样本的缺陷检测及光致发光测量将斜照明波长光束引导到所述样本的一部分上；将用于引起所述样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光的法线照明波长光束引导到所述样本的一部分上；收集来自所述样本的缺陷散射辐射或光致发光辐射；将来自所述样本的所述辐射分离成可见光谱中的辐射的第一部分、包含所述法线照明波长光的辐射的第二部分及包含所述斜照明波长光的辐射的至少第三部分；测量所述辐射的第一部分、所述辐射的第二部分或所述辐射的第三部分的一或多个特性；基于所述辐射的第一部分、所述辐射的第二部分或所述辐射的第三部分的所述经测量的一或多个特性来检测一或多个光致发光缺陷或一或多个散射缺陷。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】 相关申请案的交叉参考本申请案涉及且主张来自以下列出的申请案(“相关申请案”)的最早可用有效申请日期的权益(举例来说，主张除临时专利申请案以外的最早可用优先权日期或根据35USC§119(e)主张对于临时专利申请案、对于相关申请案的任何及全部上一代(parent)、上两代(grandparents)、上三代(great-grandparents)等等申请案的权益)。相关申请案:出于USPT0非法定要求的目的，本申请案构成2013年6月26日申请的命名罗曼.萨珮(ROMAIN SAPPEY)为专利技术者的题为“光致发光及缺陷检查系统及方法(PHOTOLUMINESCENCE AND DEFECT INSPECT1N SYSTEMS AND METHODS)” 的申请序列号为61/839，494的美国临时专利申请案的正式(非临时)专利申请案。
本专利技术大体上涉及缺陷的检测及分类，且更特定来说，本专利技术涉及光致发光缺陷及散射缺陷的检测及分类。
技术介绍
随着对于不断缩小的半导体装置的需求持续增加，因此对于用于缺陷识别及分类的经改进检查工具的需求也将增加。影响所制造装置的品质的缺陷可包含(举例来说)堆垛层错缺陷及基面位错(basal plane dislocat1n)缺陷。堆垛层错缺陷及基面位错在当使用紫外光刺激时显示弱光致发光符号。当前检查工具并不能有效地测量光致发光缺陷连同散射类型缺陷。因而，期望提供用以消除先前技术的缺陷的经改进方法及系统。
技术实现思路
揭示一种用于样本的缺陷检测及光致发光测量的系统。在一个方面中，所述遮罩可包含(但不限于):斜入射辐射源，其经配置以沿着相对于样本的表面倾斜的方向将斜照明波长的光束引导到样本的一部分上;法线入射辐射源，其经配置以沿着实质上垂直于样本的表面的方向将不同于斜照明波长的法线照明波长的光束引导到样本的一部分上，其中所述法线照明波长的光束适于引起样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光;样本台组合件，其经配置以紧固样本且选择性致动样本以便使用至少斜入射辐射源及法线入射辐射源执行扫描过程;一组收集光学器件，其经配置以收集来自样本的辐射，来自样本的辐射包含由样本的一或多个缺陷弹性散射的辐射或由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光致发光辐射中的至少一者;滤波器子系统，其经配置以接收由所述组收集光学器件收集的辐射的至少一部分，其中所述滤波器子系统经配置以将来自样本的辐射分离成包含与由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光相关联的可见光谱或近红外光谱中的一或多个波长的辐射的第一部分、包含法线照明波长的辐射的第二部分、及包含斜照明波长的辐射的至少第三部分;检测子系统，其包含用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第一部分的一或多个特性的第一传感器、用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第二部分的一或多个特性的第二传感器及用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第三部分的一或多个特性的至少第三传感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一传感器、第二传感器及第三传感器，所述控制器经配置以:基于由第二传感器及第三传感器测量的一或多个特性中的至少一者来检测一或多个散射缺陷；以及基于由第一传感器测量的一或多个特性、由第二传感器测量的一或多个特性及由第三传感器测量的一或多个特性中的至少一者来检测一或多个光致发光缺陷。在另一方面中，所述系统包含(但不限于):斜入射辐射源，其经配置以沿着相对于样本的表面倾斜的方向将斜照明波长的光束引导到样本的一部分上;法线入射辐射源，其经配置以沿着实质上垂直于样本的表面的方向将不同于斜照明波长的法线照明波长的光束引导到样本的一部分上，其中所述法线照明波长的光束适于引起样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光;样本台组合件，其经配置以紧固样本且选择性致动样本以便使用至少斜入射辐射源及法线入射辐射源执行扫描过程;一组收集光学器件，其经配置以收集来自样本的辐射，来自样本的辐射包含由样本的一或多个缺陷弹性散射的辐射或由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光致发光辐射中的至少一者;滤波器子系统，其经配置以接收由所述组收集光学器件收集的辐射的至少一部分，其中所述滤波器子系统经配置以将来自样本的辐射分离成包含与由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光相关联的可见光谱或近红外光谱中的一或多个波长的辐射的第一部分、包含法线照明波长的辐射的第二部分、包含斜照明波长的辐射的第三部分、及包含与由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光致发光的光相关联的紫外光谱中的一或多个波长的辐射的至少第四部分;检测子系统，其包含用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第一部分的一或多个特性的第一传感器、用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第二部分的一或多个特性的第二传感器、用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第三部分的一或多个特性的第三传感器、及用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第四部分的一或多个特性的至少第四传感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一传感器、第二传感器及第三传感器，所述控制器经配置以:基于由第二传感器及第三传感器中的至少一者测量的光来检测一或多个散射缺陷；以及通过将在样本的不存在光致发光缺陷的区域中来自第一传感器、第二传感器、第三传感器及第四传感器中的至少一者的信号与从样本的经测量区域获取的来自第一传感器、第二传感器、第三传感器及第四传感器中的至少一者的信号进行比较，基于由第一传感器、第二传感器、第三传感器及第四传感器中的至少一者检测的光来检测一或多个光致发光缺陷。在另一方面中，所述系统包含(但不限于):法线入射辐射源，其经配置以沿着实质上垂直于样本的表面的方向将法线照明波长的光束引导到样本的一部分上，其中所述法线照明波长的光束适于引起样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光;样本台组合件，其经配置以紧固样本且选择性致动样本以便使用至少斜入射辐射源及法线入射辐射源执行扫描过程;一组收集光学器件，其经配置以收集来自样本的辐射，来自样本的辐射包含由样本的一或多个缺陷弹性散射的辐射或由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光致发光辐射中的至少一者;滤波器子系统，其经配置以接收由所述组收集光学器件收集的辐射的至少一部分，其中所述滤波器子系统经配置以将来自样本的辐射分离成包含与由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光相关联的可见光谱或近红外光谱中的一或多个波长的辐射的第一部分、包含法线照明波长的辐射的第二部分、及包含与由样本的一或多个光致发光缺陷发射的光相关联的紫外光谱中的一或多个波长的辐射的至少第三部分;检测子系统，其包含用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第一部分的一或多个特性的第一传感器、用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第二部分的一或多个特性的第二传感器、及用于测量由滤波器子系统传输的辐射的第三部分的一或多个特性的至少第三传感器；以及控制器，其以通信方式耦合到第一传感器、第二传感器及第三传感器，所述控制器经配置以:基于由第二传感器测量的光来检测一或多个散射缺陷;及通过将在样本的不存在光致发光缺陷的区域中来自第一传感器及第三传感器中的至少一者的信号与从样本的经测量区域获取的来自第一传感器及第三传感器中的至少一者的信号进行比较，基于由第一传感器及第三传感器中的至少一者检测的光来检测一或多个光致发光缺陷。在另一方面中本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于样本的缺陷检测及光致发光测量的系统，其包括：斜入射辐射源，其经配置以沿着相对于所述样本的表面倾斜的方向将斜照明波长的光束引导到所述样本的一部分上；法线入射辐射源，其经配置以沿着实质上垂直于所述样本的所述表面的方向将不同于所述斜照明波长的法线照明波长的光束引导到所述样本的一部分上，其中所述法线照明波长的所述光束适于引起所述样本的一或多个光致发光缺陷发射光致发光的光；样本台组合件，其经配置以紧固所述样本且选择性致动所述样本以便使用至少所述斜入射辐射源及所述法线入射辐射源执行扫描过程；一组收集光学器件，其经配置以收集来自所述样本的辐射，来自所述样本的所述辐射包含由所述样本的一或多个缺陷弹性散射的辐射或由所述样本的所述一或多个光致发光缺陷发射的光致发光辐射中的至少一者；滤波器子系统，其经配置以接收由所述组收集光学器件收集的所述辐射的至少一部分，其中所述滤波器子系统经配置以将来自所述样本的所述辐射分离成包含与由所述样本的所述一或多个光致发光缺陷发射的所述光相关联的可见光谱或近红外光谱中的一或多个波长的辐射的第一部分、包含所述法线照明波长的辐射的第二部分及包含所述斜照明波长的辐射的至少第三部分；检测子系统，其包含用于测量由所述滤波器子系统传输的所述辐射的第一部分的一或多个特性的第一传感器、用于测量由所述滤波器子系统传输的所述辐射的第二部分的一或多个特性的第二传感器、及用于测量由所述滤波器子系统传输的所述辐射的第三部分的一或多个特性的至少第三传感器；以及控制器，其以通信方式耦合到所述第一传感器、所述第二传感器及所述第三传感器，所述控制器经配置以：基于由所述第二传感器及所述第三传感器测量的所述一或多个特性中的至少一者检测一或多个散射缺陷；以及基于由所述第一传感器测量的所述一或多个特性、由所述第二传感器测量的所述一或多个特性及由所述第三传感器测量的所述一或多个特性中的至少一者检测一或多个光致发光缺陷。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·萨佩，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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