压印方法、压印装置以及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种压印方法、压印装置以及物品的制造方法。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。【专利说明】
本专利技术涉及。
技术介绍
作为批量生产半导体器件、磁存储介质等的光刻装置中的一种，通过使用模具使供给到基板上的压印材料形成图案的压印装置已引起关注。为了使模具上形成的图案区域和基板上形成的投射区域精确地交叠(overlay)，压印装置基于在图案区域和投射区域分别配设的标记的位置，进行交叠的反馈控制。日本特开2013-102132号公报已提出了如下的方法:通过使用向模具施加力来使图案区域变形的技术、以及加热基板来使投射区域变形的技术二者，使图案区域和投射区域交叠。压印装置能够使用例如进行前馈控制来使图案区域和投射区域中的至少一者变形的方法，以使图案区域的形状和投射区域的形状在交叠的反馈控制之前彼此接近。当在变形的该反馈控制中使图案区域的形状和投射区域的形状彼此接近时，有时期望有意在图案区域上的多个标记中的一些与投射区域上的对应的标记之间进行位置偏移。在这种情况下，进行交叠的反馈控制以使图案区域上的标记与投射区域上的标记(有意在其间进行位置偏移)相匹配，使得难以精确地交叠图案区域和投射区域。
技术实现思路
本专利技术提供了一种有利于使例如在模具上形成的图案区域与在基板上形成的投射区域精确地交叠的技术。根据本专利技术的一个方面，提供一种压印方法，其通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，使基板上形成的投射区域上的压印材料形成图案，所述压印方法包括以下步骤:根据被确定为使所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的所述图案区域和所述投射区域中的至少一个区域的变形量，进行所述至少一个区域的变形的控制;获得在所述图案区域和所述投射区域的变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量;基于在所述获得步骤中获得的所述偏移量，从所述多个标记中选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，使得满足预设条件；以及在所述进行变形的控制步骤中的所述变形之后，基于对在所述选择步骤中选择的标记的位置的检测结果，进行所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的反馈控制。根据本专利技术的一个方面，提供一种压印装置，其通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，使基板上形成的投射区域上的压印材料形成图案，所述压印装置包括:变形单元，其被构造为使所述图案区域和所述投射区域中的至少一者变形；以及控制单元，其中，所述控制单元根据被确定为使所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的至少一个区域的变形量，针对所述变形单元进行所述至少一个区域的变形的控制;获得在所述图案区域和所述投射区域的变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量;基于所获得的偏移量，从所述多个标记中选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，使得满足预设条件；以及在所述至少一个区域的变形之后，基于对所选择的标记的位置的检测结果，进行所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的反馈控制。根据本专利技术的一个方面，提供一种物品的制造方法，所述物品的制造方法包括:使用压印方法在基板上形成图案；以及对形成有所述图案的所述基板进行处理以制造所述物品，其中，所述压印方法通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，使基板上形成的投射区域上的压印材料形成图案，并且所述压印方法包括以下步骤:根据被确定为使所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的至少一个区域的变形量，进行所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制;获得在所述图案区域和所述投射区域的变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量;基于在所述获得步骤中获得的所述偏移量，从所述多个标记中选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，使得满足预设条件；以及在所述进行变形的控制步骤中的所述变形之后，基于对在所述选择步骤中选择的标记的位置的检测结果，进行所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的反馈控制。通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的其他方面将变得清楚。【附图说明】图1是示出根据第一实施例的压印装置的示意图；图2是示出根据第一实施例的压印装置中的对准过程的流程图；图3A是示出图案区域的形状和投射区域的形状的图；图3B是示出图案区域的形状和投射区域的形状的图；图4A是用于说明图案区域与投射区域之间的交叠的图；图4B是用于说明图案区域与投射区域之间的交叠的图；图5A是用于说明图案区域与投射区域之间的交叠的图；图5B是用于说明图案区域与投射区域之间的交叠的图；以及图6是用于说明选择在从各边的中心偏移的位置处布置的标记的原因的图。【具体实施方式】下面，将参照附图描述本专利技术的示例性实施例。注意，在整个附图中，相同的附图标号表示相同的部件，并且将不给出其重复说明。〈第一实施例〉将参照图1描述根据本专利技术的第一实施例的压印装置I。压印装置I用于半导体器件等的制造，并且进行通过使用模具7使基板上的压印材料14成型的压印处理，模具7具有形成有图案的图案区域7a。例如，在模具7与基板上的压印材料14接触的同时，压印装置I使压印材料14(树脂)固化。然后，通过增加模具7与基板11之间的间隔，并且将模具7从固化后的压印材料14分离(脱模)，压印装置I能够形成由基板上的压印材料14形成的图案。使压印材料14固化的方法包括使用热的热循环法和使用光的光固化法。第一实施例将举例说明使用光固化法的情况。光固化法是如下的方法，通过将树脂供给到基板上，并且在模具7与压印材料14接触的同时，用紫外光照射压印材料14，从而使未固化的紫外线可固化树脂作为压印材料14固化。图1是示出根据第一实施例的压印装置I的示意图。压印装置I能够包括例如保持模具7的模具保持单元3、保持基板11的基板台4、照射单元2、检测单元22以及供给单元5。模具保持单元3通过柱状支撑件26，固定在由底座24支撑的桥板25上。基板台4被支撑为在底座24上可移动。压印装置I还包括控制单元6，控制单元6包括CPU和存储器，并且控制压印处理(控制压印装置I的各个单元)ο通过执行控制单元6的存储器中存储的程序，来执行压印处理。通常通过使用紫外光能够透过的材料(例如石英)来制备模具7，并且用于使基板11上的压印材料14成型的凹凸图案，形成在位于基板侧的表面上的部分区域(图案区域7a)。另外，作为基板11，例如使用单晶硅基板或SOI(绝缘体上硅)基板。供给单元5将压印材料(紫外线可固化树脂)14供给到基板11的上表面(处理表面)上。模具保持单元3包括用例如真空抽吸力或静电力保持模具7的模具卡盘15，以及在Z方向上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压印方法，其通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，使基板上形成的投射区域上的压印材料形成图案，所述压印方法包括以下步骤：根据被确定为使所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的所述图案区域和所述投射区域中的至少一个区域的变形量，进行所述至少一个区域的变形的控制；获得在所述图案区域和所述投射区域的变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于在所述获得步骤中获得的所述偏移量，从所述多个标记中选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，使得满足预设条件；以及在所述进行变形的控制步骤中的所述变形之后，基于对在所述选择步骤中选择的标记的位置的检测结果，进行所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的反馈控制。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中川一树，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP