【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种周缘泵送构件，所述周缘泵送构件包括：环形主体，所述环形主体具有：沿着所述环形主体内的弧的第一弯曲通道；第一内部通道，所述第一内部通道将所述第一弯曲通道的第一区域连接至所述环形主体的内表面的第一区域；多个第二内部通道，所述第二内部通道将所述第一弯曲通道的第二区域连接至所述内表面的第二区域；以及第一外部通道，所述第一外部通道将所述第一弯曲通道的所述第一区域连接至所述环形主体的外表面，其中所述第二内部通道各自的大小设定成使得当流体经由所述第一外部通道而泵送出所述周缘泵送构件时，所述流体以均匀流率流过所述第一内部通道和所述第二内部通道。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：保尔·布里尔哈特，埃德里克·唐，常安忠，戴维·K·卡尔森，埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯，詹姆斯·弗朗西斯·麦克，劳建邦，叶祉渊，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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