净化装置和净化方法制造方法及图纸

不使用致动器就能够避免喷嘴妨碍容器的定位。在喷嘴先于定位部件而与容器接触时，利用喷嘴的引导面引导容器，并且通过来自容器的载荷使喷嘴下降，使定位部件与容器接触，利用定位部件将容器定位，并从喷嘴朝容器注入净化气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对FOUP(Front Opening Unified Pod：正面开口标准箱)等容器进行净化的装置和净化方法。
技术介绍
在半导体工业中，朝收容晶片的FOUP等容器注入氮气或者洁净干燥空气等净化气体，对容器进行净化。在将容器载置于具备净化装置的装载口等的情况下，利用动态销等定位部件将容器相对于装载口定位。进而，使装载口的喷嘴与容器的气体导入孔紧贴，进行净化气体的注入或者排出。另外，容器并不限于收容晶片的FOUP，也可以是收容中间掩模的容器等。并且，并不限于装载口，也可以在临时保管用的暂存区、具备自动仓库功能的储料器等上设置净化装置。从容器的底面到气体导入孔为止的高度多种多样，有时需要根据容器的形状使喷嘴的上端比定位部件的上端高。并且，在从桥式吊车、堆装起重机等将容器载置于装载口等的情况下，在位置精度方面存在极限。因此存在喷嘴勾挂于容器的底部、难以利用定位部件进行定位的情况。为了避免喷嘴妨碍容器的定位，专利文献1(JP2011-187539)提出了如下的方案：利用致动器使喷嘴升降自如，在容器的定位时使喷嘴下降，在定位后使喷嘴上升而与容器的气体导入孔配合。致动器例如为气压缸、马达、借助净化气体的压力伸缩的波纹管等。现有技术文献专利文献专利文献1:JP2011-187539
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如利用致动器使喷嘴升降，则净化装置的构造变得复杂，并且电气控制也会成为问题，并且还需要进行致动器的调整、维护等。本专利技术的课题在于不使用致动器却避免喷嘴妨碍容器的定位。用于解决课题的手段本专利技术是利用净化气体对收容物品且在底部具备气体导入孔的容器进行净化的净化装置，其特征在于，具备：容器的载置部；从载置部朝上方突出并与容器的气体导入孔接触而注入净化气体的喷嘴；以及容器的定位部件，上述喷嘴在前端部的侧面具备引导容器的引导面，且构成为通过来自容器的载荷而使喷嘴的上表面下降。本专利技术还是利用净化气体对收容物品且在底部具备气体导入孔的容器进行净化的净化方法，其特征在于，使用净化装置进行以下的步骤，该净化装置具备容器的载置部、从载置部朝上方突出的喷嘴、以及容器的定位部件，上述喷嘴在前端部的侧面具备引导容器的引导面，且构成为通过来自容器的载荷而使喷嘴的上表面下降，所述步骤为：在喷嘴先于定位部件而与容器接触时，利用喷嘴的引导面引导容器，并且通过来自容器的载荷使喷嘴的上表面下降，从而使定位部件与容器接触的步骤；利用定位部件将容器定位的步骤；以及从喷嘴朝容器注入净化气体的步骤。在本专利技术中，·在因喷嘴先于定位部件而与容器接触从而妨碍定位的情况下，·通过利用喷嘴的引导面引导容器，以及·喷嘴借助来自容器的载荷而使喷嘴的上表面下降，能够利用定位部件将容器定位。因此，不会出现容器被喷嘴勾挂而无法定位的情况。并且，由于不使用致动器，因此构造简单、且不需要电气控制，维护、调整等也容易。在本说明书中，与净化装置相关的记载也直接适用于净化方法。优选形成为，上述定位部件由固定于载置部、从载置部朝上方突出、并与容器的底部的凹部嵌合的定位销构成，且喷嘴比定位销高。若以这种方式形成，则在喷嘴先于定位销而与容器的底部接触的情况下，容器由喷嘴的引导面引导，与此同时喷嘴的上表面下降，进行利用定位销执行的定位。优选形成为，喷嘴在上端具备平坦面，且喷嘴构成为借助从容器的气体导入孔施加于上述喷嘴的偏载荷而使平坦面倾斜。平坦面与容器的气体导入孔接触，以防止净化气体的泄漏的方式发挥作用。此处，在气体导入孔的表面与喷嘴上端的平坦面不平行的情况下，喷嘴的平坦面局部地与气体导入孔接触，从气体导入孔对喷嘴施加有偏载荷。借助该偏载荷，喷嘴上端的平坦面倾斜，与气体导入孔无间隙地均匀地接触，因此能够防止净化气体的泄漏。优选形成为，上述喷嘴在下方具备基座和对基座朝上方施力的弹性体，且喷嘴构成为：当施加有载荷时，则弹性体变形而喷嘴下降，且当施加有偏载荷时，则通过弹性体的变形而使喷嘴上端的平坦面倾斜。若以这种方式形成，则当从容器对喷嘴施加有载荷时，则弹性体被压缩而喷嘴下降，当在喷嘴上端的平坦面施加有偏载荷时，则弹性体被不均匀地压缩而平坦面倾斜，喷嘴上端的平坦面与容器的气体导入孔配合。