本发明专利技术涉及一种高精度金属掩模板加工方法，包括提供一金属板框及一金属膜片，所述金属膜片具有相对的接触面和蒸镀面；将所述金属膜片水平置于所述金属板框上方，且保持所述蒸镀面朝下，并采用张紧机将所述金属膜片张平；采用焊接工艺将张平的所述金属膜片的外周沿焊接于所述金属板框上；采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿所述接触面。本发明专利技术可显著提高开设的蒸镀孔的尺寸精度，减少不良率和报废率，同时，大幅度降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及OLED显示及照明
，特别涉及一种。
技术介绍
有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(Organic Light-Emitting D1de，有机电致发光二极管)技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的等级直接影响OLED产品的质量和制造成本。传统的蒸镀用的掩模板是先在金属膜片上加工出所需要的蒸镀孔，再将该金属膜片焊接到金属板框上。然而，在将金属膜片焊接到板框上时，需要将金属膜片拉平拉紧，而在金属膜片上已经制好了蒸镀孔，在拉平的过程中，蒸镀孔会受到绷紧力而变形，使蒸镀孔偏离原来的设计尺寸和形状，造成形状和尺寸误差，而由于OLED显示屏的制造工艺对蒸镀孔的精度要求非常高，这种误差显然会对蒸镀效果产生非常大的负面影响，直接降低蒸镀效果，使生产出来的OLED显示屏存在较大的缺陷。此外，现有技术中，为了减小拉平张紧时对蒸镀孔的影响，一般采用高精度自动张紧机，而一台张紧机的成本上千万，因此，成本极高，而且仍然存在尺寸精度问题和张紧不良率较高的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种。本专利技术解决现有技术问题所采用的技术方案是:一种，包括:提供一金属板框及一金属膜片，所述金属膜片具有相对的接触面和蒸镀面；将所述金属膜片水平置于所述金属板框上方，且保持所述蒸镀面朝下，并采用张紧机将所述金属膜片张平；采用焊接工艺将张平的所述金属膜片的外周沿焊接于所述金属板框上；采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿所述接触面。优选地，所述采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔具体为:采用蚀刻工艺依次在同一位置进行多次蚀刻形成蒸镀孔，前一次蚀刻的面积小于后一次蚀刻的面积，以使蚀刻形成蒸镀孔的尺寸逐渐增大至所需尺寸。优选地，所述蒸镀孔为自所述蒸镀面至所述接触面其尺寸逐渐减小的渐缩孔，所述蒸镀孔包括同轴设置的第一孔段及第二孔段，所述第一孔段邻近所述蒸镀面；所述采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔的步骤具体包括:采用蚀刻工艺在所述金属膜片的蒸镀面上预定位置按照第一蚀刻图像进行一次蚀刻以形成第一孔段；采用蚀刻工艺在蒸镀面的所述预定位置按照第二蚀刻图案进行二次蚀刻以形成第二孔段；采用蚀刻工艺在所述预定位置按照第三蚀刻图案进行三次蚀刻，所述第三蚀刻图案面积大于所述第二蚀刻图案的面积，以使所述第二孔段的尺寸扩大至所需尺寸。优选地，所述第一蚀刻图案、第二蚀刻图案和第三蚀刻图案外周沿形成同心环，且所述第二蚀刻图案与第三蚀刻图案的外周沿之间的距离为d，30微米< d ( 300微米。优选地，采用焊接工艺将张平的所述金属膜片的外周沿焊接于所述金属板框上具体为:采用激光焊接工艺将所述金属膜片的外周沿与所述金属板框的边沿焊接，形成一圈焊点。优选地，所述第二孔段的孔壁与竖直方向之间的夹角50±3度。优选地，所述金属膜片的厚度为18?190微米。优选地，第二孔段的垂直深度为8?20微米。优选地，所述金属板框及金属膜片为镍钴合金、镍铁合金、铟瓦合金材质中的任意一种。根据本专利技术提供的，将尚未开孔的金属膜片通过张平先焊接于金属板框上，再利用蚀刻工艺在金属膜片上蚀刻形成蒸镀孔，如此，由于张平步骤位于蚀刻蒸镀孔步骤之前，所以，可以避免现有技术中先开设蒸镀孔，再进行张紧焊接造成的蒸镀孔形状和尺寸的误差问题，显著提高开设的蒸镀孔的尺寸精度，减少不良率和报废率。同时，本专利技术中，也正是由于张平步骤位于蚀刻蒸镀孔步骤之前，所以，在本专利技术的张平步骤中，只需要将金属膜片张平即可，而不需要精确的张紧力，因此，只需要采用普通的张紧机即可，而普通的张紧机的成本非常低(一般一台普通的张紧机为几万)，因此，可以大幅度降低的生产成本。【附图说明】图1是本专利技术实施例的流程图；图2是本专利技术实施例中提供的金属板框与金属膜片的结构示意图；图3是本专利技术实施例中中金属板框与金属膜片焊接后的结构不意图；图4是本专利技术实施例中中蚀刻后形成蒸镀孔后的掩膜板结构示意图；图5是本专利技术实施例中中金属膜片的剖面图；图6是图5中A处的局部放大图；图7是本专利技术一个实施例中步骤S04的流程图。本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底""内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"、"固定"等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。参照图1所示，本专利技术实施例提供了一种，包括以下步骤:S01、提供一金属板框20及一金属膜片10，所述金属膜片10具有相对的接触面102和蒸镀面101。例如图2所示，金属板框20是镂空的框架式结构，具有镂空区201和位于镂空区当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高精度金属掩模板加工方法，其特征在于，包括：提供一金属板框及一金属膜片，所述金属膜片具有相对的接触面和蒸镀面；将所述金属膜片水平置于所述金属板框上方，且保持所述蒸镀面朝下，并采用张紧机将所述金属膜片张平；采用焊接工艺将张平的所述金属膜片的外周沿焊接于所述金属板框上；采用蚀刻工艺在所述金属膜片上加工形成蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿所述接触面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：唐军，
类型：发明
国别省市：广东;44
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