【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种空气净化装置,更具体地说,是一种使用触媒转轮的低浓度VOC污染空气净化装置。
技术介绍
随着半导体晶圆加工以及集成电路的高集成化及高性能化,为了提高半导体晶圆加工、集成电路板制造,液晶显示屏生产等各种电子元件的品质及产品的成品率。对于生产环境所需要的洁净房的要求也越来越高。根据制造工程清洁房等规定严格实行清洁度管理就变得至关重要。而如何减少清洁度基准中尘埃、VOC等化学物质成分也成了很重要的问题。此外,日本平成15年施行的室内空气污染新法(建筑基准法、同法施行令及同法施行规则的一部分改正施行)规定了对于居室内化学物质发散在卫生上的措施,标示了室内甲醛及VOC等的浓度指针值。对于超过这个指针值情况时,通常会采用强制换气方式将建材及胶水等散发到自然中的VOC等污染气体强制换气或通过升高室内温度强制将建材等产生的VOC排出室外的方法。虽然这些方法能在竣工后的4~6个月内散发绝大部分VOC,使其在指针值以下,但期间长及由换气产生的空调能量损失就成了问题。为了净化这些VOC,专利文件1(日本特开平7-256048号公报)及专利文件2(日本特开平10-15339号公报)中公开了使用的含有触媒部分及吸着材料部分的双层转轮及含有触媒及吸着材料的混合物的转轮的净化装置。另外专利文件3(日本特开平2002-204919号公报)中公开了使用触媒吸附转轮分解VOC浓缩后的再生空气的吸脱装置。并且,专利文件4(日 ...
【技术保护点】
使用触媒转轮的低浓度VOC污染空气净化装置,其特征在于,包括:一净化装置主体,其由固定在一起并连通的第一蜂窝转轮和第二蜂窝转轮构成,其中:所述第一蜂窝转轮设于上游,该第一蜂窝转轮上的蜂窝通道表面担持有触媒,用于催化氧化分解气体中含有的VOC污染物;所述第二蜂窝转轮设于下游,该第二蜂窝转轮上的蜂窝通道表面担持有触媒和吸着剂混合物,用于分解和吸附气体中的VOC,污染气体经由所述第一蜂窝转轮进入后到达所述第二蜂窝转轮,所含有的VOC等污染物被蜂窝转轮所吸附、净化后的空气排出;所述净化装置主体上形成有处理区、清洁区、脱附区以及分解区,所述清洁区通过风管与脱附区连通,所述脱附区通过风管与所述分解区连通;排气鼓风机,其用于将气体通入所述清洁区,且所述排气鼓风机与所述分解区通过风管相连通以用于将所述分解区的气体排出;脱附加热器,其设于所述清洁区与所述脱附区连通的风管上,用于将由清洁区通到所述脱附区的气体进行加热;分解加热器,其设于所述脱附区与所述分解区连通的风管上,用于将由脱附区通到所述分解区的气体进行加热;一分支风管,其设于所述排气鼓风机与所述脱附加热器之间,所述分支风管上设有一回风阀,所述分支风 ...
【技术特征摘要】
1.使用触媒转轮的低浓度VOC污染空气净化装置,其特征在于,包括:
一净化装置主体,其由固定在一起并连通的第一蜂窝转轮和第二蜂窝转轮构成,其
中:所述第一蜂窝转轮设于上游,该第一蜂窝转轮上的蜂窝通道表面担持有触媒,用于
催化氧化分解气体中含有的VOC污染物;所述第二蜂窝转轮设于下游,该第二蜂窝转轮
上的蜂窝通道表面担持有触媒和吸着剂混合物,用于分解和吸附气体中的VOC,污染气体
经由所述第一蜂窝转轮进入后到达所述第二蜂窝转轮,所含有的VOC等污染物被蜂窝转
轮所吸附、净化后的空气排出;所述净化装置主体上形成有处理区、清洁区、脱附区以
及分解区,所述清洁区通过风管与脱附区连通,所述脱附区通过风管与所述分解区连通;
排气鼓风机,其用于将气体通入所述清洁区,且所述排气鼓风机与所述分解区通过
风管相连通以用于将所述分解区的气体排出;
脱附加热器,其设于所述清洁区与所述脱附区连通的风管上,用于将由清洁区通到
所述脱附区的气体进行加热;
分解加热器,其设于所述脱附区与所述分解区连通的风管上,用于将由脱附区通到
所述分解区的气体进行加热;
一分支风管,其设于所述排气鼓风机与所述脱附加热器之间,所述分支风管上设有
一回风阀,所述分支风管及所述回风阀将所述排气鼓风机排出的分解区的部分气体通入
所述脱附加热器内。
2.根据权利要求1所述的使用触媒转轮的低浓度VOC污染空气净化装置,其特征在
于,所述分解区与所述排气鼓风机之间的风管上设有一温度监控装置,该温度监控装置
检测所述分解区内气体的温度,并控制所述分解加热器开始或停止工作。
3.根据权利要求2所述的使用触媒转轮的低浓度VOC污染空气净化装置,其特征在
于,所述分解加热器上游另通过一风管接入一外气导入自动风阀,所述外气导入自动风
阀通过所述温度监控装置控制开始或停止工作。
4.根据权利要求1所述的使用触媒...
【专利技术属性】
技术研发人员:金伟力,
申请(专利权)人:西部技研环保节能设备常熟有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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