿所述分配管道的长度而提供的一或多个出口，其中所述分配管道与所述蒸发坩锅流体连通，并且其中所述分配管道具有垂直于所述分配管道的长度的横截面，所述横截面是非圆形的，并且包括出口侧，一或多个出口提供在所述出口侧处，其中所述横截面的所述出口侧的宽度是所述横截面的最大尺寸的30％或更小。2.如权利要求1所述的蒸发源，其中垂直于所述分配管道的长度的所述横截面具有对应于三角形一部分的主要部分，具体来说垂直于所述分配管道的长度的所述横截面是具有圆角和/或截角的三角形。3.如权利要求1至2中任一项所述的蒸发源，其进一步包括：第一加热装置，所述第一加热装置用于加热所述蒸发坩锅；以及第二加热装置，所述第二加热装置被配置成独立于所述第一加热装置来加热，并且配置用于加热所述分配管道。4.如权利要求3所述的蒸发源，其中所述第一加热装置是位于所述蒸发坩锅之外、并尤其与所述蒸发坩锅的坩锅壁接触的电加热器；和/或其中所述第二加热装置是位于所述分配管道之外、并尤其与所述分配管道的管道壁接触的电加热器。5.如权利要求1至4中任一项所述的蒸发源，其进一步包括：两个或更多个热屏蔽件，所述两个或更多个热屏蔽件环绕所述分配管道，并且彼此间隔开来。6.如权利要求5所述的蒸发源，其中所述两个或更多个热屏蔽件通过突起或点彼此间隔开来，所述突起或点提供在所述两个或更多个热屏蔽件中的至少一者处或上。7.如权利要求1-6中任一项所述的蒸发源，其中所述一或多个出口是沿蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·邦格特，J·M·迭戈兹坎波，U·舒斯勒，A·鲁普，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US