用于集成闪存器件和高k金属栅极逻辑器件的凹进的硅化物结构制造技术

技术编号:13002545 阅读:93 留言:0更新日期:2016-03-10 14:25
本发明专利技术的一些实施例提供了用于嵌入式闪存单元的集成电路(IC)。IC包括具有存储单元栅极的闪存单元。硅化物接触焊盘布置在存储单元栅极的凹槽中。硅化物接触焊盘的顶面相对于存储单元栅极的顶面是凹进的。电介质侧壁间隔件沿着凹槽的侧壁从存储单元栅极的顶面延伸至硅化物接触焊盘的顶面。本发明专利技术还提供了一种制造嵌入式闪存器件的方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于嵌入式闪存器件的集成电路(IC),所述集成电路包括:闪存单元,具有存储单元栅极;硅化物接触焊盘,布置在所述存储单元栅极的凹槽中,其中,所述硅化物接触焊盘的顶面相对于所述存储单元栅极的顶面是凹进的;以及电介质侧壁间隔件,沿着所述凹槽的侧壁从所述存储单元栅极的所述顶面延伸至所述硅化物接触焊盘的顶面。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄学理吴伟成刘世昌高雅真
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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