聚合物纯化制造技术

本发明专利技术公开了一种用于从聚合物中除去硅杂质的方法，该方法包括以下步骤：(1)将所述聚合物溶解于第一溶剂中以制成溶液，(2)将非溶剂加入所述溶液，以及(3)使包含所述非溶剂的所述溶液与酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂的混合物接触足够的一段时间以基本上从步骤(2)的溶液中除去所有所述硅。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】聚合物纯化
技术介绍
聚合物，包括共聚物和三元共聚物，当由多种方法制备时具有金属杂质，如果聚合 物将要被用于光致抗蚀剂应用中，则这些金属杂质必须被除去或大幅减少。通常，它们包含 少量的包括它们的钠盐在内的碱性催化剂；当聚合物用作光致抗蚀剂材料时，碱性催化剂 在最终聚合物中是不期望的。聚合物一般经历进一步处理，以在它最终使用之前除去残留 碱性催化剂材料。另外的处理通常需要使包含碱性材料的聚合物与离子交换树脂接触；这 在US7, 312, 281和US5, 288, 850中举例说明。然而，适于除去碱性催化剂材料的这一类 离子交换树脂不能除去来自聚合物的所有杂质。主要杂质残留为硅，其在当聚合物将要被 用作光致抗蚀剂材料时也是不期望的。其它来源的硅污染物可来自玻璃反应器、设备等等。 因此，本专利技术的主题涉及一种纯化包含硅的聚合物的方法，以便从其中除去该硅材料。 Davidson在美国专利5, 945, 251中公开了一种通过以下步骤来纯化聚羟基苯乙 烯聚合物的方法：向聚合物中加入胺、亲水性溶剂、疏水性溶剂和水；分离水相；然后除去 亲水性溶剂和疏水性溶剂以形成纯化的聚合物。Ze本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于从包含硅的聚合物中除去硅杂质的方法，所述方法包括以下步骤：(1)将所述聚合物溶解于第一溶剂中以制成溶液，(2)将非溶剂加入所述溶液，以及(3)使来自步骤(2)的所述溶液与酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂的混合物接触足够的一段时间以基本上从步骤(2)的所述溶液中除去所述硅。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·T·希恩，Q·戴，
申请(专利权)人：EI内穆尔杜邦公司，
类型：发明
国别省市：美国;US