【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】用于受控宽带微波加热的方法和装置专利技术背景专利
本专利技术涉及了使用微波能量处理材料领域。更具体地，本专利技术涉及了用于在宽频范围上生成精确水平的微波功率的装置和方法。相关技术的描述已将将微波功率用于大范围地沿用并实践于工业工艺(包括加热)，对于受作用的原料是水的应用(如干燥)而言尤其如此。最近还应用于热固性聚合物以及粘合剂的固化。众所周知，在多模空腔中使用单频微波源会引起与空腔内的驻波建立有关的不均匀性。为了解决这个问题，已开发了变频微波(VFM)系统，如在例如美国专利号5，521，360、5，721，286 和 5，961，871 中所教示。一般来说，VFM系统具有多模施加器空腔以及能够进行宽带操作的微波电源；在此，宽带被限定为在围绕所选中心频率的一定有用范围上扫描所施加的频率的能力。美国专利号5，961，871中教示的模型计算针对空腔18中的微波能量的总空间均匀性展示出了带宽、空腔大小以及中心频率之间关系。图1的方框图示出用于包括通常具有微波频率源的微波电源的控制系统的现有技术，所述控制系统包括电压可调的YIG振荡器以及电压受控的衰减器，由...
【技术保护点】
一种宽带微波加热装置，所述宽带微波加热装置包括：施加器空腔，所述施加器空腔用于将工件暴露于微波能量；微波电源，所述微波电源连接至所述空腔，所述电源包括：小信号RF源，所述小信号RF源至少包括电压受控的微波振荡器和电压受控的衰减器，两者在高于环境的选定温度下是热稳定的；高功率微波放大器，所述高功率微波放大器将所述小信号放大至有用功率水平以进行加热；正向和反射功率检波器，所述检波器通过微波隔离器彼此分开；以及使用功率调节器的控制系统，所述控制系统使用所检出的正向功率而非使用所需正向功率来调整输出功率。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：克莱顿·R·德卡米里斯，约瑟夫·M·万德斯，理查德·C·黑兹尔赫斯特，迈克尔·L·汉普顿，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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