一种蒸发源设备及系统技术方案

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源设备及系统，用以减小蒸发源设备的坩埚调试过程耗时时长，且简化了调试方案。本申请实施例中，通过在蒸发源设备中增加隔离装置，该隔离装置包含至少一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴，用于遮挡第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚，从而，实现了对蒸发源设备中至少一个坩埚进行独立调试的目的，且独立调试的时候不需要对其他坩埚进行熄灭、开启热源的处理，避免了在对蒸发源设备中坩埚进行调试时耗时时间较长的缺陷，简化了调试工艺，提升了调试效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸发源设备及系统。
技术介绍
蒸镀工艺即：在真空环境中，将材料加热并镀到基片上，或者，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。现有的蒸镀工艺一般会使用蒸发源设备，其具体结构参照图1所示，主要包括：蒸发源本体11，嵌设在蒸发源本体11内的第一主源坩埚12，与第一主源坩埚12并排设置的第二主源坩埚13，以及位于第一主源坩埚12与第二主源坩埚13之间的辅源坩埚14，第一主源坩埚12、第二主源坩埚13以及辅源坩埚14均可设置为矩形腔室，每个腔室的上方设置有多个用于喷射出经加热而蒸发的待成膜材料的喷嘴，一般情况下，每个坩埚设置的喷嘴的喷射角度相同，例如：辅源坩埚14的喷嘴141与蒸发源本体11的上表面垂直，即喷嘴141竖直设置；第一主源坩埚12上的喷嘴121与蒸发源本体11的上表面呈预设夹角，且喷嘴121向辅源坩埚14一侧倾斜，相应地，第二主源坩埚13的喷嘴131与第一主源坩埚12上的喷嘴121对称设置。考虑到喷嘴是呈束状方式喷射，为了较好的控制各个坩埚上的喷嘴喷射出的待成膜材料的沉积范围，在蒸发源本体11的边缘位置设置有用于控制喷射范围的隔离柱15，其厚度可根据实际需求进行设定，此外，在第一主源坩埚12与辅源坩埚14之间设置有第一角度控制板161，在第二主源坩埚13与辅源坩埚14之间设置有第二角度控制板162，其中，隔离柱15与第一角度控制板161、第二角度控制板162的高度可根据工艺条件进行调整，其决定了喷嘴喷射出的待成膜材料在衬底基板上的沉积范围。考虑到在进行蒸镀工艺时，蒸发源设备中的三个坩埚是同时工作的，即：坩埚下方的热源同时开启，然后第一主源坩埚以及第二主源坩埚中的主源材料与辅源坩埚中的辅源材料同时被加热，并通过各自的多个喷嘴待成膜材料喷射至衬底基板上。在每次蒸镀工艺开始之前，都需要根据预设比例对各个坩埚的热源的温度进行调试，以便于主源坩埚与辅源坩埚喷射出的待成膜材料能够均匀混合在一起，且沉积为所需混合比例的膜层。然而，由于三个坩埚的喷嘴是同时喷射，然后在基板上混合成有机膜层，因此，在对蒸发源设备的各个坩埚的热源的温度进行调试时，无法同时进行调试，必须开启一个坩埚的热源，而其他的坩埚的热源熄灭，待调试成功后再熄灭该坩埚，开启另外两个坩埚中的一个进行调试，这一热源的熄灭与开启过程就需要耗费将近24个小时，严重影响了调试的便捷性，进而影响生产的量产产能。
技术实现思路
本技术实施例提供一种蒸发源设备，用以解决现有技术中存在的蒸发源设备的坩埚调试过程耗时较长且调试方案较为繁琐的问题。本技术实施例采用以下技术方案：一种蒸发源设备，包括：蒸发源本体，第一主源坩埚，第二主源坩埚，以及辅源坩埚，设置在所述第一主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第一角度控制板，设置在所述第二主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第二角度控制板，还包括：用于遮挡第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚的隔离装置；其中，所述隔离装置包括至少一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴，所述至少一个隔离板的一端固定在所述卷轴上，且以所述卷轴为轴体卷曲在所述卷轴表面，所述至少一个隔离板沿所述卷轴延伸方向的宽度至少大于所述蒸发源设备的长度。可选地，所述卷轴通过卡簪可拆卸安装在所述蒸发源设备上。可选地，所述隔离装置包括一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴；其中，所述卷轴设置在所述第一角度控制板靠近所述辅源坩埚的一侧底端，所述隔离板的伸缩区域为所述第一角度控制板和与所述第二主源坩埚相邻的隔离柱之间；或者，所述卷轴设置在所述第二角度控制板靠近所述辅源坩埚的一侧底端，所述隔离板的伸缩区域为所述第二角度控制板和与所述第一主源坩埚相邻的隔离柱之间。可选地，所述隔离装置包括第一隔离板，第二隔离板，以及分别与所述第一隔离板、第二隔离板配套的第一卷轴、第二卷轴；其中，所述第一卷轴设置在与所述第一主源坩埚相邻的隔离柱的顶端，所述第一隔离板的伸缩区域为与所述第一主源坩埚相邻的隔离柱和所述第二角度控制板之间；所述第二卷轴设置在与所述第二主源坩埚相邻的隔离柱的顶端，所述第二隔离板的伸缩区域为与所述第二主源坩埚相邻的隔离柱和所述第一角度控制板之间。可选地，所述隔离装置包括第一隔离板，第二隔离板，以及分别与所述第一隔离板、第二隔离板配套的第一卷轴、第二卷轴；其中，所述第一卷轴设置在所述第一角度控制板靠近所述第一主源坩埚的一侧底端，所述第一隔离板的伸缩区域为与所述第一主源坩埚相邻的隔离柱和所述第一角度控制板之间；所述第二卷轴设置在与所述第二主源坩埚相邻的隔离柱的顶端，所述第二隔离板的伸缩区域为与所述第二主源坩埚相邻的隔离柱和所述第二角度控制板之间。可选地，所述隔离板的材质为金属单质或合金。可选地，所述隔离板的材质为不锈钢。可选地，所述隔离板的厚度范围为0.01mm-0.03mm。可选地，所述隔离板的另一端设置有卡折结构。一种蒸发源系统，包括所述的蒸发源设备，以及与所述蒸发源设备的隔离装置连接的控制处理设备；其中，所述控制处理设备用于根据接收到的用户指令控制所述隔离装置的卷轴自动转动以实现隔离板对蒸发源设备中第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚的遮挡。在本技术中，通过在蒸发源设备中增加隔离装置，该隔离装置至少包含一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴，用于遮挡第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚，从而，实现了对蒸发源设备中至少一个坩埚进行独立调试的目的，且独立调试的时候不需要对其他坩埚进行熄灭、开启热源的处理，避免了在对蒸发源设备中坩埚进行调试时耗时时间较长的缺陷，简化了调试工艺，提升了调试效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有的蒸镀工艺所使用的蒸发源设备的结构示意图；图2(a)为本技术提供的蒸发源设备的结构示意图；图2(b)为本技术提供的蒸发源设备的侧面结构示意图；图3(a)和图3(b)分别为本技术提供的蒸发源设备的结构示意图之一；图3(c)为本技术提供的图3(a)和图3(b)所示的蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源设备，包括：蒸发源本体，第一主源坩埚，第二主源坩埚，以及辅源坩埚，设置在所述第一主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第一角度控制板，设置在所述第二主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第二角度控制板，其特征在于，还包括：用于遮挡第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚的隔离装置；其中，所述隔离装置包括至少一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴，所述至少一个隔离板的一端固定在所述卷轴上，且以所述卷轴为轴体卷曲在所述卷轴表面，所述至少一个隔离板沿所述卷轴延伸方向的宽度至少大于所述蒸发源设备的长度。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源设备，包括：蒸发源本体，第一主源坩埚，第二主源坩埚，
以及辅源坩埚，设置在所述第一主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第一角度控制
板，设置在所述第二主源坩埚与所述辅源坩埚之间的第二角度控制板，其特征
在于，还包括：
用于遮挡第一主源坩埚、第二主源坩埚以及辅源坩埚中至少一个坩埚的隔
离装置；其中，所述隔离装置包括至少一个隔离板以及与该隔离板配套的卷轴，
所述至少一个隔离板的一端固定在所述卷轴上，且以所述卷轴为轴体卷曲在所
述卷轴表面，所述至少一个隔离板沿所述卷轴延伸方向的宽度至少大于所述蒸
发源设备的长度。
2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述卷轴通过卡簪可拆卸安
装在所述蒸发源设备上。
3.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述隔离装置包括一个
隔离板以及与该隔离板配套的卷轴；
其中，所述卷轴设置在所述第一角度控制板靠近所述辅源坩埚的一侧底
端，所述隔离板的伸缩区域为所述第一角度控制板和与所述第二主源坩埚相邻
的隔离柱之间；或者，
所述卷轴设置在所述第二角度控制板靠近所述辅源坩埚的一侧底端，所述
隔离板的伸缩区域为所述第二角度控制板和与所述第一主源坩埚相邻的隔离
柱之间。
4.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述隔离装置包括第一
隔离板，第二隔离板，以及分别与所述第一隔离板、第二隔离板配套的第一卷
轴、第二卷轴；
其中，所述第一卷轴设置在与所述第一主源坩埚相邻的隔离柱的顶端，所
述第一隔离板的伸缩区域为与所述第一主源坩埚相邻的隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海兵，张金中，刘锋，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15