微机械结构的检测方法、微机电组件及其微检测结构技术

一种微机械结构的检测方法，适用于取得一微机械结构所使用的一薄膜层的机械性质，其中该微机械结构具有一基材，其特征在于该微机械结构的检测方法包括下列步骤：　　　　形成一微检测结构于该基材上，且该微检测结构的一欲检测部分是由该薄膜层所构成；　　　　振动该欲检测部分；　　　　　测量出该欲检测部分的共振频率；以及　　　　经由该欲检测部分的几何尺寸、密度及共振频率，而推导出该欲检测部分的机械性质，以取得该薄膜层的机械性质。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡欣昌，方维伦，
申请(专利权)人：台达电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：