阀杆制造技术

用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）并且带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其中，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及用于真空阀的阀杆，其带有用于真空阀的闭锁器件的第一连接区域和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域。此外，本专利技术也涉及真空阀。例如从DE 10 2008 049 353 A1中已知这种类型的阀杆。一方面，在这样的阀杆处连接有所述闭锁器件。另一方面，阀杆与（无论如何所述类型（geartet）的）阀驱动装置处于连接中，该阀驱动装置用于：将闭锁器件在至少一个打开位置和至少一个闭合部位之间一般地往复地调节。所述阀杆由此用于将闭锁器件与阀驱动装置相连。在大多情况下，在真空阀中，闭锁器件位于真空区域中，而阀驱动装置常常布置在一般处于正常压力下的其它的区域中。为了彼此相对地密封此两个区域，在现有技术中常常采用波纹管或其它的用于阀杆的导通部。在真空阀的改进设计的过程中，存在基本的必要性是，适应越来越小的结构空间。本专利技术的任务在于，如此程度地改善用于真空阀的阀杆，使得该阀杆需要尽可能少的结构空间。为了解决该问题，本专利技术设置的是，阀杆至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料。由此设置的是，考虑用于构造所述阀杆的带有如此高的刚度和硬度的材料，正如到目前为止在真空阀区域中未被考虑的材料那样。在此要考虑的是，真空技术被采用作为用于制造高敏感的、首先电子的和光学的构件的纯净室技术。在这些工作范围中，常常重要的是，要避免过程腔和过程大气的即便最小的脏污。出于这些原因，到目前为止对真空阀始终采用由特种钢等制成的阀杆。新建议的带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料比到目前为止为阀杆所采用的材料明显更硬以及还有更脆。对于本领域技术人员意外的是，相应的材料能够在纯净室条件下进行应用，正如该纯净室条件对于用于真空阀的阀杆而言是必要的那样。但是，通过这些很刚性的材料可行的是，将阀杆比到目前为止的明显更细长地构造，从而总体上能够节省在构造真空阀时的结构空间，而在此不降低在借助闭锁器件进行的阀口的闭锁时的抗压强度。优选地，带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料指的是陶瓷或硬金属。作为用于技术方面合适的陶瓷的示例，能够提到氧化铝（Al2O3）、碳化硅（SiC）、氮化硅（Si3N4）和氧化锆（ZrO2）。这些陶瓷能够借助烧结、反应化合、热压和/或热等静压等进行处理并且成形到相应所需的固体中。相应于合适的陶瓷的弹性模量常常位于250千兆帕斯卡至500千兆帕斯卡的范围中。优选地，它指的是所谓的高性能陶瓷，其在DIN V ENV 12212中也定义为高度开发的、高性能的陶瓷材料，该陶瓷材料大多数非金属且无机并且拥有特定的针对性的特性。就此而论，要指出的是，合适的陶瓷在这种意义中也能够具有金属的成分、尤其是碳化物。作为对陶瓷的替代方案，也能够例如使用硬金属。优选地，这样的硬金属具有碳化物。尤其优选地，合适的硬金属具有至少50体积百分比的碳化物成分。作为另外的组成部分，这些硬金属能够具有带有较软的金属例如铁基的材料尤其钢的接合剂。所述硬金属粉末冶金地利用金属的接合剂来制造。典型的弹性模量位于超过400千兆帕斯卡。尤其优选的硬金属具有优选地带有多于50%的体积份额的碳化钨（WC）和/或碳化钛（TiC）和/或碳化钽（TaC）和/或碳化铌（NbC）。所述硬金属的特征在于其大的硬度和其金属的特性。带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料优选地构造为自身相联结的纵向伸展的固体。尤其优选地，该材料构造为管或杆。在此，管是纵向伸展的固体，该固体带有在其内部走向经过所述纵向伸展的中空室，该中空室一般直向着端侧打开。管的围壁包括这种中空室，除此以外以更有利的方式在周部闭合。所述杆指的是不带有内部的中空室的相联结的纵向伸展的固体。所述杆因而一般地连续地坚固地构造。但是，与术语“阀杆”相关联地指出的是，在这里动用常见的术语。作为备选方案，阀杆也能够指的是闭锁器件载体。要指出的是，阀杆一般很不同地造形并且例如也能够构造为管。但是，为简化起见，在这里使用常见的概念“阀杆”，其应包括所有的这些。在任何情况下，以更有利的方式，所述阀杆指的是优选笔直的、纵向伸展的固体，该固体的长度在大多情况下显著大于其直径。所述阀驱动装置能够以不同的方式和方法（正如在现有技术中公知的那样）来构造。优选地，它指的是这样的阀驱动装置，该阀驱动装置将闭锁器件在其最大的经打开的部位和其闭合部位之间（在该闭合部位中，所述闭锁器件向着阀座挤压）沿着至少两个彼此不平行的反而彼此倾斜的、尤其正交的方向运动。这样的阀驱动装置也在术语“L驱动装置”下已知。当然，却也能够将其它的在现有技术中本身公知的阀驱动装置与根据本专利技术的阀杆组合。闭锁器件优选指的是阀盘，也即指的是一种类型的板状的闭锁器件。阀盘的宽度或纵向伸展优选地显著大于阀杆的直径。但是，作为备选方案，所述闭锁器件也能够例如是闭锁针等，例如当该闭锁针装在配量阀中时。为完整起见，要指出的是，带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料能够是单矿物以及材料组合或材料混合。但是，为简单起见，还始终指的是一材料，即使该材料能够是材料混合。根据本专利技术的阀杆能够以多件方式进行构造。这意味着，该阀杆不必仅由带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料形成。仍然要指出的是，意外地在真空区域中也可能的是，采用这样的阀杆，该阀杆以区段的方式唯独由所提到的材料形成。作为对此的备选方案，能够（尤其在尽可能绝对避免过程腔或过程气体的污染或到过程腔或过程气体中的气体析出的意义中）给带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料进行包覆。这种包覆部优选地至少构造在这样的区域中，在该区域中，阀杆能够位于真空区域中。在包覆部的第一构造方式中能够设置的是，自身相联结的纵向伸展的固体布置在阀杆的外管的长形地伸展的内部中空室中，其中，所述阀杆的外管由不同于所述自身相联结的纵向伸展的固体的材料形成。在这里，带有相应高的弹性模量的形成所述相联结的纵向伸展的固体的材料因而作为一种类型的内核布置在所述外管的内部中空室中。以更有利的方式，包围所述阀杆的气体由此唯独与外管处于连接中。所述外管能够由钢制成并且在尽可能好的腐蚀防护的意义中尤其由特种钢形成。以更有利的方式，阀杆的外管的内部中空室至少沿着径向、也即沿着正交于阀杆的纵向伸展的方向完全地利用带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料或者利用由其形成的自身相联结的纵向伸展的固体进行填充。在中空室的整个纵向伸展上，这能够是如此的，但是不必是如此的。作为备选方案，在所提到的材料的包覆部的意义中也能够设置的是，自身相联结的纵向伸展的固体在其外表面处至少以局部的方式具有涂层。所述涂层能够例如由镍和/或铬制成，当然也能够由带有镍和/或铬的合金形成，仅仅是为了列举不同的可行方案中的一些。它能够指的是PVD（物理气相沉积）涂层或DLC（类金刚石）涂层。为了易化将闭锁器件紧固在阀杆处，优选的构造方式设置的是，用于真空阀的闭锁器件的第一连接区域具有由特种钢或其它的钢形成的外套或完全地由特种钢或其它的钢进行构造。在阀杆的本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其特征在于，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.18 AT A199/20141.用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其特征在于，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。2.按照权利要求1所述的阀杆（12），其特征在于，带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）是陶瓷或硬金属。3.按照权利要求1或2所述的阀杆（12），其特征在于，所述带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料构造了自身相联结的纵向伸展的固体，优选是管（43）或杆（44）。4.按照权利要求3所述的阀杆（12），其特征在于，自身相联结的纵向伸展的固体布置在阀杆（12）的外管（47）的长形地伸展的内部中空室（45）中，其中，所述阀杆（12）的外管（47）由不同于所述自身相联结的纵向伸展的固体的材料形成。5.按照权利要求4所述的阀杆（12），其特征在于，所述外管（47）由钢制成，尤其由特种钢制成。6.按照权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：F埃尔内，C巴奇曼恩，M内特泽，M沃扎塞克，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH