【技术实现步骤摘要】
201610121098
【技术保护点】
一种ZrS2二维半导体材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤a、在石英舟A上斜放两片尺寸相同且正面朝上的SiO2/Si衬底,然后将石英舟A与SiO2/Si衬底一起放于高温管式炉中,并将石英舟A放于高温管式炉的石英管的中间位置;步骤b、在石英舟B中平铺氯化锆粉末,将其放于高温管式炉的石英管中并且距离石英舟A 12‑15cm位置处;步骤c、在距离石英舟A 18‑21cm处放入硫舟,硫舟和石英舟B均置于石英舟A的一侧;步骤d、在常温下向石英管中通惰性气体8‑15min,将石英管中的空气完全排净,调小惰性气体的气流量,使高温管式炉升温至770‑880℃,反应完全后自然降温;待石英管的温度达到室温时取出样品,样品制备完成。
【技术特征摘要】
1.一种ZrS2二维半导体材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤a、在石英舟A上斜放两片尺寸相同且正面朝上的SiO2/Si衬底,然后将石英舟A与SiO2/Si衬底一起放于高温管式炉中,并将石英舟A放于高温管式炉的石英管的中间位置;步骤b、在石英舟B中平铺氯化锆粉末,将其放于高温管式炉的石英管中并且距离石英舟A 12-15cm位置处;步骤c、在距离石英舟A 18-21cm处放入硫舟,硫舟和石英舟B均置于石英舟A的一侧;步骤d、在常温下向石英管中通惰性气体8-15min,将石英管中的空气完全排净,调小惰性气体的气流量,使高温管式炉升温至770-880℃,反应完全后自然降温;待石英管的温度达到室温时取出样品,样品制备完...
【专利技术属性】
技术研发人员:李京波,王晓婷,吴福根,陈颖,
申请(专利权)人:广东工业大学,
类型:发明
国别省市:广东;44
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