多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器制造技术

多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有技术光束质量差。本发明专利技术其特征在于，在两个阶梯热沉的每个台阶上均安装有一个单管半导体激光器，并且，在两个阶梯热沉高度相同台阶上的一对单管半导体激光器发光方向相对且光轴重合，在每对单管半导体激光器之间光路的中间都安置有一个分光镜，分光镜镜面与单管半导体激光器输出光光轴呈45°角，各对单管半导体激光器的光轴彼此平行；每对单管半导体激光器波长相同，各对单管半导体激光器波长相同或者不同；两个阶梯热沉的各个台阶的阶高相同，并且，在该阶高下，上下相邻台阶上的单管半导体激光器的输出光边缘交叠；在各个分光镜同一方向反射光一侧设置共用反射腔镜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器，属于半导体激光器

技术介绍
随着半导体激光器技术的发展，单管半导体激光器的输出功率不断提高，例如，100微米条宽单管输出功率达24.6瓦，并且连续工作寿命长达数万小时。为了进一步大幅提高半导体激光器的输出功率，诞生了多单管合束技术，例如，1厘米bar激光阵列连续输出功率已超过千瓦。现有技术以多单管合束方式提高半导体激光器输出功率，该方式将多个单管半导体激光器在空间上简单拼合，形成一维或者三维阵列，实现多束激光的空间合束，遗憾的是，该方案在提高功率的同时，却牺牲了光束质量，如输出光的单色性、模式以及光斑光强分布(功率密度、分布均匀度)等不尽如人意，难以满足工业、军事、科研等领域的特别要求。另外，参与合束的单管数量不能过多，波长也应该相同。
技术实现思路
为了在提高多单管合束半导体激光器输出功率的同时，提高光束质量，实现更多的、波长相同或者不同的单管半导体激光器的合束，我们专利技术了一种多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器。在本专利技术之多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器中，配备有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多对具有各自分光镜阶梯排布单管合束半导体激光器，配备有快慢轴准直镜的每个单管半导体激光器(1)均固定在热沉上，其特征在于，所述热沉为两个相同的阶梯热沉(2)，在两个阶梯热沉(2)的每个台阶上均安装有一个单管半导体激光器(1)，并且，在两个阶梯热沉(2)高度相同台阶上的一对单管半导体激光器(1)发光方向相对且光轴重合，在每对单管半导体激光器(1)之间光路的中间都安置有一个分光镜(3)，分光镜(3)镜面与单管半导体激光器(1)输出光光轴呈45°角，分光镜(3)镜面与阶梯热沉(2)台阶平面垂直，各对单管半导体激光器(1)的光轴彼此平行；每对单管半导体激光器(1)波长相同，各对单管半导体激光器(1...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邹永刚，田锟，赵鑫，海一娜，马晓辉，徐莉，李洋，金亮，魏志鹏，王海珠，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22