玻璃膜层叠体的制造方法、玻璃膜层叠体、电子设备的制造方法技术

本发明专利技术提供谋求玻璃膜的处理性的提高、且实现玻璃膜的成品率及合格品率的提高的玻璃膜层叠体及玻璃膜层叠体的制造方法。其是在支撑玻璃(12)上层叠玻璃膜(10)而制作的玻璃膜层叠体(1)的制造方法，其具有以下工序：对玻璃膜(10)和支撑玻璃(12)的至少周边部(10d·12d)施加超声波US的超声波施加工序(STEP‑1‑1)；将经过超声波施加工序(STEP‑1‑1)的玻璃膜(10)和支撑玻璃(12)进行清洗的清洗工序(STEP‑1‑2)；在经过清洗工序(STEP‑1‑2)的支撑玻璃(12)上层叠玻璃膜(10)而制作玻璃膜层叠体(1)的层叠工序(STEP‑1‑3)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及玻璃膜层叠体的制造方法、玻璃膜层叠体、电子设备的制造方法的技术。
技术介绍
从省空间化的观点出发，代替以往普及的CRT型显示器，近年来液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器等平板显示器普及。进而，在这些平板显示器中，存在对进一步薄型化的需求。近年来，对于平板显示器等设备中使用的基板或盖玻片，对实现进一步薄化和高的挠性的需求提高。为了对玻璃基板赋予挠性，将玻璃基板薄化是有效的，下述专利文献1中，提出了厚度为200μm以下的玻璃膜。对平板显示器或太阳能电池等电子设备中使用的玻璃基板进行加工处理或清洗处理等各种制造关联处理。然而，若将这些电子设备中使用的玻璃基板薄化，则由于玻璃为脆性材料，所以存在这样的问题：因稍微的应力变化而导致破损，在进行上述的各种电子设备的制造关联处理时处理非常困难。此外，由于厚度为200μm以下的玻璃膜富有挠性，所以还存在在进行处理时难以进行定位、在图案化时产生偏移等这样的问题。此外，为了提高经薄化的玻璃膜的处理性，在下述专利文献1中，提出了在支撑玻璃上层叠有玻璃膜的玻璃膜层叠体。根据这样的玻璃膜层叠体，即使使用为单质时没有强度或刚性的玻璃膜，也由于支撑玻璃的刚性高，所以在处理时作为玻璃膜层叠体整体定位变得容易。此外，处理结束后可以将玻璃膜从支撑玻璃剥离。若将玻璃膜层叠体的厚度设定为与以往的玻璃基板的厚度相同，则也能够共用以往的玻璃基板用的电子设备制造线来制造电子设备。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-183792号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题使用专利文献1中所示的玻璃膜层叠体来制造液晶面板等电子设备时，通常存在对玻璃膜层叠体涂布抗蚀液的工序(抗蚀工序)。进而，在抗蚀工序中涂布到玻璃膜层叠体上的抗蚀液通过感光、加热、干燥等方法而被固化。此外，在专利文献1中所示的以往的玻璃膜层叠体1中，如图16中所示的那样，有时在玻璃膜10与成为支撑体11的支撑玻璃12的界面13中形成气泡14。进而，在该气泡14中，有在玻璃膜10的外周缘以与大气连通的形态形成的气泡。另外，以下，规定将这样的气泡14称为开口泡14a。进而，就在界面13中存在开口泡14a的玻璃膜层叠体1而言，存在在抗蚀工序中涂布的抗蚀液进入开口泡中这样的问题。此外，进入开口泡14a中的抗蚀液之后被固化，但存在通过该固化的抗蚀液将存在开口泡14a的部位的玻璃膜10和支撑玻璃12粘着这样的问题。进而，以抗蚀液粘着的玻璃膜层叠体1存在这样的问题：在将支撑玻璃12与玻璃膜10分离时，该粘着的部位没有顺利地剥离，导致玻璃膜10的破损，玻璃膜10的成品率恶化，同时由玻璃膜层叠体1得到的玻璃膜10的合格品率也恶化。因此，期望通过防止由抗蚀液引起的支撑玻璃与玻璃膜的粘着，来抑制玻璃膜的剥离时的破损的发生，谋求玻璃膜的成品率及合格品率的提高。本专利技术是鉴于所述现状的课题而进行的，其目的是提供谋求玻璃膜的处理性的提高、并且防止玻璃膜层叠体中的层叠界面的开口泡的产生、实现玻璃膜的成品率及合格品率的提高的玻璃膜层叠体及玻璃膜层叠体的制造方法。用于解决课题的方案本专利技术所要解决的课题如上所述，接着说明用于解决该课题的方案。本申请的第1专利技术的特征在于，其是在支撑体上层叠玻璃膜而制作的玻璃膜层叠体的制造方法，具有以下工序：对上述玻璃膜和上述支撑体的至少周边部施加超声波的超声波施加工序；将经过上述超声波施加工序的上述玻璃膜和上述支撑体进行清洗的清洗工序；在经过上述清洗工序的上述支撑体上层叠上述玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序。本申请的第2专利技术的特征在于，上述支撑体为支撑玻璃。本申请的第3专利技术的特征在于，在上述超声波施加工序中，使用喇叭型超声波发生器来施加超声波。本申请的第4专利技术的特征在于，在上述超声波施加工序中，使用上述喇叭型超声波发生器，仅对上述玻璃膜和上述支撑玻璃的上述周边部施加超声波。本申请的第5专利技术的特征在于，在上述超声波施加工序中，将上述玻璃膜和上述支撑玻璃在超声波清洗槽的内部浸入液体中，利用上述超声波清洗槽，对上述玻璃膜和上述支撑玻璃的整体施加超声波。本申请的第6专利技术的特征在于，其进一步具有检查存在于上述玻璃膜层叠体的上述玻璃膜与上述支撑玻璃的界面中与上述玻璃膜的端边相接的气泡即开口泡的有无的开口泡检查工序。本申请的第7专利技术的特征在于，在上述开口泡检查工序中，进一步检查与上述玻璃膜的周边部对应的上述玻璃膜层叠体的周边部中的除上述开口泡以外的气泡的有无。本申请的第8专利技术的特征在于，上述玻璃膜层叠体的周边部为从上述玻璃膜的端边起10mm以上的宽度。本申请的第9专利技术的特征在于，上述玻璃膜层叠体的除周边部以外的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。本申请的第10专利技术的特征在于，其是将玻璃膜与支撑玻璃直接层叠而制作的玻璃膜层叠体，上述玻璃膜的全部端边没有间隙地与上述支撑玻璃相接。本申请的第11专利技术的特征在于，上述玻璃膜以从上述玻璃膜的全部端边起10mm以上的宽度没有间隙地与上述支撑玻璃相接。本申请的第12专利技术的特征在于，上述玻璃膜层叠体的除上述玻璃膜与上述支撑玻璃没有间隙地相接的部位以外的部位中的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。本申请的第13专利技术的特征在于，在上述支撑玻璃上设置有薄膜层。本申请的第14专利技术的特征在于，其是具有以下工序的电子设备的制造方法：在电子设备制造关联处理前在支撑体上层叠玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序；通过对上述玻璃膜层叠体中的上述玻璃膜进行电子设备制造关联处理而在上述玻璃膜层叠体的上述玻璃膜上形成元件，以密封基板将上述元件密封来制作带支撑体的电子设备的工序；将上述带支撑体的电子设备中的电子设备制造关联处理后的上述玻璃膜从上述支撑体剥离来制造电子设备的工序，上述层叠工序为通过专利技术1～专利技术8中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法来制作玻璃膜层叠体的工序。专利技术效果作为本专利技术的效果，发挥以下所示那样的效果。根据本申请的第1专利技术，能够防止在玻璃膜层叠体的周边部产生开口泡。由此，能够防止在抗蚀工序时抗蚀液渗透至玻璃膜与支撑体的界面中，进而，能够防止玻璃膜与支撑体的粘着，防止玻璃膜在剥离时破损。根据本申请的第2专利技术，在作为支撑体使用支撑玻璃的情况下，能够防止在玻璃膜层叠体的周边部产生开口泡。根据本申请的第3专利技术，能够从玻璃膜及支撑体的周边部将通常的成为开口泡的主要原因的异物可靠地除去。根据本申请的第4专利技术，能够缩短除去成为开口泡的主要原因的异物所需要的时间。根据本申请的第5专利技术，能够从玻璃膜及支撑体的周边部将成为开口泡的主要原因的异物可靠地除去。此外，通过将玻璃膜及支撑体的除周边部以外的部位的异物除去，能够提高玻璃膜的合格品率。根据本申请的第6专利技术，能够将产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，其是在支撑体上层叠玻璃膜而制作的玻璃膜层叠体的制造方法，其具有以下工序：对所述玻璃膜和所述支撑体的至少周边部施加超声波的超声波施加工序；将经过所述超声波施加工序的所述玻璃膜和所述支撑体进行清洗的清洗工序；以及在经过所述清洗工序的所述支撑体上层叠所述玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.16 JP 2013-2153981.一种玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，其是在支撑体上层叠
玻璃膜而制作的玻璃膜层叠体的制造方法，其具有以下工序：
对所述玻璃膜和所述支撑体的至少周边部施加超声波的超声波施加
工序；
将经过所述超声波施加工序的所述玻璃膜和所述支撑体进行清洗的
清洗工序；以及
在经过所述清洗工序的所述支撑体上层叠所述玻璃膜来制作玻璃膜
层叠体的层叠工序。
2.根据权利要求1所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，
所述支撑体为支撑玻璃。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，
在所述超声波施加工序中，使用喇叭型超声波发生器来施加超声波。
4.根据权利要求3所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，
在所述超声波施加工序中，仅对所述玻璃膜和所述支撑玻璃的所述周
边部施加超声波。
5.根据权利要求2～4中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特
征在于，其具有以下所述的超声波清洗工序：将所述玻璃膜和所述支撑玻
璃在超声波清洗槽的内部浸入液体中，利用所述超声波清洗槽，对所述玻
璃膜和所述支撑玻璃的整体进行超声波清洗。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特
征在于，其进一步具有以下所述的开口泡检查工序：检查存在于所述玻璃
膜层叠体的所述玻璃膜与所述支撑玻璃的界面中与所述玻璃膜的端边相
接的气泡即开口泡的有无。
7.根据权利要求6所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，
在所述开口泡检查工序中，进一步检查与所述玻璃膜的周边部对应的
所述玻璃膜层叠体的周边部中的除所述开口泡以外的气泡的...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻山尚利，深田睦，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP