MEMS元件制造技术

本发明专利技术提供MEMS元件，其是能够抑制保持部的延伸的方向中的收缩振动所导致的电阻值的变动并且实现高精度的振荡器的MEMS元件。MEMS元件10由框11、接收驱动信号的输入的矩形板12以及将该矩形板12固定于框11的保持部13构成。框11与矩形板12均以具有短边与长边的矩形构成。保持部13被设置为从矩形板12的对置的短边的中央部分向框11侧延伸，并且将矩形板12相对于框11进行固定。矩形板12的长边(Lp)与短边(Wp)之比(Lp/Wp)为1.3～1.6，优选为1.46。电阻膜19是沿着连接将矩形板12固定于框11的保持部13的直线上的区域，根据振动分布形成于最大位移的一半以下的区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201580003444

【技术保护点】
一种MEMS元件，其具备：基板；在所述基板上，具备压电层、在所述压电层的上下具备电极膜并且接收来自外部的驱动信号的输入的由短边与长边构成的矩形板；以及经由一对保持部对所述矩形板进行固定的固定部，其中，在所述矩形板上形成有覆盖所述电极膜的一部分的绝缘层，在所述绝缘层上形成有电阻膜，所述保持部从所述矩形板的对置的短边的中央向所述固定部延伸而形成，所述电阻膜被形成于沿着连接成为宽度扩展振动的节点的所述保持部的直线上的区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.17 JP 2014-0070881.一种MEMS元件，其具备：基板；在所述基板上，具备压电层、在所述压电层的上下具备电极膜并且接收来自外部的驱动信号的输入的由短边与长边构成的矩形板；以及经由一对保持部对所述矩形板进行固定的固定部，其中，在所述矩形板上形成有覆盖所述电极膜的一部分的绝缘层，在所述绝缘层上形成有电阻膜，所述保持部从所述矩形板的对置的短边的中央向所述固定部延伸而形成，所述电阻膜被形成于沿着连接成为宽度扩展振动的节点的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：开田弘明，龟田英太郎，竹山佳介，中村大佐，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP