气流产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种气流产生装置。在绝缘性基体(21)上形成有多根线状电极(22)、第1外部电极(23F)、第2外部电极(23A)以及第3外部电极(23B)，表面由电介质膜(24)覆盖。第1外部电极(23F)与多根线状电极(22)中的1根线状电极(EF)连接。第2外部电极(23A)与多根线状电极(22)中的、远离线状电极(EF)的顺序下的第奇数根的线状电极连接。第3外部电极(23B)与多根线状电极(22)中的、远离线状电极(EF)的顺序下的第偶数根的线状电极连接。周期性脉冲电源(1)对第1外部电极(23F)施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压(VF)，并且分别对第2外部电极(23A)以及第3外部电极(23B)以每一规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压(V1、V2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气流产生装置
本专利技术涉及通过对电极的电压施加来使气流产生的气流产生装置。
技术介绍
在专利文献1中示出了通过对平行排列的多根线状电极施加周期性脉冲电压来使气流产生的装置。参照图13以及图14对专利文献1示出的气流产生装置的结构例进行说明。图13的(A)是表示多根线状电极和对多根线状电极施加电压的电源的结构的图，图13的(B)是图13的(A)中的绝缘性基体的剖面图。图14是从图13的(A)所示的周期性脉冲电源40输出的电压波形图。如图13的(A)、(B)所示，多根线状电极52平行且按恒定间隔地排列形成于绝缘性基体51的上表面。周期性脉冲电源40输出4相的脉冲电压V1～V4。线状电极52按其排列顺序每4根通用连接并且分别与周期性脉冲电源40连接。在绝缘性基体51的表面的整个面形成有电介质膜54以便覆盖线状电极52。图14所示的4个波形是从图13的(A)所示的周期性脉冲电源40输出的4相的脉冲电压波形。对于各相的驱动电压而言，夹着0V的区间反复产生+V伏特的区间。相邻的相逐一偏移1/4周期。像这样，4相的脉冲电压的时间波形被各个作为持续恒定时间的阶跃脉冲而依次循环地输出。专利文献1：日本特开2011-26096号公报在图13所示的气流产生装置中，线状电极52按其排列顺序每4根通用连接并与4组引出电极53分别连接。为了实现该结构，在线状电极52或者引出电极53的中途的多个位置产生布线的交叉部。因此，例如使用将线状电极52和引出电极53的形成层分离并设置有层间连接导体(通孔导体)的多层基板，或者使用用绝缘体覆盖而成的导线，且必须使之立体交叉。即，不能用单层的电极图案构成线状电极以及引出电极。其结果是，存在制造成本增加的课题。此外，上述气流产生装置为了使气流沿一方向产生而需要相数n为3以上，但上述课题在相数为4以外的情况下也相同地产生。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能够用单层的电极图案构成线状电极以及引出电极的气流产生装置。本专利技术的气流产生装置如以下那样构成。(1)本专利技术的气流产生装置的特征在于，具备：绝缘性基体；多根线状电极，被排列在上述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖；第1外部电极，与上述多根线状电极中的1根线状电极连接；第2外部电极以及第3外部电极，上述第2外部电极与上述多根线状电极中的、远离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，上述第3外部电极与上述多根线状电极中的、远离连接于上述第1外部电极的线状电极的顺序下的第偶数根的线状电极连接；以及周期性脉冲电源，对上述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压，分别对上述第2外部电极以及上述第3外部电极以每一上述规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压。根据后述所示的与动作相关的详细说明而变得清楚，根据上述结构，尽管被施加至线状电极的电压是2相的，但仍然产生恒定方向的气流。因此，通过对多根线状电极中的第奇数根的线状电极以及第偶数根的线状电极从相互对置的方向连接第2外部电极以及第3外部电极，能够不立体交叉地布线线状电极以及外部电极。(2)连接上述第1外部电极的线状电极例如是配置在上述排列的第1端的线状电极。由此，从第1外部电极至与第1外部电极连接的线状电极的布线也不会与其他的线状电极以及第2及第3外部电极交叉。(3)优选具备与上述多根线状电极中的配置在上述排列的第2端的线状电极连接的第4外部电极，上述周期性脉冲电源具备选择性地对上述第1外部电极或者上述第4外部电极施加上述壁电荷形成用脉冲电压的单元以及将上述2相的脉冲电压的相位反转的单元。即，根据该结构，能够选择使从所排列的多根线状电极的第1端向其他的线状电极的排列方向的气流产生的状态和相反地使从第2端向其他的线状电极的排列方向的气流产生的状态。(4)优选上述2相的脉冲电压是占空比50％的矩形波，相互的上升与下降的时刻一致。即，由此，周期性脉冲电源的电路结构简化。另外，能够高效率地进行壁电荷的生成以及转移。(5)上述2相的脉冲电压以每一上述规定周期当2次的比例产生。即，由此，能够将壁电荷的生成频率保持为较高，所以容易确保产生的气流的流量。(6)优选上述壁电荷形成用脉冲电压的峰值比上述2相的脉冲电压的峰值高。即，由此，壁电荷的形成效率高，并且实现低消耗电力化。根据本专利技术，能够用单层的电极图案构成线状电极以及引出电极。因此，期待制造成本的降低、薄型化、制造上的良品率的提高、故障率的降低等。附图说明图1的(A)、(B)是表示第1实施方式所涉及的气流产生装置的结构的图，图1的(A)是表示形成有线状电极的排列电极基板2以及针对其的周期性脉冲电源1的连接结构的图，图1的(B)是排列电极基板2的剖面图。图2是表示周期性脉冲电源1的结构的框图。图3是周期性脉冲电源1产生的各脉冲电压的波形图。图4是图1所示的排列电极基板2的每层的分解立体图。图5是图4所示的电极层25的俯视图。图6的(A)是表示对线状电极EF施加电压VC且将线状电极E1(1)保持为接地电位状态的状态的图，图6的(B)是表示在两电极间形成有正的壁电荷28和负的壁电荷29的状况的图，图6的(C)是表示在线状电极E1(1)和其左右相邻的电极之间的区域30产生沿面放电的状况的图，图6的(D)是表示沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的(E)是表示图6的(D)之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的(F)是表示图6的(E)之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图，图6的(G)是表示图6的(F)之后的时刻的沿面放电停止后的壁电荷的状况的图。图7的(A)、(B)是表示第2实施方式所涉及的气流产生装置的结构的图，图7的(A)是表示形成有线状电极的排列电极基板2以及针对其的周期性脉冲电源1的连接结构的图，图7的(B)是排列电极基板2的剖面图。图8的(A)、(B)是周期性脉冲电源1产生的各脉冲电压的波形图，图8的(A)是正方向模式下的各脉冲电压的波形图，图8的(B)是逆方向模式下的各脉冲电压的波形图。图9是图7所示的排列电极基板2的每层的分解立体图。图10是图9所示的电极层25的俯视图。图11的(A)是第3实施方式所涉及的脉冲电压VF、V1、V2、VR的波形图。图11的(B)是第3实施方式所涉及的脉冲电压VF、V1、V2、VR的其他的波形图。图12是第4实施方式所涉及的周期性脉冲电源产生的各脉冲电压的波形图。图13的(A)是表示多根线状电极和对它们施加电压的电源的结构的图，图13的(B)是图13的(A)中的绝缘性基体的剖面图。图14是从图13的(A)所示的周期性脉冲电源40输出的脉冲电压的波形图。具体实施方式此后，参照图列举几个具体的例子，来表示用于实施本专利技术的多个方式。在各图中，对相同部位赋予相同附图标记。当然，各实施方式是例示，能够进行在不同的实施方式中示出的结构的局部性的置换或者组合。《第1实施方式》图1的(A)、(B)是表示第1实施方式所涉及的气流产生装置的结构的图，图1的(A)是表示形成有线状电极的排列电极基板2以及针对其的周期性脉冲电源1的连接结构的图，图1的(B)是排列电极基板2的剖面图。排列电极基板2具备电介质基板等绝缘性基体21和形成于该绝缘性基体21的多根线状电极22。多根线状电极22平行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气流产生装置，具备：绝缘性基体；多根线状电极，被排列在所述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖；第1外部电极，与所述多根线状电极中的1根线状电极连接；第2外部电极以及第3外部电极，所述第2外部电极与所述多根线状电极中的、远离连接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，所述第3外部电极与所述多根线状电极中的、远离连接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第偶数根的线状电极连接；以及周期性脉冲电源，对所述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压，分别对所述第2外部电极以及所述第3外部电极以每一所述规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.07.19 JP 2013-1500061.一种气流产生装置，具备：绝缘性基体；多根线状电极，被排列在所述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖；第1外部电极，与所述多根线状电极中的1根线状电极连接；第2外部电极以及第3外部电极，所述第2外部电极与所述多根线状电极中的、远离连接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，所述第3外部电极与所述多根线状电极中的、远离连接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第偶数根的线状电极连接；以及周期性脉冲电源，对所述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压，分别对所述第2外部电极以及所述第3外部电极以每一所述规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压。2.根据权利要求1所述的气流产生装置，其中，连接有所述第1外部电极的线状电极是被配置在所述排列的第1端的线状电极。3.根据权利要求2所述的气流产生装置，其中，所述气流产生装置具备与所述多根线状电极中的、被配置在所述排列的第2端的线状电极连接的第4...

【专利技术属性】
技术研发人员：古樋知重，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP