一种柔性低电压有机场效应晶体管及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性低电压有机场效应晶体管及其制备方法，在栅极和半导体层界面间增加三层聚合物做绝缘层，整个器件从上到下依次是：源漏电极、半导体、高绝缘性聚合物、高介电常数材料的聚合物、高绝缘性聚合物、栅电极、柔性透明塑料衬底，这一结构的介电层既具有优异的绝缘性，同时也具有较好的稳定性。通过测量电学性质与半导体粒子生长形貌，可以判定本器件是一个柔性低电压有机场效应晶体管。本发明专利技术的优点是，该有机场效应晶体管能够在低电压下实现高迁移率、较大的开关比，并且在施加偏压及高温条件下也能维持较好性能，同时在不同的弯曲方式下也具备较好的稳定性质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设及，具体设及采用=层 绝缘层制备柔性低电压有机场效应晶体管方法。
技术介绍
柔性有机场效应晶体管由于成本低廉、材料来源广泛、可低溫大面积制备等优点， 可广泛运用于射频标签、柔性显示、大面积传感器阵列和大规模集成电路等。柔性有机场效 应晶体管具有可折叠、质量轻、成本低等优点，因此在低功耗和便携性电子等方面具有广阔 的应用前景。但是由于大多数的柔性器件操作电压过高，照成实际电路的功耗较大，因此难 W大规模应用。为了减小柔性有机场效应晶体管的操作电压W及提高器件的迁移率，许多 课题组进行了大量的研究。 柔性低电压有机场效应晶体管的绝缘层不仅要求较高的绝缘性W阻止栅电极与 半导体沟道间的电荷泄露，还要求可实现较大的迁移率和晶体管的低电压操作。由于柔性 晶体管的特点，一般还要求绝缘层能够在机械变形时能够保持稳定。目前柔性低电压有机 场效应晶体管常用的聚合物材料包括：无机金属氧化物材料、聚合物绝缘材料、自组装绝 缘材料和复合杂化绝缘材料。由于聚合物绝缘材料和柔性衬底具有良好的兼容性，因此 被广泛运用于柔性有机场效应晶体管中，包括：聚乙締化咯烧酬（PVP)、聚甲基丙締酸甲本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性低电压有机场效应晶体管，包括源漏电极、半导体、绝缘层、栅电极、柔性透明塑料衬底，其特征在于，所述半导体层与栅电极之间依次设有高绝缘性聚合物层、高介电常数材料聚合物层和高绝缘性聚合物层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：仪明东，黄维，王涛，解令海，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32