一种用于圆片真空封装的夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在第一连杆的另一端固定第一压片，第一弹簧的两端分别接在第一主动杆的另一端及支座上，第一主动杆通过第一销轴接在支座上，第一从动杆的另一端通过第二销轴接在支座上，支座与托盘相固定。本发明专利技术定位精度高；采用平行四杆机构实现双稳态，使定位和夹紧更加合理，不易损坏ＭＥＭＳ器件；操作简单，既可实现自动化操作，也可手动操作；适用于真空环境下的ＭＥＭＳ器件的阳极键合、共晶键合等定位精度要求高的场合。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于圆片真空封装的夹具，其特征在于：在托盘（２）上开有定位孔（３），在托盘（２）上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置的结构是，第一连杆（５）通过第四销轴（６）与第一从动杆（７）的一端连接，第一连杆（５）的一端通过第三销轴（８） 与第一主动杆（９）的一端连接，在第一连杆（５）的另一端固定第一压片（４），第一弹簧（１０）的两端分别接在第一主动杆（９）的另一端及支座（１）上，第一主动杆（９）通过第一销轴（１８）连接在支座（１）上，第一从动杆（７）的另一端通过第二销轴（１９）连接在支座（１）上，支座（１）与托盘（２）相固定；第二连杆（１６）通过第六销轴（１５）与第二从动杆（１４）的一端连接，第二连杆（１６）的一端通过第五销轴（１３）与第二主动杆（１２）的一端连接，在第二连杆（１６）的另一端固定第二压片（１７），第二弹簧１１的两端分别接在第二主动杆（１２）的另一端及支座（１）上，在第二主动杆（１２）的另一端与支座（１）之间接有第二弹簧（１１），第二主动杆（１２）通过第一销轴（１８）连接在支座（１）上，第二从动杆（１４）的另一端通过第二销轴（１９）连接在支座（１）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜，汪学方，甘志银，张鸿海，关荣锋，林栋，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]