阵列基板及其制造方法、液晶显示面板技术

本发明专利技术提供一种阵列基板，包括：依次层叠设置的基板、公共电极层、隔离层、栅极层、第一绝缘层、数据线层、第二绝缘层、第一透明电极、第三绝缘层和第二透明电极，所述隔离层上设有第一过孔，所述第一绝缘层上设有第二过孔，所述第二绝缘层设有第三过孔和与所述第二过孔连通的第四过孔，所述第一透明电极经所述第一过孔、所述第二过孔和所述第四过孔连接至所述公共电极层，所述第三绝缘层设有与所述第三过孔连通的第五过孔，所述第二透明电极经所述第五过孔和所述第三过孔与所述数据线层连接。本发明专利技术中将栅极线层和公共电极层设置在不同的导电层中，避免了由于两者距离过近造成的短路形成线类不良异常，提升了液晶显示面板的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体而言涉及一种阵列基板及其制造方法、液晶显示面板。
技术介绍
LTPS-LCD(Low Temperature Poly-Silicon Liquid Crystal Display，低温多晶硅液晶显示面板)具有高分辨率、反应速度快、高亮度、高开口率等优点，因此在当前的平板显示器市场占据了主导地位。液晶显示面板通常包括阵列基板和彩膜基板，阵列基板和彩膜基板对盒形成液晶面板(Panel)。其中，一般情况下，阵列基板上设置有栅极线层(Gate line)即扫描线、数据线层(Data line)以及公共电极层(Common line)。栅极线层和公共电极层采用同一层金属层铺设，通过刻蚀等加工工艺形成栅极线层和公共电极层，但是由于两者距离较近，极易造成短路形成线类不良异常。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供阵列基板及其制造方法，能够有效改善栅极线层和公共电极层的断路异常，提升液晶显示面板的稳定性。本专利技术的另一目的在于提供采用上述阵列基板的液晶显示面板。为了实现上述目的，本专利技术实施方式提供如下技术方案：本专利技术提供一种阵列基板，包括：依次层叠设置的基板、公共电极层、隔离层、栅极层、第一绝缘层、数据线层、第二绝缘层、第一透明电极、第三绝缘层和第二透明电极，所述隔离层上设有第一过孔，所述第一绝缘层上设有第二过孔，所述第二绝缘层设有第三过孔和与所述第二过孔连通的第四过孔，所述第一透明电极经所述第一过孔、所述第二过孔和所述第四过孔连接至所述公共电极层，所述第三绝缘层设有与所述第三过孔连通的第五过孔，所述第二透明电极经所述第五过孔和所述第三过孔与所述数据线层连接。其中，所述隔离层包括依次层叠设置的缓冲层、多晶硅层和栅极绝缘层，所述缓冲层覆盖在所述公共电极层上。其中，所述第一绝缘层上还设有第六过孔，所述栅极绝缘层上设有与所述第六过孔连通的第七过孔，所述数据线层经所述第六过孔和所述第七过孔连接至所述多晶硅层。其中，所述缓冲层包括SiNx或SiO2或者两者的复合材料。其中，所述栅极层包括导电块，所述导电块经所述第一过孔与所述公共电极层连接，所述第一透明电极经所述第二过孔和所述第四过孔与所述导电块连接。本专利技术提供一种液晶显示面板，其中，包括上述任意一项所述的阵列基板。本专利技术提供一种阵列基板的制造方法，其中，包括：在所述基板上形成公共电极层；在所述基板上形成覆盖所述公共电极层的隔离层；在所述隔离层形成第一过孔；在所述隔离层上形成栅极线层；在所述栅极线层上形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上形成数据线层；在所述数据线层上形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层形成与所述第一过孔连通的第一长过孔；在所述第二绝缘层上形成第一透明电极，所述第一透明电极经所述第一过孔、所述第一长过孔与所述公共电极层连接；在所述第一透明电极上形成第三绝缘层；在所述第三绝缘层形成连通至所述数据线层的第二长过孔；在所述第三绝缘层上形成第二透明电极，所述第二透明电极经所述第二长过孔与所述数据线层连接。其中，在所述隔离层上形成栅极线层步骤中包括：在栅极层上形成经所述第一过孔连接所述公共电极层的导电块。其中，所述在所述基板上形成覆盖所述公共电极层的隔离层步骤中，包括：依次形成缓冲层、多晶硅层和栅极绝缘层，其中，所述缓冲层覆盖在所述公共电极层上。其中，所述在所述栅极线层上形成第一绝缘层步骤中，包括在所述第一绝缘层上形成连通至所述多晶硅层的第三长过孔。本专利技术实施例具有如下优点或有益效果：本专利技术中将栅极线层和公共电极层设置在不同的导电层中，并通过隔离层隔开所述栅极线层和所述公共电极层，避免了由于两者距离过近造成的短路形成线类不良异常，提升了阵列基板和液晶显示面板的稳定性。本专利技术还提供一
