改进的环形陀螺仪结构和陀螺仪制造技术

一种具有中心弹簧结构的环形陀螺仪结构，其中，中心弹簧结构优选26‑模式并且使得它们在频率上较低。趋于与外部机械激发相耦合的弯曲谐振模式明显高于26‑模式。因此，所描述的结构相对于外部的机械冲击和振动是非常强健的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种微机电装置，以及更特别地涉及在独立权利要求的前序中所限定的陀螺仪结构以及陀螺仪。
技术介绍
微机电系统或MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)可以被定义为其中至少一些元件具有机械功能的小型化机械和机电系统。由于MEMS装置是利用与用于创建集成电路相同的工具来创建的，可以在相同的硅片上制造微机械元件和微电子元件以实现先进的机械。MEMS结构可以被用来快速和准确地检测物理性质的非常小的变化。例如，微机电陀螺仪可以被用来快速和准确地检测非常小的角位移。运动具有六个自由度：沿三个正交方向的平移以及绕三个正交轴的旋转。后三者可以通过角速率传感器(又被称为陀螺仪)来进行测量。MEMS陀螺仪使用科里奥利效应来测量角速率。当质量块(mass)沿一个方向移动并且施加了旋转角速度时，质量块由于科里奥利力而经受沿正交方向的力。然后，由科里奥利力引起的作为结果的物理位移可以由例如电容式、压电式或压阻式感测结构来读取。在MEMS陀螺仪中，由于缺少适当的轴承，主运动通常不像在传统陀螺仪中那样是连续的旋转。替代地，可以使用机械振荡作为主运动。当振荡的陀螺仪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面微机电陀螺仪结构，包括：圆形结构，其围绕中心点延伸；中心弹簧结构，其用于将所述圆形结构悬挂于围绕所述中心点对称地定位的四个中心锚定点；在所述圆形结构上的四个中心圆周点以及四个外围圆周点，所述四个外围圆周点处于所述中心圆周点之间，相邻的外围圆周点形成外围圆周点对，相邻的中心圆周点形成中心圆周点对；所述中心弹簧结构被构造成将所述四个中心锚定点中的每一个连接至所述圆形结构上的中心圆周点对；所述中心弹簧结构与所述圆形结构之间的连接被构造成将外围圆周点对或中心圆周点对中的第一圆周点的在平面上的径向位移转换成所述外围圆周点对或中心圆周点对中的第二圆周点上的反向的在平面上的径向力，所述第一圆周点的所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.28 FI 201450861.一种平面微机电陀螺仪结构，包括：圆形结构，其围绕中心点延伸；中心弹簧结构，其用于将所述圆形结构悬挂于围绕所述中心点对称地定位的四个中心锚定点；在所述圆形结构上的四个中心圆周点以及四个外围圆周点，所述四个外围圆周点处于所述中心圆周点之间，相邻的外围圆周点形成外围圆周点对，相邻的中心圆周点形成中心圆周点对；所述中心弹簧结构被构造成将所述四个中心锚定点中的每一个连接至所述圆形结构上的中心圆周点对；所述中心弹簧结构与所述圆形结构之间的连接被构造成将外围圆周点对或中心圆周点对中的第一圆周点的在平面上的径向位移转换成所述外围圆周点对或中心圆周点对中的第二圆周点上的反向的在平面上的径向力，所述第一圆周点的所述在平面上的径向位移的方向与所述第二圆周点上的所述在平面上的径向力的方向正交。2.根据权利要求1所述的微机电陀螺仪结构，其特征在于：所述微机电陀螺仪结构具有两个径向方向，其中，径向方向与连接所述中心点和两个中心锚定点的对角线对准；所述中心弹簧结构包括四个中心子结构，其中，中心子结构包括沿纵向方向伸长并且绷紧的至少三个弹簧；所述三个弹簧中的第一弹簧沿径向方向从中心锚定点延伸至连接点，在所述连接点处所述第一弹簧与所述三个弹簧中的第二弹簧和第三弹簧相连；所述第二弹簧在所述连接点与第一中心圆周点之间延伸；所述第三弹簧在所述连接点与第二中心圆周点之间延伸。3.根据权利要求2所述的微机电陀螺仪结构，其特征在于：连接所述第一中心圆周点和所述连接点的线与径向方向之间的角度等于连接所述第二中心圆周点和所述连接点的线与该径向方向之间的角度。4.根据前述权利要求中任一项所述的微机电陀螺仪结构，其特征在于下述外围弹簧结构：所述外围弹簧...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚科·罗希奥，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP