涂布构件、涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

提供能高速驱动涂布针、并能在短时间内实施RFID标签等的电路描绘的涂布构件、涂布装置以及涂布方法。涂布构件包括：涂布针(24)，该涂布针(24)用于将液体涂布于加工对象件(5)；以及移动部(41、43～46)，该移动部(41、43～46)用于使涂布针(24)在第一方向上移动。移动部包括电动机(41)、凸轮构件(43)及可动构件(44～46)。电动机(41)具有转轴，并被配置成该转轴的延伸方向沿着第一方向的状态。凸轮构件(43)包括凸轮面(61)，并与转轴连接，上述凸轮面(61)具有相对于转轴的延伸方向倾斜的表面部分。可动构件(44～46)与凸轮面(61)接触，并能沿着转轴的延伸方向移动。涂布针(24)与可动构件(44～46)连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及涂布构件、涂布装置及涂布方法，尤其特定地涉及用于使用涂布针将液体材料的液滴涂布于处理对象件的涂布构件、涂布装置及涂布方法。
技术介绍
近年来，通过印刷(涂布)方式形成RFID(RadioFrequencyIdentification：射频识别)标签等细微电路的印刷电子技术(printedelectronicstechnology)获得了急速发展。作为形成细微电路和电极图案的方式，一般采用印刷方式、喷射方式等，但使用涂布针的方式能使用大范围的粘度的材料进行细微的涂布，因此近年来也获得了关注。关于使用涂布针进行液体材料的细微涂布的方法，提出了例如使用日本专利特开2007－268353号公报中公开的这样的涂布单元的方法。日本专利特开2007－268353号公报中公开的涂布单元以细微图案的缺陷修正为目的，并能使用大范围的粘度的材料进行细微的涂布。但是，在上述涂布单元中，驱动涂布针的驱动部(气缸)的驱动轴仅为一根，驱动部和对涂布针进行固定支承的臂未被固接，而是以从安装于驱动轴的驱动板突出的销支承上述臂。此外，在使涂布针朝向处理对象即基板下降的情况下，使驱动轴移动而使上述销下降(靠近基板侧)。这样，由直动导向构件支承的臂和与该臂连接并固定涂布针的涂布针固定板因其自重而朝基板侧移动(下降)，涂布针下降而接触基板。为了进行上述动作，上述涂布单元进行一次涂布动作需要数秒左右的时间。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2007－268353号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题在为了实现上述RFID标签的形成(电路描绘)而使用上述涂布单元的情况下，一次涂布时间较长，为数秒，因此，为了描绘出RFID标签而需要非常长的时间。因此，为了尽可能在短时间内描绘出电路，需要以高速驱动涂布针，但在上述涂布单元的结构中，上述销和臂未被固接，而是采用了涂布针因涂布针固定板和臂的自重而下降的方式，因此，即便以高速驱动驱动轴，涂布针也无法充分地追随该驱动轴的动作。因此，不能以高速驱动涂布针，难以进行高速的电路描绘。本专利技术为解决上述技术问题而作，其主要目的在于提供能高速驱动涂布针、并能在短时间内实施RFID标签等的电路描绘的涂布构件、涂布装置以及涂布方法。解决技术问题所采用的技术方案本专利技术的涂布构件包括：涂布针，该涂布针用于将液体涂布于加工对象件；以及移动部，该移动部用于使涂布针在第一方向上移动。移动部包括电动机、凸轮构件及可动构件。电动机具有转轴，并被配置成该转轴的延伸方向沿着第一方向的状态。凸轮构件包括凸轮面，并与转轴连接，上述凸轮面具有相对于转轴的延伸方向倾斜的表面部分。可动构件与凸轮面接触，并能沿着转轴的延伸方向移动。涂布针与可动构件连接。本专利技术的涂布装置包括上述涂布构件和保持台。保持台对由涂布针涂布液体材料的处理对象件进行保持。本专利技术的涂布方法包括：准备处理对象件的工序；以及将液体材料涂布于处理对象件的工序。在上述涂布液体材料的工序中，通过使涂布构件的涂布针与处理对象件接触，将液体材料涂布于处理对象件。在涂布液体材料的工序中，当使涂布针以与处理对象件的表面接触的方式移动时，在将涂布针的移动速度由第一速度改变为比该第一速度低的第二速度之后，使涂布针与处理对象件的表面接触。专利技术效果根据本专利技术，可获得能高速驱动涂布针、并能在短时间内实施RFID标签等的电路描绘的涂布构件、涂布装置以及涂布方法。附图说明图1是本实施方式的涂布装置的示意图。图2是表示图1所示的涂布装置的涂布机构的示意图。图3是用于对图2所示的涂布机构的凸轮构件进行说明的示意图。图4是用于对图2所示的涂布机构中的涂布针的动作进行说明的示意图。图5是用于对图2所示的涂布机构中的涂布针的动作进行说明的图表。图6是用于对图3所示的凸轮构件的变形例进行说明的示意图。具体实施方式以下，参照附图来说明本专利技术的实施方式。另外，在以下附图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并不重复其说明。(涂布装置的整体结构)参照图1，对本实施方式的涂布装置进行说明。参照图1，本专利技术实施方式的涂布装置主要包括：处理室；Y轴工作台2，该Y轴工作台2配置于上述处理室的内部；X轴工作台1；Z轴工作台；涂布机构4；观察光学系统6；CCD摄像头7，该CCD摄像头7与上述观察光学系统6连接；以及控制部。控制部包括：显示器9；控制用计算机10；以及操作面板8。在处理室的内部，在该处理室的底部上设置有Y轴工作台2。该Y轴工作台2能在Y轴方向上移动。具体而言，在Y轴工作台2的下表面设置有导向部。该导向部能滑动地与设置于处理室的底面的导轨连接。另外，滚珠丝杠与Y轴工作台2的下表面连接。通过利用电动机等驱动构件使上述滚珠丝杠进行动作，Y轴工作台2能沿着导轨(Y轴方向)移动。另外，Y轴工作台2的上部表面上是装载作为处理对象件的基板5的装设面。在Y轴工作台2上设置有X轴工作台1。X轴工作台1配置于被设置成沿X轴方向横跨Y轴工作台2的结构体上。在X轴工作台1上以能沿X轴方向移动的方式设置有与Z轴工作台3连接的移动体。移动体例如使用滚珠丝杠而能在X轴方向上移动。另外，X轴工作台1通过上述结构体固定于处理室的底面。因此，上述Y轴工作台2能相对于X轴工作台1在Y轴方向上移动。在与X轴工作台1连接的移动体上如上所述设置有Z轴工作台3。观察光学系统6及涂布机构4与Z轴工作台3连接。观察光学系统6用于对涂布对象的基板5的涂布位置进行观察。CCD摄像头将观察到的图像转换为电信号。Z轴工作台3将上述观察光学系统6及涂布机构4保持成能在Z轴方向上移动。用于对上述Y轴工作台2、X轴工作台1、Z轴工作台3、观察光学系统6及涂布机构4进行控制的控制用计算机10以及操作面板8设置于处理室的外部，此外，附随于控制用计算机的显示器9设置于处理室的外部。显示器9显示由上述CCD摄像头7转换来的图像数据和来自控制用计算机10的输出数据。操作面板8用于输入朝控制用计算机10的指令。(涂布机构的结构)参照图2及图3，进一步详细地说明上述涂布机构4。图1所示的固定于Z轴工作台3的涂布机构4主要包括：伺服电动机41；凸轮43；轴承44；凸轮连接板45；可动部46；涂布针保持件20；保持于该涂布针保持件20的涂布针24；以及涂布材料容器21。伺服电动机41被设置成转轴在沿着图1所示的Z轴方向的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布构件，其特征在于，包括：涂布针，该涂布针用于将液体涂布于加工对象件；以及移动部，该移动部用于使所述涂布针在第一方向上移动，所述移动部包括：电动机，该电动机具有转轴，并被配置成所述转轴的延伸方向沿着所述第一方向的状态；凸轮构件，该凸轮构件具有凸轮面，并与所述转轴连接，所述凸轮面具有相对于所述转轴的延伸方向倾斜的表面部分；以及可动构件，该可动构件与所述凸轮面接触，并能沿着所述转轴的延伸方向移动，所述涂布针与所述可动构件连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.12.13 JP 2013-2581881.一种涂布构件，其特征在于，包括：
涂布针，该涂布针用于将液体涂布于加工对象件；以及
移动部，该移动部用于使所述涂布针在第一方向上移动，
所述移动部包括：
电动机，该电动机具有转轴，并被配置成所述转轴的延伸方向沿着所述第
一方向的状态；
凸轮构件，该凸轮构件具有凸轮面，并与所述转轴连接，所述凸轮面具有
相对于所述转轴的延伸方向倾斜的表面部分；以及
可动构件，该可动构件与所述凸轮面接触，并能沿着所述转轴的延伸方向
移动，
所述涂布针与所述可动构件连接。
2.如权利要求1所述的涂布构件，其特征在于，
所述凸轮面包括：
第一平坦部，该第一平坦部连接于倾斜的所述表面部分的一端部，所述第
一平坦部位于所述电动机侧，并在与所述转轴的延伸方向垂直的方向上延伸；
以及
第二平坦部，该第二平坦部连接于倾斜的所述表面部分的与所述一端部相
反一侧的另一端部，所述第二平坦部位于所述涂布针侧，并在与所述转轴的延

【专利技术属性】
技术研发人员：山中昭浩，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP