【技术实现步骤摘要】
201610298186
【技术保护点】
一种多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，该多功能显微共焦光谱仪包括激光器模块、光路耦合与输出主模块、照明观测模块、显微模块和信号检测模块；其中，该光路耦合与输出主模块、照明观测模块二者共用同一基座，激光器模块固定在该基座后侧面，显微模块固定在该基座前侧面，信号检测模块固定在该基座的右侧面。
【技术特征摘要】
2016.03.08 CN 20162017589801.一种多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，该多功能显微共焦光
谱仪包括激光器模块、光路耦合与输出主模块、照明观测模块、显微模块
和信号检测模块；其中，该光路耦合与输出主模块、照明观测模块二者共
用同一基座，激光器模块固定在该基座后侧面，显微模块固定在该基座前
侧面，信号检测模块固定在该基座的右侧面。
2.根据权利要求1所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，
该激光器模块至少包括一个激光器LS1和提升器SM1；
该光路耦合与输出主模块包括光学滤光片OFT、至少3个反射镜M1、
M2及M5，至少一个汇聚透镜LNS1，以及至少一个输出窗W1；
该照明观测模块包括广谱光源WL，第一分束器BS1，第二分束器BS2，
第四汇聚透镜LNS4，照相机CMR和反射镜M45；
该显微模块包括显微物镜OBJ及其调焦装置；
该信号检测模块包括光栅光谱仪GSPY及其控制系统；
其中，固定在基座后侧面的激光器模块中的激光器LS1出射的激光先
经提升器SM1进行提升并进入光路耦合与输出主模块，提升后的激光入
射到光路耦合与输出主模块中的反射镜M1上，经由反射镜M1再反射到
反射镜M2上，经由反射镜M2反射的激光入射到光学滤光片OFT上；
激光经光学滤光片OFT反射后水平入射至照明观测模块中与水平面
呈45度倾斜放置的反射镜M45，经反射镜M45反射后竖直向下入射至显
微模块，经显微模块的显微物镜OBJ聚焦照射到样品SMP上；
显微物镜OBJ收集来自样品SMP的竖直向上的激光反射光和散射信
号光，经反射镜M45反射后水平入射到光学滤光片OFT；光学滤光片OFT
将激光反射光滤除并衰减到只有原来的1/106至1/1012，而使得绝大部分的
散射信号光透过光学滤光片OFT后入射至反射镜M5；
反射镜M5将透过该光学滤光片OFT的散射信号光反射后穿过小孔
HL，照射到汇聚透镜LNS1上，经由汇聚透镜LNS1汇聚的散射信号光穿
过输出窗W1；从输出窗W1输出的散射信号光输入到信号检测模块进行
共焦信号检测。
3.根据权利要求2所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，在
激光器模块中，激光器LS1为小型激光器，被固定于光路耦合与输出主模
块基座的后侧面，与前侧面显微物镜在同一基座上，保持了光路的稳定性
和操作的便利性。
4.根据权利要求3所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，所
述小型激光器为氦氖激光器或小型固态泵浦激光器。
5.根据权利要求2所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，在
光路耦合与输出主模块中，反射镜M2放置于竖直二维角度调节架上，而
该竖直二维角度调节架又放置于二维平移台上；调节二维平移台可使激光
入射到反射镜M2上的不同位置，而竖直二维角度调节架用来调节反射镜
M2方向使其将激光反射到光学滤光片OFT的中心。
6.根据权利要求2所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，在
光路耦合与输出主模块中，光学滤光片OFT固定在一个竖直二维角度调
节架上；竖直二维角度调节架可插拔地置于一个固定在基座上的支柱上；
当更换同一激光器的不同波长时，将固定有相应光学滤光片OFT的竖直
二维角度调节架更换到该支柱上；调节竖直二维角度调节架的螺纹，可使
激光入射到显微模块的显微镜物镜OBJ；通过该竖直二维角度调节架与在
反射镜M2之前光路上的其它配备有反射镜的竖直二维角度调节架联合使
用，可使激光准直入射到显微模块的显微镜物镜OBJ，并聚焦到样品SMP
上，以产生备检测的样品散射信号光。
7.根据权利要求6所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，该
光学滤光片OFT为陷波拉曼滤光片、边带拉曼滤光片、高通滤光片或低
通滤光片。
8.根据权利要求2所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，在
光路耦合与输出主模块中，小孔HL固定在一隔板上且其大小可调，该隔
板将光路耦合与输出主模块分隔为左右两室以隔离激光杂散光。
9.根据权利要求2所述的多功能显微共焦光谱仪，其特征在于，在
光路耦合与输出主模块中，汇聚透镜LNS1放置于三维平移调节架上，通
过...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭平恒，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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