隔膜泵制造技术

提供一种隔膜泵，能够有效地抑制因翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。隔膜泵(1)具有壳体(2)、活塞(3)、轴(4)、以盖部(35)与所述活塞一体地进行往复移动的方式构成的翻卷式隔膜(5)、能够将马达部(30)的旋转运动变换为直线运动并从输出轴(31)输出至所述轴的驱动装置、引导构件(7)、限制机构(8)。所述引导构件配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在所述壳体内，并且能够引导所述轴在轴心方向上移动。所述限制构件在所述壳体(2)内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有翻卷式隔膜(rollingdiaphragm)的隔膜泵。
技术介绍
以往，在半导体、液晶、有机EL、太阳能电池、LED的制造过程等中，作为为了进行药液等液体的供给所使用的隔膜泵，已知具有例如专利文献1所述的隔膜泵。这种隔膜泵具有：缸体(壳体)；活塞，容纳在所述缸体内并能够在其轴心方向上进行往复移动；翻卷式隔膜，根据所述活塞的往复移动来进行动作；线性致动器(驱动装置)，具有马达部以及由螺纹轴组成的输出轴，该螺纹轴与所述活塞连接，以起到活塞杆的作用。所述线性致动器构成为，安装在所述缸体上，能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动并从所述输出轴输出至所述活塞，以使所述活塞在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴与所述活塞同轴配置且以螺纹结合的方式连接，从而能够与该活塞一体地在轴心方向上进行往复移动。然而，在所述隔膜泵中，所述线性致动器的输出轴在从该线性致动器的主体中的面对缸体内的相对面插入所述缸体内后到与所述活塞螺纹连接为止的期间，没有被任何构件支撑，也没被引导在轴心方向上进行往复移动。所述输出轴只不过是架设在所述线性致动器的主体与所述活塞之间。因此，在所述活塞伴随着所述输出轴的输出而进行往复移动时，该活塞在缸体的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向上)上晃动而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形等，从而该翻卷式隔膜可能无法正常动作(变形)。即，存在损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性的情况。此外，在所述隔膜泵中，在与所述线性致动器的输出轴螺纹结合的所述活塞与所述缸体之间，具有允许所述活塞进行往复移动且限制旋转的如下面那样的止转单元，因此，所述活塞进一步晃动，从而容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。即，所述止转单元由长孔和卡合销构成，该长孔沿着轴心方向形成在所述缸体的侧壁上，该卡合销以能够通过该长孔的方式从所述活塞的外周面向径向突出。并且，所述卡合销以突出端部位于所述缸体的外部的方式通过所述长孔，从而能够一边被该长孔引导，一边与所述活塞一体地进行往复移动。因此，在所述止转单元中，所述卡合销与所述长孔的嵌合会变松。因此，在所述活塞进行往复移动时，从所述输出轴接受输入旋转的所述活塞在所述缸体的周向上晃动，从而使所述翻卷式隔膜产生扭曲或变形，因此，该翻卷式隔膜可能不会正常动作(变形)。其结果，容易损害所述隔膜泵的液体输送量的定量性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-23935号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术鉴于这样的问题而提出，其目的在于，提供一种隔膜泵，能够有效地抑制因翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。用于解决问题的手段技术方案1的专利技术为一种隔膜泵，其中，具有：壳体，活塞，设置在所述壳体内并与该壳体同轴配置，且能够在所述壳体的轴心方向上进行往复移动，轴，在轴心方向的一端侧与所述活塞连接的状态下进行与所述活塞进行连动，翻卷式隔膜，具有配置在所述活塞的轴心方向的一侧的盖部、安装在所述壳体上的开放端部、以及配置在所述盖部与所述开放端部之间的折返部，相对于被所述壳体固定位置的所述开放端部，所述盖部能够与所述活塞一体地进行往复移动，泵室，通过所述翻卷式隔膜划分形成在所述壳体内的所述翻卷式隔膜的轴心方向的一侧，并且能够变更室内的容积，驱动装置，具有马达部和与所述轴同轴配置且与所述轴的轴心方向的另一端侧连接的输出轴，并且该驱动装置安装在所述壳体的轴心方向的另一侧，该驱动装置能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴输出至所述轴，以经由所述轴使所述活塞在轴心方向上进行往复移动，引导构件，配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在所述壳体内，能够引导所述轴在轴心方向上移动，限制机构，在所述壳体内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心进行旋转。根据该结构，能够一边通过所述引导构件引导所述轴，一边使所述轴进行往复移动。因此，在所述轴进行往复移动时，所述轴以及与其连动的所述活塞在所述壳体的径向(与轴心方向垂直或交叉的方向)上难以晃动，从而使所述翻卷式隔膜不会扭曲或变形，因此，容易使所述翻卷式隔膜正常动作(变形)。由此，能够有效地抑制因所述翻卷式隔膜的动作所引起的液体输送量的定量性的降低。技术方案2的专利技术在技术方案1所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构由滚珠花键构成，该滚珠花键具有：花键轴，由所述轴组成；筒状构件，固定在所述引导构件上，将所述花键轴支撑为不能相对旋转，并且能够引导所述花键轴在轴心方向上进行滑动。根据该结构，在所述轴进行往复移动时，能够使所述轴以及所述活塞在所述壳体的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。技术方案3的专利技术，在技术方案2所述的隔膜泵的基础上，该隔膜泵具有连接构件，该连接构件构成为，通过夹持所述轴的轴心方向的另一端部且夹持所述输出轴的轴心方向的一端部来连接所述轴与所述输出轴。根据该结构，能够容易地进行所述轴与所述驱动装置的输出轴的组装和分离。因此，能够实现所述隔膜泵的维护的简便化。技术方案4的专利技术，在技术方案1～3中任一项所述的隔膜泵的基础上，所述活塞具有在所述翻卷式隔膜的盖部侧进行开口的凹部，所述翻卷式隔膜具有能够与所述凹部嵌合的突部，所述翻卷式隔膜在使该突部与所述活塞的凹部嵌合的状态下，安装在所述活塞上。根据该结构，在所述隔膜泵的吸入工序等中向所述泵室内的液体施加冲击的情况下，能够使所述翻卷式隔膜相对于所述活塞难以变形。另外，能够利用所述突部与所述凹部的嵌合来进行所述翻卷式隔膜与所述活塞的对心，从而能够更加有效地抑制流体输送量的定量性的降低。技术方案5的专利技术，在技术方案1所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构设置在所述壳体内的所述引导构件的轴心方向的另一侧。技术方案6的专利技术，在技术方案5所述的隔膜泵的基础上，所述限制机构由直线运动引导部构成，该直线运动引导部具有：轨道状的引导构件，设置在所述壳体内并在所述壳体的轴心方向上延伸；滑动构件，固定在所述轴上且安装在所述引导构件上，能够相对于该引导构件进行移动。根据该结构，在所述轴进行往复移动时，能够使所述轴以及所述活塞在所述壳体的径向上更加难以晃动。由此，能够更加有效地抑制液体输送量的定量性的降低。技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔膜泵，其特征在于，具有：壳体，活塞，设置在所述壳体内并与该壳体同轴配置，且能够在所述壳体的轴心方向上进行往复移动，轴，在该轴的轴心方向的一端侧与所述活塞连接的状态下与所述活塞进行连动，翻卷式隔膜，具有配置在所述活塞的轴心方向的一侧的盖部、安装在所述壳体上的开放端部、以及配置在所述盖部与所述开放端部之间的折返部，相对于被所述壳体固定位置的所述开放端部，所述盖部能够与所述活塞一体地进行往复移动，泵室，通过所述翻卷式隔膜划分形成在所述壳体内的所述翻卷式隔膜的轴心方向的一侧，并且能够变更室内的容积，驱动装置，具有马达部和与所述轴同轴配置且与所述轴的轴心方向的另一端侧连接的输出轴，并且该驱动装置安装在所述壳体的轴心方向的另一侧，该驱动装置能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动，并从所述输出轴输出至所述轴，以经由所述轴使所述活塞在轴心方向上进行往复移动，引导构件，配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在所述壳体内，能够引导所述轴在轴心方向上移动，限制机构，在所述壳体内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心进行旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.20 JP 2013-240115;2013.11.20 JP 2013-240111.一种隔膜泵，其特征在于，
具有：
壳体，
活塞，设置在所述壳体内并与该壳体同轴配置，且能够在所述壳体的轴
心方向上进行往复移动，
轴，在该轴的轴心方向的一端侧与所述活塞连接的状态下与所述活塞进
行连动，
翻卷式隔膜，具有配置在所述活塞的轴心方向的一侧的盖部、安装在所
述壳体上的开放端部、以及配置在所述盖部与所述开放端部之间的折返部，
相对于被所述壳体固定位置的所述开放端部，所述盖部能够与所述活塞一体
地进行往复移动，
泵室，通过所述翻卷式隔膜划分形成在所述壳体内的所述翻卷式隔膜的
轴心方向的一侧，并且能够变更室内的容积，
驱动装置，具有马达部和与所述轴同轴配置且与所述轴的轴心方向的另
一端侧连接的输出轴，并且该驱动装置安装在所述壳体的轴心方向的另一
侧，该驱动装置能够将所述马达部的旋转运动变换为直线运动，并从所述输
出轴输出至所述轴，以经由所述轴使所述活塞在轴心方向上进行往复移动，
引导构件，配置在所述壳体内的所述活塞的轴心方向的另一侧且安装在
所述壳体内，能够引导所述轴在轴心方向上移动，
限制机构，在所述壳体内设置在所述引导构件与所述轴之间，能够允许
所述轴在轴心方向上进行往复移动，并能够限制所述轴围绕轴心进行旋转。
2.如权利要求1所述的隔膜泵，其特征在于，
所述限制机构由滚珠花键构成，该滚珠花键具有：花键轴，由所述轴组
成；筒状构件，固定在所述引导构件上，将所述花键轴支撑为不能相对旋转，
并且能够引导所述花键轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：手岛一清，成尾元彰，
申请(专利权)人：日本皮拉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP