薄膜晶体管基底和制造薄膜晶体管基底的方法技术

技术编号:13448187 阅读:53 留言:0更新日期:2016-08-01 16:26
提供了一种薄膜晶体管基底和一种制造薄膜晶体管基底的方法。所述薄膜晶体管基底包括:栅电极;沟道层,与栅电极叠置;源电极,与沟道层叠置;漏电极,与沟道层和源电极叠置;以及间隔件,设置在源电极和漏电极之间。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜晶体管基底,所述薄膜晶体管基底包括:栅电极;沟道层,与所述栅电极叠置;源电极,与所述沟道层叠置;漏电极,与所述沟道层和所述源电极叠置;以及间隔件,设置在所述源电极和所述漏电极之间。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳明官金亿洙孙暻锡崔昇夏金昭娟金贤朴恩惠朱炳焕
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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