基板处理系统技术方案

本发明专利技术提供一种基板处理系统，其能够在系统内部将多个仿真基板在时间上并行地模拟搬送，并且也能够进行不向处理室内搬送仿真基板的模拟搬送。条件表(122)作为维护宏设定部发挥作用，其从保存于存储装置(105)的各种维护宏(135)选定要执行的维护宏并设定它们的执行条件。由条件表(122)设定的维护宏(135)通过方案执行部(121)的控制信号与系统方案(130)一起被控制。方案执行部(121)使系统方案(130)和由条件表(122)设定的维护宏(135)协同工作，在基板处理系统(100)内执行模拟动作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对半导体晶片等的基板进行规定的处理的基板处理系统。
技术介绍
在半导体装置的制造过程中，对半导体晶片等的基板反复进行例如成膜、蚀刻等的各种处理。在进行这些处理的半导体制造装置中，使用具备多个处理室的基板处理系统。这样的基板处理系统还包括：进行从外部搬入基板或搬出基板的搬入搬出部；为了进行包括多个处理室间的系统内的基板的搬送和与外部的基板的交接的一个至多个搬送装置。但是，在基板处理系统中，每当反复进行处理时，反应生成物附着堆积在进行成膜等的处理的处理室的内壁和部件。这样的附着物在进行剥离时成为颗粒而附着在基板，成为使产品的品质降低的原因。另外，基板处理系统为了进行基板的搬送和交接，具备多个可动部件，由于这些可动部件的动作，有时也产生颗粒。如上所述，在基板处理系统中，因各种原因而产生颗粒。现有的基板处理系统，将不进行实际的处理的仿真基板带入处理室内，以与实际的处理同样的步骤、路径在系统内进行模拟地搬送，由此能够确定颗粒产生的原因。例如准备多个仿真基板，将仿真基板逐一从负载端口向多个处理室搬送后，再次返回到负载端口，来检测附着在各仿真基板的颗粒数，由此能够确认哪个处理室是颗粒产生源。用这样的方法确认颗粒源，能够利用被称为系统方案的程序执行，该系统方案用于对基板进行实际的处理。但是，利用系统方案的模拟搬送是必需向处理室内搬送仿真基板的按顺序进行的动作，因此，当在任一个处理室内有颗粒产生源时，能够确定该事实，但是，例如难以确定从负载端口至各处理室的搬送路径上的颗粒产生源。另一方面，在基板处理系统中，除了上述系统方案之外，还提出了预先录入在系统内进行的各种单动作，通过将所录入的多个单动作组合，能够作为按顺序进行的动作或者并行动作执行(例如专利文献1)。这种功能被称为维护宏。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-43290号公报(图3等)
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题专利文献1的维护宏功能是能够将在基板处理系统内进行的多个单动作单独或者任意组合来执行的自由度高的功能，也能够自由设定模拟搬送的内容，对于颗粒产生源的确定是有效的。但是，在维护宏功能中，在基板处理系统内，在同一时间仅能进行一个仿真基板的模拟搬送。因此，利用维护宏功能，以确定颗粒产生源为目的，当执行多种模拟搬送时，至结束为止需要数十小时，存在基板处理系统的停机时间较长的问题。另外，维护宏功能并不是以对成为产品的基板进行处理为目的而安装的功能，因此，与利用上述系统方案的模拟搬送不同，也存在不留下模拟搬送的历史记录的不良状况。所以，本专利技术的目的在于提供一种基板处理系统，其能够在系统内部将多个仿真基板在时间上并行地模拟搬送，且能够进行不向处理室内搬送仿真基板的模拟搬送。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的基板处理系统，其特征在于，包括：具有载置基板的载置台的、并且具有对上述基板进行规定的处理的一个以上处理室的处理部；搬入搬出部，在该搬入搬出部与外部的搬送机构之间进行收纳有多个上述基板的基板容器的搬入搬出；在上述搬入搬出部与上述处理室之间搬送基板的一个以上的搬送装置；和控制上述各构成部的控制部。在该基板处理系统中，上述控制部进行控制，使得对多个仿真基板在时间上并行地执行不伴随上述处理室中的上述规定的处理的模
拟动作，上述模拟动作是上述仿真基板的模拟搬送动作，包括不进行从上述搬入搬出部至上述处理室内的搬送的动作。本专利技术的基板处理系统还包括设置于上述处理部与上述搬入搬出部之间的基板交接部，上述搬送装置包括：在上述搬入搬出部内和在上述搬入搬出部与上述基板交接部之间进行上述基板的搬送的第一搬送装置；和在上述基板交接部与上述处理室之间进行上述基板的搬送的第二搬送装置，上述模拟动作包括：从上述搬入搬出部经由上述第一搬送装置和上述基板交接部至上述第二搬送装置的上述仿真基板的模拟搬送动作；和从上述第二搬送装置经由上述基板交接部和上述第一搬送装置至上述搬入搬出部的上述仿真基板的模拟搬送动作。本专利技术的基板处理系统中，上述模拟动作包括：从上述搬入搬出部经由上述第一搬送装置、上述基板交接部和上述第二搬送装置至上述处理室内的上述仿真基板的模拟搬送动作；和从上述处理室内经由上述第二搬送装置、上述基板交接部和上述第一搬送装置至上述搬入搬出部的上述仿真基板的模拟搬送动作。本专利技术的基板处理系统中，上述模拟动作可以包括在上述搬入搬出部内的上述基板的模拟搬送动作。在本专利技术的基板处理系统中，上述模拟搬送动作反复执行按顺序进行的动作的全部或者一部分。在本专利技术的基板处理系统中，上述载置台包括用于在该载置台与上述搬送装置之间进行上述基板的交接的多个升降销，上述模拟动作包括在不进行上述基板的交接的状态下的上述升降销的模拟升降动作。在本专利技术的基板处理系统中，上述处理室可以包括：用于搬入搬出上述基板的开口部；和用于封闭该开口部将该处理室内维持为真空的闸阀装置，上述模拟动作包括不伴随上述基板通过上述开口部的状态的上述闸阀装置的模拟开闭动作。在本专利技术的基板处理系统中，上述控制部可以包括：上述控制部包括：存储部，其保存有用于在上述处理室中进行上述规定的处理的系统方案和用于将预先录入的多个单动作组合来执行的维护宏；读取上述系统方案并执行该系统方案的方案执行部；设定维护宏的维护宏
设定部，上述维护宏与上述系统方案均被上述方案执行部控制；和记录上述模拟动作的历史记录的历史记录记录部，上述控制部进行控制来执行以下步骤：上述方案执行部读取上述系统方案的步骤；由上述维护宏设定部设定维护宏的步骤；和上述方案执行部使上述系统方案与由上述维护宏设定部所设定的上述维护宏协同工作，执行上述模拟动作的步骤。本专利技术的基板处理系统可以以颗粒检测为目的进行上述模拟动作。专利技术效果根据本专利技术的基板处理系统，能够在系统内部将多个仿真基板在时间上并行地模拟搬送，并且能够实现不进行向处理室内搬送仿真基板的模拟搬送。所以，本专利技术的基板处理系统例如在以确定颗粒产生源为目的进行仿真基板的模拟动作的情况下，容易确定产生源，且能够大幅缩短直至模拟动作结束为止的时间。附图说明图1是表示基板处理系统的概略构成图。图2是控制部的硬件构成的一个例子的说明图。图3是表示控制部的功能构成的功能块图。图4是表示控制部在基板处理系统的各构成部中用于执行模拟动作的步骤的流程图。图5是使用仿真基板的模拟搬送动作中的搬送路径的典型例的说明图。图6是表示基板处理系统中的颗粒产生源的检测方法的工序例的流程图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。[基板处理系统的概要]参照图1对本专利技术的实施方式涉及的基板处理系统的概要进行说明。图1是表示以对例如作为基板的半导体晶片(以下简称为“晶片”)
W进行例如成膜处理、蚀刻处理等的各种处理的方式构成的基板处理系统100的概略构成图。该基板处理系统100构成为多腔室构造的组合工具(Cluster tool)。基板处理系统100作为主要的构成包括：对晶片W进行各种处理的4个处理室1A、1B、1C、1D；与这些处理室1A～1D分别经由闸阀GV1、GV1、GV1、GV1连接的真空侧的搬送室3；与该真空侧的搬送室3经由闸阀GV2、G2、GV2连接的3个负载锁定室5A、5B、5C；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理系统，其特征在于，包括：具有载置基板的载置台的、并且具有对所述基板进行规定的处理的一个以上处理室的处理部；搬入搬出部，在该搬入搬出部与外部的搬送机构之间进行收纳有多个所述基板的基板容器的搬入搬出；在所述搬入搬出部与所述处理室之间搬送基板的一个以上的搬送装置；和控制所述处理部、所述搬入搬出部和所述搬送装置的控制部，所述控制部进行控制，使得对多个仿真基板在时间上并行地执行不伴随所述处理室中的所述规定的处理的模拟动作，所述模拟动作是所述仿真基板的模拟搬送动作，包括不进行从所述搬入搬出部至所述处理室内的搬送的动作。

【技术特征摘要】
2015.04.20 JP 2015-0858441.一种基板处理系统，其特征在于，包括：具有载置基板的载置台的、并且具有对所述基板进行规定的处理的一个以上处理室的处理部；搬入搬出部，在该搬入搬出部与外部的搬送机构之间进行收纳有多个所述基板的基板容器的搬入搬出；在所述搬入搬出部与所述处理室之间搬送基板的一个以上的搬送装置；和控制所述处理部、所述搬入搬出部和所述搬送装置的控制部，所述控制部进行控制，使得对多个仿真基板在时间上并行地执行不伴随所述处理室中的所述规定的处理的模拟动作，所述模拟动作是所述仿真基板的模拟搬送动作，包括不进行从所述搬入搬出部至所述处理室内的搬送的动作。2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于：还包括设置于所述处理部与所述搬入搬出部之间的基板交接部，所述搬送装置包括：在所述搬入搬出部内和在所述搬入搬出部与所述基板交接部之间进行所述基板的搬送的第一搬送装置；和在所述基板交接部与所述处理室之间进行所述基板的搬送的第二搬送装置，所述模拟动作包括：从所述搬入搬出部经由所述第一搬送装置和所述基板交接部至所述第二搬送装置的所述仿真基板的模拟搬送动作；和从所述第二搬送装置经由所述基板交接部和所述第一搬送装置至所述搬入搬出部的所述仿真基板的模拟搬送动作。3.如权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于：所述模拟动作包括：从所述搬入搬出部经由所述第一搬送装置、所述基板交接部和所述第二搬送装置至所述处理室内的所述仿真基板的模拟搬送动作；和从所述处理室内经由所述第二搬送装置、所述基板交接部和所述第一搬送装置至所述搬入搬...

【专利技术属性】
技术研发人员：五味晓志，森泽大辅，长田圭司，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP