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一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器技术

技术编号:13403002 阅读:57 留言:0更新日期:2016-07-24 21:44
本发明专利技术提供一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器,所述PVDF超声换能器电极的制作方法,包括:获取电极的图案;将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上,所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极,且其上表面涂有感光材料;对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理,得到带有所需电极图案的PVDF压电薄膜。相对于现有的复杂电极PVDF超声换能器制作方法,基于上述方法制作的PVDF超声换能器有更高的灵敏度,且有工艺简单、价格低等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种PVDF超声换能器电极的制作方法,其特征在于,包括:获取超声换能器电极的图案;将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上,所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极,且其上表面涂有感光材料;对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理,得到超声换能器电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王波彭宽肖嘉莹朱自强
申请(专利权)人:湖南大学
类型:发明
国别省市:湖南;43

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