修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器制造方法及图纸

提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。具有：确定部，确定外加负载增加时的极限负载FX；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载FX、生成使极限负载FX变化了时的迟滞的最大值的第一函数fPEAK(FX)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载FMAX时的迟滞的第二函数fHYS(FN/FX×FMAX)来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值；修正部，使用该修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对具有迟滞特性的静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置、修正方法以及程序，该迟滞特性是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的误差进行变化的特性。
技术介绍
负载传感器在使负载增加(渐增)的过程和使负载减少(渐减)的过程中，即使加载相同的负载，输出值也产生差。该差根据负荷传感器被加载的负载的履历而不同，所以称为迟滞误差。提出一种如下方案：为了修正该迟滞误差，不是维持原样地使用原来的渐增以及渐减迟滞特性，折返点的负载与下限负载值或者上限负载值之间的差基于相对于下限负载值与上限负载值之间的差所占有的比率，对原来的渐增以及渐减迟滞特性的渐增或者渐减误差极大值以及渐增或者渐减误差极大负载值进行修整，对渐增或者渐减迟滞修正特性进行估计(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006－30126号公报然而，在专利文献1所公开的专利技术中，存在如下问题：相对于最大负载折返点的误差，使用实际施加的负载的折返点，通过比例计算来计算出误差值，因此，负载的变化和迟滞误差的值线性地变化，也就是说，只能应用于进行比例且变化的负载传感器。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述的问题，其目的在于提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。本专利技术中的修正装置是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正装置具有：确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。根据上述构成，能够提供一种修正装置，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。优选地，本专利技术的修正装置的修正部在将上述外加负载设为FN，将上述极限负载设为FX，将上述静电电容式压力传感器的额定负载设为FMAX，将上述第一函数设为fPEAK(FX)，将上述第二函数设为fHYS(FN/FX×FMAX)的情况下，上述修正部从上述负载减少时的静电电容减去由上述修正值生成部生成的修正值fPEAK(FX)×fHYS(FN/FX×FMAX)，由此修正上述负载减少时的静电电容。根据上述构成，仅从负载减少时的静电电容减去由修正值生成部生成的修正值，就能够修正负载减少时的静电电容。优选地，本专利技术的修正值生成部对于负载增加时实际读取的静电电容，不生成修正值。根据上述构成，不需要负载增加时的修正，因此，能够减少运算处理的负荷。优选地，本专利技术的上述第二函数fHYS(FN/FX×FMAX)是([An×(FMAX/FX×FN)n+A(n-1)×(FMAX/FX×FN)(n-1)···+A1×(FMAX/FX×FN)+A0])，其中，A0～An为常数。优选地，本专利技术的上述第一函数以及上述第二函数基于模拟结果或者实测值被规定。本专利技术中的修正方法是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的方法，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正方法具有：确定部确定上述外加负载增加时的极限负载的工序；修正值生成部基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的工序，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的工序。根据上述构成，能够提供修正方法，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。本专利技术中的程序是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的程序，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，该程序使计算机执行以下的步骤：确定上述外加负载增加时的极限负载的步骤；基于被确定的上述极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值的步骤，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容的步骤。根据上述构成，提供一种程序，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。本专利技术的静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述静电电容式压力传感器具有：确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。根据该构成，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正来高精度地检测外加负载。优选地，本专利技术的静电电容式压力传感器还具备检测部，该检测部在上述外加负载的减少时，对负载减少时实际读取的静电电容变成由上述修正部修正后的上述静电电容的情况进行检测。根据该构成，能够在外加负载FN的减少时，使用简单的运算量来检测外加负载FN变成设为检测对象的指定值的情况。专利技术效果如以上说明所示，根据本专利技术，能够提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。附图说明图1是本专利技术的实施方式涉及的静电电容式压力传感器的构成图。图2是本专利技术的实施方式涉及的修正装置所连接的负载传感器的构成图。图3是本专利技术的实施方式涉及的修正装置的功能框图。图4是表示本专利技术的实施方式涉及的修正装置的动作的流程图。图5是本专利技术的其他实施方式涉及的静电电容式压力传感器的构成图。符号说明1，180 静电电容式压力传感器10 负载传感器20 修正装置21 A/D转换器22 CPU23 存储器101 确定部102 存储部103 修正值生成部104 修正部160 检测部具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种修正装置，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正装置具有：确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。

【技术特征摘要】
2015.03.17 JP 2015-0531401.一种修正装置，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正装置具有：确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。2.如权利要求1所述的修正装置，其中，将上述外加负载设为FN，将上述极限负载设为Fx，将上述静电电容式压力传感器的额定负载设为FMAX，将上述第一函数设为fPEAK(FX)，将上述第二函数设为fHYS(FN/FX×FMAX)的情况下，上述修正部从上述负载减少时的静电电容减去由上述修正值生成部生成的修正值fPEAK(FX)×fHYS(FN/FX×FMAX)，由此修正上述负载减少时的静电电容。3.如权利要求1或2所述的修正装置，其中，上述修正值生成部对于负载增加时实际读取的静电电容不生成修正值。4.如权利要求2所述的修正装置，其中，上述第二函数fHYS(FN/FX×FMAX)是([An×(FMAX/FX×FN)^n+A(n-1)×(FMAX/FX×FN)^(n-1)···+A1×(FMAX/FX×FN)+A0])，其中，A0～An为常数。5.如权利要求3所述的修正装置，其中，上述第二函数fHYS(FN/FX×FMAX)是([An×(FMAX/FX×FN)^n+A(n-1)×(FMAX/FX×FN)^(n-1)···+A1×(FMAX/FX×FN)+A0])，其中，A0～An为常数。6.如权利要求1或2所述的修正装置，其中，上述第一函数以及上述第二函数基于模拟结果或者实测值被规定。7.一种修正方法，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的方法，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和...

【专利技术属性】
技术研发人员：平塚和彦，铃木素，椎根智宏，五十岚隆雄，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP