一种异质结可饱和吸收镜及其制备方法、锁膜光纤激光器技术

本发明专利技术属于激光器技术领域，提供了一种异质结可饱和吸收镜，包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层；所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层，其中各可饱和吸收层的材料互不相同。本发明专利技术还提供了一种异质结可饱和吸收镜的制备方法，包括如下步骤：衬底制将衬底抛光；将所述衬底置于反应室内，采用CVD法在所述金膜层上依次镀上所述至少两层可饱和吸收层，形成异质结薄膜；在所述异质结薄膜表面镀上保护膜层。本发明专利技术提供的异质结可饱和吸收镜具有高损伤阈值，结构简单、成本低廉，可靠性高；制备方法简单，适于批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光器
，尤其涉及一种异质结可饱和吸收镜及其制备方法、一种锁模光纤激光器。
技术介绍
利用被动锁模技术是光纤激光器实现超快脉冲输出的一种有效途径，而被动锁模的关键技术是光纤激光器谐振腔中需要具备可饱和吸收效应。目前，研究人员已经利用多种可饱和吸收效应在光纤激光器中获得被动锁模超快脉冲输出。一般来说，为了克服光纤激光锁模环境不稳定的缺点，研究人员通常采用SESAM(半导体可饱和吸收镜)来实现光纤激光器锁模超快脉冲输出。但由于商用SESAM价格昂贵、制作工艺复杂、可饱和吸收带宽窄、一般仅支持皮秒级别的脉冲输出，并且损伤阈值也较低，所以也不适用于全方位研究超快光纤激光器的动力学特性。因此，本领域内急需一种成本低廉、工艺简单、高性能的可饱和吸收体。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种异质结可饱和吸收镜及其制备方法，旨在克服商用SESAM价格昂贵、制作工艺复杂、可靠性低的缺陷。本专利技术是这样实现的：一种异质结可饱和吸收镜，包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层；所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层，其中各可饱和吸收层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种异质结可饱和吸收镜，其特征在于，包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层；所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层，其中各可饱和吸收层的材料互不相同。

【技术特征摘要】
1.一种异质结可饱和吸收镜，其特征在于，包括衬底、覆盖在所述衬底上的异质结薄膜以及位于所述异质结薄膜之上的保护膜层；所述异质结薄膜包括至少两层可饱和吸收层，其中各可饱和吸收层的材料互不相同。2.如权利要求1所述的异质结可饱和吸收镜，其特征在于，所述异质结可饱和吸收镜还包括金膜层，所述金膜层位于所述衬底与所述异质结薄膜之间。3.如权利要求1所述的异质结可饱和吸收镜，其特征在于，所述金膜层的厚度为500-1000nm。4.如权利要求1所述的异质结可饱和吸收镜，其特征在于，所述保护膜层为多层六角氮化硼薄膜。5.如权利要求1所述的异质结可饱和吸收镜，其特征在于，所述至少两层可饱和吸收层分别为石墨烯层、过渡金属氧族化物材料层、拓扑绝缘体材料层中的任意两种或任意两种材料不同的过渡金属氧族化物材料层；其中，所述过渡金属氧族化物不包括氧化物。6.如权利要求4所述的异质结可饱和吸收镜，其特征在于，所述过渡金属氧族化物材料包括二碲化钨、二碲化钼、二硫化铪、二硒化铪、二硒化钴、二碲化钴、二硒化铼、二碲化...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫培光，陈浩，王金章，邢凤飞，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：发明
国别省市：广东;44