上述喷嘴还具备：中空轴，连接基座与设置有引导面的上述前端部；以及环状的弹性垫片，沿着半径方向的截面呈L字状，上述载置部具备供上述中空轴通过、且直径比中空轴大的贯通孔，中空轴的直径比上述前端部小，上述前端部的底面呈凸缘状地露出而包围中空轴，上述弹性体配置在上述前端部的底面与上述载置部之间，对上述前端部朝上方施力，上述弹性垫片的L字的一边配置于上述贯通孔，L字的另一边配置在上述基座与载置部的底面之间。若以这种方式形成，则能够以简单且小型的构造使喷嘴下降和倾斜。优选形成为，上述喷嘴在上端具备具有弹性的环状的垫圈。垫圈由来自容器的载荷压缩，从而使喷嘴的上表面下降。并且以与容器的气体导入孔配合的方式变形，防止净化气体的泄漏。附图说明图1是实施例的装载口的俯视图。图2是实施例的装载口的主要部分主视图。图3是示出喷嘴的安装状态的、装载口的主要部分主视图。图4是示出喷嘴及其周围的、装载口的主要部分俯视图。图5是示出变形例的喷嘴的、装载口的带局部剖切部的主要部分主视图。图6是示出第2变形例的喷嘴的、装载口的带局部剖切部的主要部分主视图。具体实施方式以下示出用于实施本专利技术的最佳实施例。本专利技术的范围应当基于技术方案的记载，参照说明书的记载和本领域的公知常识，根据本领域技术人员的理解来确定。实施例图1～图6示出实施例及其变形。图1～图4示出实施例，2为装载口，具备实施例的净化装置。另外，也可以将净化装置设置于容器的临时保管用的暂存区、具备自动仓库功能的储料器等。在装载口2设置有水平基准面4(容器的载置部)，支承FOUP 20的底面26。另外，容器并不限于FOUP，只要是具备净化用的气体导入孔、且由净化装置侧的定位部件定位的容器即可。装载口2具备移载装置6，打开FOUP 20的盖，将所收容的半导体晶片1片1片地放入取出，并在与未图示的处理装置等之间进行移载。在装载口2的水平基准面4上设置有净化气体的注入用的喷嘴8和排出用的喷嘴9，也可以不设置排出用的喷嘴9。并且，喷嘴8、9除了气体流动的方向相反这点以外形成为相同的构造，以下以喷嘴8为中心进行说明，但对于喷嘴9也相同。从配管10朝喷嘴8供给净化气体，喷嘴9与未图示的排气管等连接。在水平基准面4上例如设置有3个动态连接销12(以下称为销12)，与容器的连接槽24连接。另外，定位部件的种类是任意的，要点在于，喷嘴8、9的上端位于比与定位部件将容器定位的部位、在实施例中为销12的上端高的位置。14为就座传感器，检测FOUP 20被载置于水平基准面4(以下称为基准面4)上这一情况，例如用于打开/关闭朝配管10供给的净化气体。图2示出载置于基准面4上的FOUP 20。FOUP 20的顶部凸缘21由未图示的桥式吊车的升降台22装夹，升降台22利用带23等悬吊件而由桥式吊车支承。由于桥式吊车的停止精度、建筑物的振动、带23的摆动等，FOUP 20的位置产生偏差。为了消除该偏差，使销12与设置于FOUP 20的底面26的连接槽24连接。但是，由于喷嘴8、9的上端比销12的上端高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种净化装置，利用净化气体对收容物品且在底部具备气体导入孔的容器进行净化，其特征在于，具备：容器的载置部；从载置部朝上方突出并与容器的气体导入孔接触而注入净化气体的喷嘴；以及容器的定位部件，所述喷嘴在前端部的侧面具备引导容器的引导面，且构成为通过来自容器的载荷而使喷嘴的上表面下降。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.17 JP 2014-0529971.一种净化装置，利用净化气体对收容物品且在底部具备气体导入孔的容器进行净化，其特征在于，具备：容器的载置部；从载置部朝上方突出并与容器的气体导入孔接触而注入净化气体的喷嘴；以及容器的定位部件，所述喷嘴在前端部的侧面具备引导容器的引导面，且构成为通过来自容器的载荷而使喷嘴的上表面下降。2.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，所述定位部件由固定于载置部、从载置部朝上方突出、且与容器底部的凹部嵌合的定位销构成，且喷嘴比定位销高。3.根据权利要求1或2所述的净化装置，其特征在于，所述喷嘴在上端具备平坦面，且喷嘴构成为通过从容器的气体导入孔施加于所述喷嘴的偏载荷而使所述平坦面倾斜。4.根据权利要求3所述的净化装置，其特征在于，所述喷嘴在下方具备基座和对基座朝上方施力的弹性体，喷嘴构成为：当施加有载荷时，则弹性体变形而喷嘴下降，且当施加有偏载荷时，则通过弹性体的变形而使喷嘴上端的平坦面倾斜。5.根据权利要求4所述的净化装置，其特征在于，所述喷嘴还具备：中空...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田正直，山路孝，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP