一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法技术

本发明专利技术公开了一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，步骤为：(1)对烧结钕铁硼工件进行除锈、除油处理；(2)对处理后的烧结钕铁硼工件进行离子活化处理；(3)对步骤(2)处理后的烧结钕铁硼工件进行溅射，沉积重稀土层；(4)对沉积有重稀土层的烧结钕铁硼工件进行高温热扩散以及回火处理。本发明专利技术通过磁控溅射法制备得到渗重稀土的烧结钕铁硼，该方法使得重稀土层与烧结钕铁硼工件间的结合致密，更利于重稀土元素向磁体内部充分扩散，使烧结钕铁硼获得更高的矫顽力。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法
本专利技术涉及稀土永磁材料表面处理
，具体涉及一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法。
技术介绍
烧结钕铁硼(NdFeB)作为第三代稀土永磁材料，具有较高的矫顽力、剩磁、磁能积等优点，其性价比高于其他磁体。但是NdFeB烧结永磁材料的居里温度偏低，温度稳定性欠佳，在高温工作环境中磁损失较大，矫顽力急剧恶化，影响正常使用。矫顽力与居里温度有一定的关联性，通过提高内禀矫顽力可以提高烧结钕铁硼的居里温度和温度稳定性。为了达到提高矫顽力的目的，可以通过提高磁晶各向异性场来实现。其中一种有效地提高磁晶各向异性场的方法是添加重稀土元素，如Dy或Tb。晶界扩散添加重稀土元素是近年来研究的热点，以晶界扩散的方法，使重稀土元素扩散进入磁体晶界及主相晶粒边缘区域，既能达到提高各向异性场的目的，又因主相晶粒内部不含重稀土元素，使得剩磁及磁能积无明显降低。常用的晶界扩散添加稀土元素的方法有很多，如磁控溅射、热喷涂、双合金粉末法、浸泡涂覆、热变形等。相较于其它制备方法，经磁控溅射法制备的薄膜，膜基结合力好，膜层致密。磁控溅射原子的动能比热蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤如下：(1)对烧结钕铁硼工件进行除锈、除油处理；(2)对处理后的烧结钕铁硼工件进行离子活化处理；(3)对步骤(2)处理后的烧结钕铁硼工件进行溅射，沉积重稀土层；(4)对沉积有重稀土层的烧结钕铁硼工件进行高温热扩散以及回火处理。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤如下：(1)对烧结钕铁硼工件进行除锈、除油处理；(2)对处理后的烧结钕铁硼工件进行离子活化处理；(3)对步骤(2)处理后的烧结钕铁硼工件进行溅射，沉积重稀土层，在所述的重稀土层表面再次溅射沉积阻挡层；所述阻挡层为Cr阻挡层；溅射重稀土层时，工作气压为0.1Pa，溅射靶的靶功率密度为5W/cm2，溅射靶头与水平面呈60°，靶-基距为12cm；溅射阻挡层时，工作气压为0.1Pa，溅射靶的靶功率密度为4W/cm2，溅射靶头与水平面呈60°，靶-基距为12cm；(4)对沉积有重稀土层和阻挡层的烧结钕铁硼工件进行高温热扩散以及回火处理。2.根据权利要求1所述的磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤(2)中，抽真空至本底真空为1×10-3～10-4Pa后，进行离子活化处理；所述离子活化处理采用惰性气体为工作气体，调节离子源工作的真空范围为1.5×10-2～7.0×10-2Pa，阳极电压为100～150V，阳极电流0.7～1.2A，工作时间为5～10min。3.根据权利要求1所述的磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤(3)中，溅射重稀土层时，采用惰性气体为工作气体，以Tb、Dy或其合金作为靶材，采用至少一个溅射靶对烧结钕铁硼工件进行溅射沉积重稀土层，溅射时间为1～5h。4.根据权利要求1所述的磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，其特征在于，步骤(3)中，所述重稀土层中的重稀土元素为Dy和/或Tb。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋振纶，张丽娇，郑必长，姜建军，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江;33