种上述阵列基板的制造方法。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术阵列基板的剖面结构示意图。图2是具有图1所述阵列基板的电容结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。此外，以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本专利技术，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语，其不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说
明书中用“～”表示的数值范围是指将“～”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中，结构相似或相同的用相同的标号表示。请参与图1，本专利技术提供一种阵列基板100，包括：基板110、公共电极层120、隔离层130、栅极线层(图未编号)、第一绝缘层150、数据线层(图未编号)、第二绝缘层170、第一透明电极180、第三绝缘层190和第二透明电极182；所述公共电极层120设置于所述基板110上方；所述隔离层130设置于所述基板110上方且覆盖所述公共电极层120，所述隔离层130上设有第一过孔131；所述栅极线层设置于所述隔离层130上方，所述栅极线层包括多条间隔设置的栅极线140；第一绝缘层150覆盖于所述栅极线层上方，所述第一绝缘层150上设有第二过孔152；数据线层设置于所述第一绝缘层150上方，所述数据线层包括多条间隔设置的数据线160；所述第二绝缘层170覆盖在所述数据线层上方，所述第二绝缘层170上设有第三过孔173和与所述第二过孔152连通的第四过孔174；所述第二绝缘层170上方设置有第一透明电极180，所述第一透明电极180经所述第一过孔131、所述第二过孔152和所述第四过孔174与所述公共电极层120连接；第三绝缘层190设置于所述第一透明电极180上方，所述第三绝缘层190设有与所述第三过孔173连通的第五过孔195；第二透明电极182设置于所述第三绝缘层190上方，所述第二透明电极182经所述第三过孔173和所述第五过孔195与所述栅极线层上的栅极线140连接。本专利技术中将栅极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，包括：依次层叠设置的基板、公共电极层、隔离层、栅极层、第一绝缘层、数据线层、第二绝缘层、第一透明电极、第三绝缘层和第二透明电极，所述隔离层上设有第一过孔，所述第一绝缘层上设有第二过孔，所述第二绝缘层设有第三过孔和与所述第二过孔连通的第四过孔，所述第一透明电极经所述第一过孔、所述第二过孔和所述第四过孔连接至所述公共电极层，所述第三绝缘层设有与所述第三过孔连通的第五过孔，所述第二透明电极经所述第五过孔和所述第三过孔与所述数据线层连接。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：依次层叠设置的基板、公共电极层、隔离层、栅极层、第一绝缘层、数据线层、第二绝缘层、第一透明电极、第三绝缘层和第二透明电极，所述隔离层上设有第一过孔，所述第一绝缘层上设有第二过孔，所述第二绝缘层设有第三过孔和与所述第二过孔连通的第四过孔，所述第一透明电极经所述第一过孔、所述第二过孔和所述第四过孔连接至所述公共电极层，所述第三绝缘层设有与所述第三过孔连通的第五过孔，所述第二透明电极经所述第五过孔和所述第三过孔与所述数据线层连接。2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述隔离层包括依次层叠设置的缓冲层、多晶硅层和栅极绝缘层，所述缓冲层覆盖在所述公共电极层上。3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一绝缘层上还设有第六过孔，所述栅极绝缘层上设有与所述第六过孔连通的第七过孔，所述数据线层经所述第六过孔和所述第七过孔连接至所述多晶硅层。4.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述缓冲层包括SiNx或SiO2或者两者的复合材料。5.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述栅极层包括导电块，所述导电块经所述第一过孔与所述公共电极层连接，所述第一透明电极经所述第二过孔和所述第四过孔与所述导电块连接。6.一种液晶显示面板，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林碧芬，甘启明，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44