一种内嵌式触控面板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种内嵌式触控面板的制造方法，包括：形成第一金属层于基板；形成非晶硅层于第一金属层的上方；形成第二金属层于非晶硅层的上方；形成第一绝缘层；形成平坦层于第一绝缘层的上方；形成第三金属层于平坦层的上方；形成第二绝缘层于第三金属层的上方；形成第一导电层于第二绝缘层的上方；形成第三绝缘层于第一导电层的上方；以及形成第二导电层于第三绝缘层的上方。第一过孔由依次蚀刻第三、第二及第一绝缘层形成，第二过孔由依次蚀刻第三和第二绝缘层形成，第一过孔与第二过孔形成于同一蚀刻制程。相比于现有技术，本发明专利技术的内嵌式触控面板的第一过孔与第二过孔形成于同一蚀刻制程，这样可以减少光蚀刻工艺的数量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种触控面板，尤其涉及一种内嵌式(in-cell)触控面板的制造方法。
技术介绍
在现有技术中，薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-LCD)包括下基板、形成于下基板上的薄膜晶体管、与下基板相对设置的上基板、形成于上基板上的彩色滤光层(诸如红色滤光片、绿色滤光片和蓝色滤光片)、以及密封于上下两基板间的空隙的液晶层。薄膜晶体管的作用相当于一个开关管。一般来说，首先在玻璃基板上制作半导体层，该半导体层的两端有与之相连接的源极(Source)和漏极(Drain)，然后通过栅极绝缘层和半导体层相对设置有栅极(Gate)，从而利用施加于栅极的电压来控制源极和漏极之间的电流大小。另一方面，当今市场上的触控面板可分为外挂式(on-cell)和内嵌式(in-cell)两种:外挂式是将触控感测器制作于彩色滤光片的表面，将触控感应器加上玻璃做成触控面板模组，然后再与薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板模组贴合。内嵌式是将触控感测器制作于面板结构中，直接把触控感应器置于薄膜晶体管液晶显示器面板模组中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种内嵌式触控面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：形成一第一金属层于一基板上，该第一金属层经蚀刻用以定义薄膜晶体管的栅极；形成非晶硅层于所述第一金属层的上方且与栅极正对设置；形成一第二金属层于所述非晶硅层的上方，该第二金属层经蚀刻用以定义该薄膜晶体管的源极和漏极；形成一第一绝缘层以覆盖该源极和该漏极；形成一平坦层于所述第一绝缘层的上方；形成一第三金属层于该平坦层的上方；形成一第二绝缘层于所述第三金属层的上方；形成一第一导电层于所述第二绝缘层的上方；形成一第三绝缘层于所述第一导电层的上方；以及形成一第二导电层于所述第三绝缘层的上方，其中，所述内嵌式触控面板还包括一第一过孔和一第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林敬舜，丘兆仟，黄国有，徐文义，黄德群，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71