喷出检测装置及液滴喷出装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及喷出检测、液滴喷出及电气光学装置及其制造方法、电子设备。该喷出检测装置具有：带状的检测片，接受功能液滴喷头的检测喷出；检测台，吸附载置检测片，与真空吸引机构和空气供给机构连通；片送出机构，配置在检测台的一端侧，将卷绕成辊状的检测片送到检测台；片卷取机构，配置在检测片的另一端侧，将送出的检测片自检测台上卷取；吸引空气阀单元，设于检测台和真空吸引机构间，控制检测台的吸引空气；浮起空气阀单元，设于检测台和空气供给机构之间，控制检测台的浮起空气；控制机构，控制吸引空气阀单元、浮起空气阀单元、片送出机构和片卷取机构，控制机构当检测片的送出动作和检测片的卷取动作时使所述检测片浮起。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以喷注方式喷出功能性液的功能液滴喷头的喷出检测装置、液滴喷出装置和电气光学装置的制造方法、电气光学装置以及电子设备。
技术介绍
以往，对功能液滴喷头进行喷出驱动，在具有对工件(例如液晶显示装置的玻璃基板)进行绘图的绘图装置的液滴喷出装置上设置的、对功能液滴喷头的喷出结果进行图像识别，从而检测功能液滴喷头的喷出缺陷情况的喷出检测装置众所周知(特开2005-14216号公报)。但是，以往的喷出检测装置要考虑削减运行成本等，作为检测用工件使用卷绕成辊状的检测片，将检测片送至检测台上，并将其从检测台上卷绕。另外，为防止功能液滴喷头的喷咀面上接触检测工件，优先在将检测片吸附载置于检测台上的状态下进行喷出检测。但是，这种情况下，即使解除吸引，也会有检测片实实地贴在检测台上(真空吸附)的情况。另外，这种情况下检测片一边与检测台相互摩擦一边被运送，所以容易带静电，即使暂且剥离，也会因静电吸附而使检测片贴到检测台上。检测片在贴在检测台上的状态下被运送，检测片出现褶皱，或检测片的送出/卷绕负荷增大(电机的过负荷)，所以不能良好地进行检测片的输送，成为问题。另外，检测片带静电的情况下，对喷出检测时功能性液的溅落位置也有影响。
技术实现思路
本专利技术提供喷出检测装置、液滴喷出装置及电气光学装置的制造方法、电气光学装置和电子设备，其将检测片吸附载置于检测台上，并不最大检测片的送出、卷取负荷而能够输送检测片。本专利技术的喷出检测装置，一边使功能液滴喷头相对于配置后的工件沿扫描方向相对移动，一边对所述功能液滴喷头进行喷出驱动，对所述工件进行绘图，所述喷出检测装置检测所述功能液滴喷头的喷出缺陷，该喷出检测装置具有带状的检测片，其接受所述功能液滴喷头的检测喷出；检测台，其吸附载置所述检测片，并与用于吸附所述检测片的真空吸引机构和用于浮起所述检测片的空气供给机构连通；片送出机构，其配置在所述检测台的一端侧上，将卷绕成辊状的所述检测片送出到所述检测台上；片卷取机构，其配置在所述检测片的另一端侧上，将送出的所述检测片自所述检测台上卷取；吸引空气阀单元，其设于所述检测台和所述真空吸引机构之间，控制所述检测台的吸引空气；浮起空气阀单元，其设于所述检测台和所述空气供给机构之间，控制所述检测台的浮起空气；控制机构，其控制所述吸引空气阀单元、所述浮起空气阀单元、所述片送出机构和所述片卷取机构，所述控制机构当所述检测片的送出动作和所述检测片的卷取动作时使所述检测片浮起。根据该结构，通过控制机构控制吸引空气阀单元、浮起空气阀单元、片送出机构和片卷取机构，从而喷出检测时，由吸引空气将检测片吸附载置于检测台上，并解除检测片的吸附且通过浮起空气将检测片从检测台浮起的状态下进行检测片的输送(送出和卷取)。因此，通过将检测片吸附载置于检测台上，从而即时检测片贴在检测台上的状态下，也能够可靠地将其剥离。另外，一边浮起一边输送检测片，所以不会使检测片和检测台摩擦，也不会带静电。因此，检测片不会因真空吸附或静电吸附等贴在检测台上的状态下被输送。因此，不会最大检测片的送出/卷取负荷而输送检测片。这种情况下，所述检测台具有多孔质板，吸附载置所述检测片；框架，在其上部水平保持所述多孔质板；空气室，其面向所述多孔质板的下面而形成在所述框架的内侧，并分别与所述真空吸引机构和所述空气供给机构连通。根据这样的结构，由框架水平保持多孔质板。另外，由真空吸附机构经由空气室吸引多孔质板上的检测片。因此，检测片水平吸附载置于多孔质板上。而且，由于吸引在多孔质板上，所以不会损害吸附面的平面精度，均匀地被吸引。因此，能够将检测片水平且平坦地载置于检测台上。另外，作为多孔质能够使用例如烧结金属(不锈钢等)或烧结加工后的氟树脂构成的多孔质体。这种情况下，优选所述框架和所述多孔质板具有导电性。根据该结构，载置检测片的框架和多孔质板具有导电性，从而能够可靠地防止因检测片带静电。这种情况下，优选所述片送出机构和所述片卷取机构分别具有驱动源，所述控制机构同时驱动所述片送出机构和所述片卷取机构，进行所述送出动作和所述卷取动作。根据该结构，在片卷取机构的驱动的基础上，与其同时驱动片送出机构，能够几乎对检测片不给以张力。因此，能够进一步减轻检测片的送出和卷取负荷。这种情况下，优选所述检测台由在所述检测片的延伸方向上分割的多个分割台构成，所述吸引空气阀单元可单独控制所述多个分割台的吸引空气，并且所述浮起空气阀单元可单独控制所述多个分割台的浮起空气。根据该结构，例如多个分割台从位于一侧的端部的分割台向位于另一侧的端部的分割台顺次吸附动作，从而能够一边驱加空气一边吸附检测片，适宜地吸附载置检测片。另外，多个分割台从位于一侧的端部的分割台向位于另一侧的端部的分割台顺次浮起动作，从而能够顺畅地浮起检测片。这种情况下，优选所述控制机构当所述检测片的吸附时控制所述吸引空气阀单元，使所述多个分割台自位于一侧端部的分割台向位于另一侧端部的分割台顺次进行吸附动作。根据该结构，能够一边从一侧的端部顺次驱加空气，一边吸附检测片，没有褶皱，能够适宜地吸附载置检测片。这种情况下，优选所述控制机构当所述检测片的吸附时，在所述片送出机构位于所述另一侧端部侧的情况下，对所述片送出机构稍稍反向输送驱动，对所述检测片给以张力；在所述片卷取机构位于所述另一侧端部侧的情况下，对所述片卷取机构稍稍正向输送驱动，对所述检测片给以张力。根据该结构，检测片以从另一侧的端部施加张力的状态，从其相反侧的端部(一侧的端部)开始吸附动作。因此，能够一边更加有效地驱加空气一边吸附检测片。这种情况下，优选所述控制机构当所述检测片的吸附时控制所述吸引空气阀单元，使所述多个分割台自位于中间部的分割台向位于两端部的分割台顺次进行吸附动作。根据该结构，能够从中间部向两端部顺次一边驱加空气一边吸附检测片，没有褶皱，而能够在短时间且有效地吸附载置检测片。这种情况下，优选所述控制机构当所述检测片的吸附时，对所述片送出机构稍稍反向输送驱动，且对所述片卷取机构稍稍正向输送驱动，对所述检测片给以张力。根据该结构，检测片以从两端部分别施加张力的状态，从中间部开始吸附动作。因此，能够一边更加有效地驱加空气一边吸附检测片。这种情况下，优选所述各分割台的分割空气室由被细分化的多个细分化空气室构成，所述多个细分化空气室上分别连接与所述吸引空气阀单元相连的吸引空气流路和与所述浮起空气阀单元相连的浮起空气流路，所述吸引空气阀单元可单独控制所述多个细分化空气室的吸引空气，并且所述浮起空气阀单元可单独控制所述多个细分化空气室的浮起空气。根据该结构，通过吸引空气阀单元，单独控制多个细分化空气室的吸引空气，通过浮起空气阀单元，单独控制多个细分化空气室的浮起空气。因此，能够对各分割多孔质板更微细地控制吸引空气和浮起空气。因此，例如，通过对检测片在延伸方向细分化的多个细分化空气室从位于一侧的端部的向位于另一侧的端部的顺次进行吸附动作，从而更加有效地驱加空气一边吸附检测片，吸附载置检测片。另外，各分割空气室中，与多个细分化空气室相连的吸引空气流路和浮起空气流路中1个吸引空气流路或浮起空气流路中生成阀故障等不合格情况下，也能够通过其他吸引空气流路和浮起空气流路，吸引和浮起检测片。即，在各分割台中，内部避免完本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷出检测装置，其设于具有绘图装置的液滴喷出装置上，该绘图装置一边使功能液滴喷头相对于被配置后的工件沿扫描方向相对移动，一边对所述功能液滴喷头进行喷出驱动，来对所述工件进行绘图，所述喷出检测装置检测所述功能液滴喷头的喷出缺陷，该喷出检测装置的特征在于，具有：带状的检测片，其接收所述功能液滴喷头的检测喷出；检测台，其吸附载置所述检测片，并与用于吸附所述检测片的真空吸引机构和用于浮起所述检测片的空气供给机构连通；片送出机构，其配置在所述检测台的一端侧上， 将卷绕成辊状的所述检测片送出到所述检测台上；片卷取机构，其配置在所述检测台的另一端侧上，将送出的所述检测片自所述检测台上卷取；吸引空气阀单元，其设于所述检测台和所述真空吸引机构之间，控制所述检测台的吸引空气；浮起空气 阀单元，其设于所述检测台和所述空气供给机构之间，控制所述检测台的浮起空气；控制机构，其控制所述吸引空气阀单元、所述浮起空气阀单元、所述片送出机构和所述片卷取机构，在所述检测片的送出动作和所述检测片的卷取动作时，所述控制机构使 所述检测片浮起。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：坂本贤治，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]