电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法技术
【技术实现步骤摘要】
所属领域本专利技术属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。现有技术珐珀滤波器是多光束干涉原理的一个重要应用实例，于1897年由法国物理学家C.Fabry和A.Perot提出，基本结构是平行放置两块玻璃板，中间形成一个腔体，在腔体两侧的玻璃板表面上镀增反膜。通过驱动镜面的移动调整腔长，当腔长为入射波半波长的整数倍时，光波可形成稳定振荡，产生多光束干涉，输出等间隔梳状波形，因此，调节腔长即可输出所需波段的光波。利用新兴的微机电系统(MEMS)技术可以实现珐珀滤波器的微型化与集成化，具有良好的应用前景。早在1997年，J.Peerlings等人就报道了一种基于MEMS技术的热驱动GaAs-AlAs珐珀滤波器(IEEEPhoton.Technol.Lett,vol.9,pp.1235-1237,1997)，其实现方式是通过热电阻加热驱动梁产生的热膨胀改变腔体长度，停止加热后热膨胀消失，腔体长度即恢复到原来大小；然而热驱动需要较长...
【技术保护点】
电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6；所述第一可动镜面支撑2与第二可动镜面支撑4之间的间距通过第一间隔层3控制，第二可动镜面支撑4与盖板7之间的间距通过第二间隔层5控制；所述的第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4均分别包括中间的工作镜面及四周的框架，所述第一可动镜面支撑2的中间工作镜面通过第一支撑梁18与所述四周框架连接，所述第二可动镜面支撑4的中间工作镜面通过第二支撑梁19与所述四周框架连接；所述第一可动镜...
【技术特征摘要】
1.电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括箱体1、盖板7以及容纳
于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射
镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6；
所述第一可动镜面支撑2与第二可动镜面支撑4之间的间距通过第一间隔层3控制，第
二可动镜面支撑4与盖板7之间的间距通过第二间隔层5控制；
所述的第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4均分别包括中间的工作镜面及四周
的框架，所述第一可动镜面支撑2的中间工作镜面通过第一支撑梁18与所述四周框架连接，
所述第二可动镜面支撑4的中间工作镜面通过第二支撑梁19与所述四周框架连接；
所述第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的中间工作镜面上分别有第一薄膜支
撑12和第二薄膜支撑10，第一反射镜13制作在第一薄膜支撑12上，第二反射镜11制作在第
二薄膜支撑10上；
所述第一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的四周框架外周均固定在箱体1上，第
一可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4的四周框架上分别有制作有第一多层线圈16的第
一PCB多层板17，和制作有第二多层线圈6的第二PCB多层板20；所述第一多层线圈16和第二
多层线圈6均由并联的多个子多层线圈组成，两者的多个子多层线圈位置精确对应；且所述
的第一多层线圈16上多个子多层线圈的电流方向一致，第二多层线圈6上多个子多层线圈
的电流方向一致；
所述盖板7、第二可动镜面支撑4、第一可动镜面支撑2、箱体1上相应位置分别有盖板通
光孔8、第二可动镜面支撑通光孔9、第一可动镜面支撑通光孔14、箱体通光孔15。
2.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述第一支
撑梁18和第二支撑梁19形式为直梁、蟹臂梁、折叠梁中的一种。
3.如权利要求1所述的电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的第一
可动镜面支撑2和第二可动镜面支撑4材料为FR-4或CEM-3，通过粘接工艺或者螺钉连接，与
箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：虞益挺，李浩勇，朱全发，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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